金属辅助湿法化学刻蚀黑硅机理的探讨

为了理解金属辅助湿法化学刻蚀的机理,单晶硅片分别在氢氟酸/过氧化氢/氯金酸(HF/H2O2/HAuCl4)体系、氢氟酸/硝酸/硝酸银(HF/HNO3/AgNO3)体系、氢氟酸/过氧化氢/硝酸铜(HF/H2O2/Cu(NO3)2)体系中被刻蚀,经过三种体系刻蚀的单晶硅样品的减重量与减薄量之比值分别约为1.622、0.960、0.560.利用电动模型分析认为:差异性刻蚀的发生主要取决于电子的得失和电荷的传输两个方面。     

非中性水中弱酸溶液pH值的校正

本文用ｐＨ计测定了非中性水中几种弱酸在不同浓度时的ｐＨ值，从中找出了非中性水中不同浓度弱酸溶液ｐＮ值的表现规律。这样通过对非中性水中某一浓度弱酸溶液ｐＨ值的测定，便可从坐标图中查出或由方程式计算出在中性水中该弱酸在相应浓度下的ｐＨ值。     

增强广谱吸收硅表面

为增强黑硅的广谱吸收性能,在氢氧化钠/异丙醇(NaOH/IPA)体系下对单晶硅进行金字塔表面织构的基础上,采用金纳米粒子辅助湿法化学方法做了进一步刻蚀.利用扫描电子显微镜(SEM)和紫外—可见—近红外分光光度计对表面形貌和反射光谱进行了表征与测量.结果表明:增强广谱吸收硅表面具有纳米/微米双尺寸陷光结构,在350~2 500nm波段平均反射率低于5.5%.     

金属辅助化学刻蚀法制备尺寸可控的硅纳米线

为制备粗细均匀、大长度的硅纳米线,通过金属辅助化学刻蚀方法,以银作为辅助金属,利用场发射扫描电镜(FESEM)和FIB/SEM双束系统作为检测手段,结合微加工工艺,研究了不同的反应离子刻蚀时间和化学刻蚀时间对制备的硅纳米线的尺寸和形貌的影响。结果表明,通过该方法制备的硅纳米线粗细均匀、长度较大。控制反应离子刻蚀时间和化学刻蚀反应时间,可以控制硅纳米线的形貌与尺寸。     

计算机辅助研究一元弱酸溶液的离解平衡

作者使用计算机解一元弱酸溶液中氢离子浓度的精确方程，得出ｐＨ－ｐＣ和Ｒ－ｐＣ曲线，揭示了离解度极限值的规律，对溶液“无限稀释”的概念提供了定量的依据，为描述弱酸离解平衡提供了图示法，并从计算和作图上证明了－元弱酸稀释过程中氢离子浓度单调变小．     

多元弱酸铵盐溶液中氢离子浓度的计算

本文应用质子等衡式(PBE)导出多元弱酸铵盐[(NH_4)_nH_iA]溶液中有关氢离子浓度函数的精确式.     

TMAH硅湿法刻蚀剂中异丙醇与氧化剂的协同作用

四甲基氢氧化铵(TMAH)是一种在微机电系统加工中常用的硅湿法刻蚀剂。在对含有铝结构表面的硅器件进行湿法刻蚀时,需要在TMAH溶液中添加一定量的硅酸和氧化剂,以保护器件表面的金属铝,但这会降低硅表面的光洁度。本文在含硅酸的TMAH溶液中同时添加过硫酸铵和异丙醇2种物质,研究其对TMAH刻蚀作用的影响。研究结果表明,2种物质的协同作用能够显著提高硅刻蚀表面的光洁度。     

一种新的湿法钝化多孔硅的方法

采用硫代乙酰胺的HF酸水溶液作为氧化剂对初始多孔硅进行钝化处理,改善了多孔硅表面结构并提高了发光强度.同时研究了钝化电流,钝化温度和钝化时间等一系列因素对钝化多孔硅光致发光强度的影响.实验发现,在60℃恒温下,对样品通电流1 mA/cm2,进行10 min的钝化处理可以获得最强的光致发光,发光强度比初始样品发光强度增强了一个数量级.另外,通过傅立叶红外吸收谱(FTIR)以及X射线光电子能谱(XPS)测试分析,探讨了钝化处理使得多孔硅发光强度提高的原因.     

