射频辉光等离子体中的参量分布研究

根据双流方程提出了描述平板电极、低压射频辉光等离子体中带电粒子输运过程的自洽数值模型.并进行了数值求解,求得了各等离子体参量的时空分布以及一些参量的时间平均值的空间分布.由这些分布可得出射频气体放电的物理图像.     

射频等离子体沉技术计算机模拟研究现状

阐述了计算机模拟在射频等离子体薄膜沉积技术中的重要地位，总结了几种常用的模拟方法并比较了各种方法的利弊和适用范围，展望了该技术发展的趋势。     

大气压下氦/氮射频放电冷等离子体特性

大气压射频辉光放电冷等离子体由于摆脱了真空腔的限制,在生物医学、电子工业、国防等领域有非常广阔的应用前景。为了拓展等离子体形成气体的种类,降低该技术的应用成本,对大气压下纯氮射频放电进行了研究。实验中采用13.56MHz射频电源和裸露的平板电极在大气压下实现了纯氮射频辉光放电,并比较了纯氦、纯氮和氦-氮混合气体条件下的放电特性。实验结果表明,大气压条件下,纯氦辉光放电具有两个稳定的放电模式(α模式和γ模式),而纯氮目前则只能稳定地工作在γ放电模式。     

裸露金属电极大气压射频辉光放电研究进展

射频大气压辉光放电等离子体在等离子体辅助刻蚀、薄膜沉积、消毒灭菌、空气净化、战地生化清洗等领域有着非常广阔的应用前景.目前,采用具有裸露金属电极结构的等离子体发生器实现大气压条件下氦气、氧气以及空气等廉价气体的稳定射频辉光放电是一项具有挑战性的研究工作.本文以采用诱导气体放电法和局部电场强化法产生纯氮、纯氧及空气的大气压射频辉光放电等离子体以及大气环境下气体流动对等离子体放电特性的影响为重点.综述了裸露金属电极结构的大气压射频辉光放电等离子体电特性实验研究的最新进展.     

射频等离子体放电动态过程的流体动力学模拟

用流体动力学方法研究了射频放电的动态演变过程。     

弱磁场中辉光放电等离子体参数诊断

利用静电探针对弱磁场中直流辉光放电等离子体参数进行了诊断,测量了等离子体的密度和温度。     

辉光放电等离子体处理二甲酚橙废水研究

辉光放电电解是一种新型的产生等离子体的电化学方法,采用辉光放电等离子体技术对二甲酚橙模拟废水进行了降解脱色处理,考察了多种因素对其降解效果的影响.实验结果表明,在波长433.8nm时,降解60min后,无催化剂时脱色率达到61.43%,在加入催化剂Fe2+和Mn2+时降解率达到92.72%和80.69%.     

弱磁场中辉光放电等离子体参数诊断

利用静电探针对弱磁场中直流辉光放电等离子体参数进行了诊断,测量了等离子体的密度和温度．结果表明,离子密度随放电电流的增加而增加,随气压的升高而升高;电子温度随放电电流的增加而增加,随气压的升高而降低;在磁场中,离子密度随磁场的增强而增大,电子温度随磁场的增加而减小．实验结果与理论计算结果基本趋势相一致．     

SiH_4射频辉光放电等离子体特性的光发射研究

采用ＯＭＡ－４０００测量了ＳｉＨ_４射频辉光放电等离子体的光发射谱，研究了其谱线强度随放电射频功率和反应气体流量间的变化关系。结果表明：在放电射频功率增加和反应气体流量升高的过程中。其等离子体状态分别发生了性质不同的转变，这种转变联系到射频功率耗散机制的变化。当反应气体流量增加时，电子获得能量的机制由阴极暗区加速转变为等离子体内电场的加热效应；而在放电功率升高的过程中，离子轰击阴极产生的二次电子发射效应导致了光发射谱强度急剧增强的转变。     

直流辉光放电等离子体特性研究

研究了直流辉光放电中各区域的特性, 测量了正柱区的等离子体参数, 阐述了利用直流辉光放电正柱区等离子体对高分子材料进行表面改性时等离子体参数的选择     

维持电压对彩色交流等离子体显示器光电参量的影响

为了改善彩色交流等子体显示器（AC－PDP）的性能，采用静态测量法研究了维持电压脉冲幅度和频率对彩色AC－PDP着火电压，熄火电压，维持电压余度，平均放电电流，亮度，发光效率和白场色度等光电参量的影响。结果表明，随着维持电压幅度和频率（12.5-50kHz)的提高，等离子体显示器平均放电电流和亮度增加，白场色度基本保持不变，而发光效率降低；分析得出导致发光效率降低的主要原因是；Xe原子的自吸收现象和荧光粉的受激辐射饱和。因此，在确定驱动波形时，应在使显示器图像显示稳定的前提下，兼顾其亮度，发光效率，功耗和寿命，合理选择维持电压幅度和频率。     

