硅压阻式低压传感器研制

以各向异性腐蚀技术制造的矩形硅膜片为弹性敏感元件,研制了硅压阻式低压传感器。通过对矩形硅膜上应力分布的分析和计算,确定了力敏电阻的最佳位置和尺寸。压敏电阻全桥采用集成电路技术制作在2.5mm×5.5mm、厚35μm的矩形硅膜片上。在0～20kPa压力范围内,测得577μV/kPa·V的灵敏度,理论和实验结果有较好的一致性。     

硅压阻式压力传感器非线性误差校正方法

利用ZMD31020传感器信号处理器,实现了硅压阻式传感器的非线性及温度补偿。通过软件输入预先设定的数字量给ZMD31020处理器的存贮空间,可实现硅压阻式压力传感器(PRT)的零点输出、热零点漂移、满量程输出、热灵敏度漂移和非线性的高精度校准和补偿。传感器的输出精度达到了0.275%。     

硅压阻式传感器性能影响因素的研究

本文对影响硅压阻式传感器性能的诸因素进行分析,并对圆形力敏器件的灵敏度进行了剖析,给出了部分实验数据与理论分析符合较好。本文的研究对开发设计高性能敏感元件有重要的指导意义     

硅压阻式加速度传感器的结构研究

结合实际器件设计，对三种压阻式加速度传感器结构即双悬臂梁，四梁和双岛五梁结构进行了详细的力学分析和特性比较，得到了理论计算的灵敏度，固有频率和阻尼等特性，器件的测试结果与理论计算基本相符，目前三种结构的器件都已实用化，封装后的小于１ｇ。该项工作为实际应用中根据不同量程要求选取不同的器件结构与参数提供了依据。     

低g值硅压阻式加速度传感器的设计与分析

本文介绍一种低ｇ值双悬臂梁式硅压阻式加速度传感器新结构,通过理论分析与计算,说明该结构的硅压阻式加速度传感器具有良好的输出性能。     

力敏传感器的实验探究

阐述了力敏传感器的原理,并利用力敏传感器测量了水的表面张力系数、固体和液体的密度,测量的灵敏度高,稳定性好,并可用数字信号显示,实现了非电量电测,对力敏传感器的实验研究有一定的参考作用.     

高性价比压阻式压力变送器

针对普通压力变送器精度低的缺点,在原理分析的基础上,提出了非线性误差正负不同时完整的补偿电路及参数选择方法,实现了低成本、高精度的测量.经实验表明,其非线性误差降低很大.补偿电路简单易行、性能可靠、经济实用.     

高性价比压阻式压力变送器的研究

针对普通压力变送器精度低的缺点,在原理分析的基础上,提出了非线性误差正负不同时完整的补偿电路及参数选择方法,实现了低成本、高精度的测量.经实验表明,其非线性误差降低很大.补偿电路简单易行、性能可靠、经济实用.     

非接触眼压测量用固态压阻传感器的校准及精度

论述在非接触眼压测量中压阻传感器的应用,以及校准原理和方法。分析了误差来源,得出了传感器的综合精度,为眼压测量的准确性提供了依据。     

固态压阻传感器与啤酒液位测量

通过对固态压阻传感器的理论分析和实验，证明固态压阻传感器非常适用于酒阀静态试验台啤酒液位的测量．     

基于力敏传感器测量的液体表面张力系数

利用硅压阻式力敏传感器测量液体表面张力系数。介绍了测量原理,讨论了测量值最佳读数的选取时间、拉脱过程,分析了实验结果的误差,给出了对实验现象的合理解释。     

压阻式压力传感器C型结构偏差的有限元分析

为提高Ｃ型压力传感器性能，利用有限元方法，对Ｃ型结构传感器加工过程中出现的边缘Ｒ角、膜厚不均匀、双面对准偏差进行计算与分析。其结果表明控制工艺偏差是研制高性能传感器的基础。     

基于力敏传感器测量的液体表面张力系数

利用硅压阻式力敏传感器测量液体表面张力系数.介绍了测量原理,讨论了测量值最佳读数的选取时间、拉脱过程,分析了实验结果的误差,给出了对实验现象的合理解释.     

一种低功耗MEMS压阻式传感器的动态测试系统

为了准确分析侵彻过载信号,提出了一种低功耗、高过载的动态测试系统,该系统可以承受2×105g过载信号,为了实现采样率高、低功耗、抗冲击的特点,系统采用硅晶振作为主振荡器,并选用低功耗CMOS芯片,当系统开始工作时,处理器进入深度休眠模式,当进入发射模式时开始对外围电路供电.当弹体发射信号时,采用滞回触发电路来触发启动采集系统开始采集.实验证明,采用此方案,延长了弹体生存周期,并能够精确采集到空气炮的过载信号.      

压阻式气压传感器在大气压力探测中的一种应用电路的研究

讨论了压阻式气压传感器在大气压力探测中的应用问题 ,设计了一种探测电路 ,并对其原理和性能时行了分析 ,得到了好的研究结果     

特种压阻式加速度传感器的研制

通过动力学分析和有限元模拟,设计出了具有高过载保护功能的加速度传感器结构.采用微型机械电子系统技术和集成电路工艺制作出了高精度、高灵敏度的硅微固态压阻平膜芯片,通过玻璃粉烧结工艺将其键合在弹性梁的应力集中处,利用激光焊接工艺,制造了量程为±20 km/s2、过载能力为30倍满量程的特种压阻式加速度传感器.实验表明,在对传感器施加集中载荷和动态冲击的条件下,传感器可达到静态精度为0.86%满量程、动态响应频率为3.43 kHz的技术指标,从而满足了非常规武器在触发控制等特殊领域的应用要求.     

压阻传感器灵敏度湿漂的补偿（I）

分析压阻传感器灵敏度温漂特性。根据灵敏度与温度成指数或近似线性有关系，设计两种实用实用温度补偿电源，实现对灵敏度温漂的补偿。     

三维组合压阻式低频加速度传感器的研制与标定

为满足交通运输中振动与冲击的在线实时监测需要，采用单向压阻式传感器以圆柱面定位、空间交叉组合方法，制成新型三维加速度传感器，标定结果各项技术指标达到设计要求，已应用在ＩＶＡ－１型智能测振仪上。     

吸水固体密度的测量

本文介绍了一种测量线度比较大、形状不规则的吸水固体密度的方法     

柔性触觉传感器用导电橡胶压阻特性及其拟合

以炭黑(CB3100)为导电相,硅橡胶为基质制备柔性触觉传感器用导电复合材料.分析了测量压阻特性的电极置于导电橡胶体内或覆盖于导电橡胶表层对压阻实验数据的影响.实验结果表明,压阻特性非线性特性明显,采用二次多项式拟合压阻实验数据可获得高拟合优度,且电极内嵌于导电橡胶测得的压阻数据拟合的相关系数均高于电极外贴在导电橡胶上测得的压阻数据拟合的相关系数.灵敏度与材料的初始电阻正相关,电极外贴于导电橡胶表面的传感器结构可获得较高的力灵敏度.