硅铝酸钠溶液脱硅过程物理化学性质的研究

本文重点对硅铝酸钠溶液脱硅过程的有关物理化学性质做了研究,明确了脱硅过程溶液的表面张力、粘度、密度的变化规律。     

MEMS中硅的深度湿法刻蚀研究

探讨用于MEMS硅湿法刻蚀的刻蚀液浓度、温度、添加剂种类和浓度对刻蚀速率及表面粗糙度的影响,优化得到最佳刻蚀条件,刻蚀速率较常用刻蚀条件时提高约3倍;用扫描电镜观察刻蚀后的表面形貌,结果显示优化刻蚀条件下硅表面粗糙度得到极大的改善.以优化的刻蚀条件进行深度刻蚀,蚀刻出深达236μm的窗口,图形完整,各向异性良好.     

用HF-醇溶液法制备多孔硅的新方法

本文采用HF-醇溶液法制备了多孔硅.实验表明,它提高了多孔硅中的游离氟离子浓度,改善了电解液与硅片的润湿性,有利于形成均匀的多孔硅;在非光照条件下,可制成N型多孔硅.     

溶剂萃取法提取苹果酸

通过对萃取剂、稀释剂的筛选,确定了一个以三烷基氧化膦(TRPO)为萃取剂、提取苹果酸的萃取体系。采用双对数法、红外图谱和水分分析对萃合机理的研究表明,TRPO萃取苹果酸的可能萃合物结构式为MA.2TRPO.3H_2O。对萃取过程中的各影响因素进行了考察,从而得到了最佳操作条件,并提出了一条采用溶剂萃取法从水溶液中提取苹果酸的流程。     

络合萃取法提取稀溶液中丙酸的研究

采用络合萃取法提取稀溶液中的丙酸,研究了络合萃取及反萃取的工艺条件。研究表明：以正辛醇和甲苯的混合物(1／3,v／v)为稀释剂,1mol／L磷酸三丁酯(TBP)为络合剂,按体积比为1：1的相比,经30min萃取,丙酸的萃取率为67．70％。经3级错流萃取可使萃取率达到97％以上。通过正交试验得出,以0．30mol／L的NaOH溶液为反萃剂,萃取相与反萃相体积比为1：2,反萃时间90min,反萃率可达90．31％。     

一种利用初值条件解决DE增解问题的方法

在求解微分方程(DE)过程中,会遇到一些需要对原方程先求导再求解的操作过程,在这个过程中会出现增解的情况,由此会造成方程的通解或解无法正确表达.利用隐含的初值条件,对增解进行辨析,可以得到原方程的通解或解,并辅以典型例题进行演释.     

诱导驰豫速率法研究水溶液中镧系离子配合物结构

在镧系离子配合物的水溶液中,镧系离子对配体核的核磁共振弛豫速率具有诱导效应。这种被诱导出的弛豫速率与核及离子之间距离的六次方成反比,由此可确定镧系离子在其配合物中的位置。本文测定了La~(3 )和Pr~(3 )在其烟酸配合物中与各个质子核间的相对距离,发现它们处在烟酸中羧基的角平分线上。     

模拟酸雨土壤淋滤液化学指标的主分量分析

本文利用主分量分析方法对模拟酸雨淋洗下,土壤淋滤液的 pH 值、Ca~(2 )Mg~(2 )、K~ 、N_2~ 和盐基离子总量的化学指标进行了分析,为利用土壤淋滤液评价和预测酸雨对土壤的各种影响提供了有效的手段。     

酸压动态条件下酸岩反应动力学参数测试新方法

酸压中活酸作用距离是评价酸压效果的重要因素。活酸作用距离取决于酸岩反应速度,酸岩反应动力学参数是酸压优化设计基础,这些参数的准确性决定优化设计的可靠性。设计了一种测试动态条件下裂缝中酸液有效传质系数和有效消耗时间的新方法,该方法通过酸蚀裂缝导流驱替实验,测试酸化前后岩板质量变化;基于岩板质量变化计算酸液消耗速度、酸液有效传质系数,再基于裂缝中的酸液量和酸液消耗速度计算酸液有效消耗时间。采用延长马家沟组岩板测试了稠化酸和交联酸的反应动力学参数,交联酸比稠化酸黏度高,有效传质系数比稠化酸低,在使用的实验条件下,稠化酸和交联酸在裂缝中的有效消耗时间分别为20 min和28 min左右。研究为酸压优化设计和酸液体系评价提供了依据。     

工程法解析平冲头压入半无限体

以传统工程法解析了平冲头压入半无限体问题,并获得解析解。与滑移线场的解析结果 Prandtl 解及 Hill 解比较,相对误差不大于 0.35％。