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化学机械抛光材料分子去除机理的研究 总被引:1,自引:0,他引:1
考虑磨粒黏着力、芯片表面缺陷和表面氧化薄膜厚度以及磨粒/抛光垫大变形的条件下, 通过量级估算的方法研究了分子量级的化学机械抛光(CMP)材料去除机理. 理论分析和试验研究结果表明: 磨粒压入芯片的深度、磨粒在芯片表面的划痕深度以及抛光后芯片表面的粗糙度都在分子量级或者更小. 因此, 分子量级的CMP材料去除机理得到了理论分析和试验数据较为广泛的证实. 此外, 随着磨粒直径的减小, CMP材料分子去除机理成为CMP机理研究中富有活力的新分支. 该研究对于证实分子量级的CMP材料去除机理具有较大的意义, 同时该结果对进一步CMP微观去除机理的研究具有理论科学意义. 相似文献
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α-突触核蛋白异常积聚的分子机理 总被引:1,自引:0,他引:1
α-突触核蛋白(α-Syn)的异常积聚与帕金森综合征的发生密切相关, 但是它的致病机理尚没有明确的定论. 本文介绍有关α-Syn异常积聚的分子机理研究的最新进展, 着重从积聚核心序列、抑制剂、结构转换和纤维形态4个方面加以讨论. 探索α-Syn积聚的分子机理对于了解这类疾病的致病原因, 开发新的预防和治疗手段具有重要意义 相似文献