直流辉光放电等离子体特性的数值计算

给出直流辉光放电等离子体的一维磁流体力学（ＭＨＤ）方程组及其稳态的差分方程和边界条件，并利用计算机计算、作图给出等离子体的电位、电子密度、离子密度、电子速度和离子速度的一维空间分布曲线．最后对计算结果进行讨论     

双层辉光等离子体渗金属中的热电偶测温

分析比较了几种应用在双层辉光等离子体渗金属中的测温手段存在的问题，采用阴极屏蔽技术，研制出一套适合双层辉光等离子体渗金属工件热电热测量的实验装置，并介绍了其结构和工作原理，实验结果表明，该装置工作稳定，安全可靠，也可用于其它类似工况中的温度测量。     

横向磁场对阴极区电子输运参量的影响

运用改进的蒙特卡罗模拟方法，研究了横向磁场对氦气直流辉光放电阴极区电子输运过程的影响，考虑了四种碰撞，模拟结果表明，横向磁场通过改变了电子与中性粒子的碰撞速率，对电子参数产生了重要影响。     

等离子体流动控制研究进展

介绍了国内外等离子体流动控制的研究进展,主要包括直流电晕放电、大气压辉光放电、表面介质阻挡放电等离子体流动控制。目前等离子体流动控制通常采用表面放电方式,电场强度低,属于弱电离放电,仍没有突破＂离子风＂技术,诱导的气流速度仅为8m/s,不具有实用价值。一种高压纳秒脉冲放电成为等离子体流动控制研究领域中的一个新的热点研究方向,但是纳秒脉冲作用周期的占空比小,能否用一个小占空比获得一个更高的作用效率是一个值得深入探讨的问题。等离子体流动控制技术要想具有实际应用价值,就必须提高等离子体可控的来流速度到100m/s以上。因此必须从根本上解决等离子体激励器的现存问题,在深化研究等离子体流动控制作用机理的基础上,逐步提高等离子体激励器性能,这也是等离子体流动控制领域急待解决的问题。     

微波等离子体增强辉光放电光源

研制了一种微波等离子体增强辉光放电光源，通过对低合金钢、碳铜中的各种元素的检测，考察了其光谱分析性能和对实验参数的影响．     

解析式直流辉光放电等离子体理论模型的改进

对作者前期建立的自洽、解析式直流辉光放电等离子体理论模型进行了改进。考虑到电子能量分布，认为电子碰撞电离速率系数ｆ取决于电子的迁移速度ＶＥ和扩散速度ＶＤ，而不象以前假设电离速率系数ｆ为一常数。另外，不再将形式为（Ｃ１ｃｏｓｍｚ＋Ｃ２ｓｉｎｍｚ）的通解简化为形式为Ｃ（ｃｏｓｍｚ＋ｓｉｎｍｚ）的特解，改进后的理论模型仍为自洽的解析式理论模型，它的适用范围更广，与实验结果更为接近。     

接触辉光放电等离子体降解水体中的对氯硝基苯

接触辉光放电电解是一种新型的产生等离子体的电化学方法 .实验表明 ,利用该方法可将水体中的对氯硝基苯全部氧化为二氧化碳 .电压、浓度、催化剂对降解率有显著影响 ,pH值对降解无明显影响 .利用高效液相色谱检测了中间产物 ,推测了对氯硝基苯在接触辉光放电降解过程中的机理     

微波无极放电等离子体的温度分布轮廓

应用Elenbass-Heller局部能量平衡方程及TM010模式的微波场Maxwell方程,在简化的物理模型基础上采用数值计算的方法模拟得微波（2450MHz)无极放电的Hg等离子体的温度分布轮廓,通过自建实验装置的实验测量,将理论模拟与实验的结果进行对比验证,最后用赵肤效应的理论解释微波激发等离子体温度分布的特点,同时对微波等离子体的温度分布轮廓进行讨论。     

外磁场作用下的射频等离子体鞘层

采用流体近似和迁移－扩散近似分别研究了外磁场作用下射频等离子体的离子和电子动力学。特别指出了外磁场对鞘层中离子通量和能量分布的支配作用。