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利用射频等离子体增强化学气相沉积(rf PECVD)工艺在不锈钢基底上制备a-C:H膜,利用激光Raman光谱表征所沉积碳膜的微观结构,特别是通过对拉曼谱图进行洛伦兹分解来评价所沉积碳膜的sp3含量,分析了沉积电压和过渡层对a-C:H膜生长过程及膜中sp3含量的影响.结果表明,利用拉曼光谱的洛伦兹分解能够有效分析a-C:H的结构特性,碳膜沉积过程中沉积电压和过渡层对a-C:H膜的生长均具有重要影响.在本实验条件下,以Ti/TiN/TiC为过渡层沉积电压为2500 V时所制备的a-C:H膜中的sp3含量最高. 相似文献
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在脉冲激光沉积类金刚石薄膜过程中,针对薄膜均匀性差的问题,提出偏轴沉积、脉冲激光扫描沉积、双光束沉积和多光束沉积等模式来改善薄膜的均匀性。初步建立了脉冲激光沉积类金刚石薄膜厚度均匀性模型,并分别进行了薄膜厚度分布的模拟,在模拟过程中,强调了在不影响薄膜性能的基础上改善薄膜均匀性,并讨论了沉积模式对薄膜颗粒物问题的影响。结果表明,采用多光束沉积薄膜,厚度均匀性得到极大改善,而且颗粒物问题也得到了改善。最后提出模型改良意见。 相似文献
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主要介绍硼掺杂金刚石膜的生长.采用热灯丝CVD法在硅上制备金刚石薄膜,采用三氧化二硼制备硼掺杂金刚石膜.利用拉曼光谱分析硼掺杂金刚石膜的生长情况.结果表明:硼的掺杂质量分数随生长时间延长而增大;利用SEM观察硼掺杂金刚石膜的表面晶粒变小;利用银浆在掺杂金刚石膜表面制备电极,测试电流随温度升高而变大. 相似文献
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使用脉冲激光沉积(PLD)技术制备了系列无氢类金刚石(DLC)薄膜,测量了样品的Raman光谱、光吸收和光致发光,研究了光致发光与制备条件的依赖关系。结果表明,这种薄膜是有少量sp^2键和sp^2键组成的非晶碳膜。薄膜的光学带隙在1.68~2.46eV,发光在可见光区呈宽带结构。沉积温度对类金刚石薄膜的结构和发光性质有较大影响。当沉积温度从室温升高至400℃时,sp^2团簇的长大使C原子的有序度增强,从而导致薄膜的光学带隙变窄,发光峰红移且半高宽变小。 相似文献
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《长春师范学院学报》1997,(5)
利用激光Raman光谱和X射线衍射结构分析方法,对类金刚石薄膜结构中的SP~1、SP~2和SP~3三种成键组态进行了较详尽的研究,指明了出现的结构异常现象,并分析和讨论了影响类金刚石薄膜结构的主要因素。 相似文献
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采用显微拉曼光谱仪对直径为25.4 mm、总厚度为3.2 mm的刀具用金刚石复合片(PDC)层表面和侧面不同位置的残余应力进行测试,获得PDC金刚石层表面径向及侧面的应力分布。然后,用电火花切掉PDC的硬质合金基体,再测定金刚石层表面的拉曼光谱,从而得出金刚石层的微观残余应力。研究结果表明:PDC表面中间部分的应力为压缩应力,最大值约600 MPa,从中心到边缘逐渐降低,在离边缘2 mm左右变为拉应力;边沿拉应力的产生是基体的厚度较小,PDC朝金刚石层方向弯曲造成的;金刚石层侧面的应力为拉应力,最大值达580 MPa,位置靠近PDC界面,这是PDC出现金刚石脱层的主要原因之一;实验测得的PDC微观应力为62.5 MPa。 相似文献
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香豆素是一类应用很广泛的有机杂环化合物,具有抗HIV、抗癌、降压、抗心律失常等多种生物活性,具有很高的药用价值.本实验利用叔胺催化,合成了6种新型香豆素衍生物,采用激光显微拉曼光谱对其结构进行研究,归属各化合物拉曼谱峰,并探讨分子结构差异对拉曼光谱的影响. 相似文献
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拉曼光谱分析技术具有对样品无破坏、用量少等独特优点.本文用拉曼光谱技术对碳纳米管进行研究,获得了高质量的单壁碳纳米管拉曼谱.并通过单壁碳纳米管的“G”峰和聚苯乙烯拉曼特征峰的积分强度的变化,对不同组分的单壁碳纳米管/聚苯乙烯复合物进行了定量成分分析.实验结果表明,拉曼光谱技术的分析结果同该复合物的原始配比一致. 相似文献
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类金刚石碳膜和氮化钛的摩擦学性能研究 总被引:2,自引:1,他引:2
报道了在相同条件下用磁控溅射方法在硅片上制备类金刚石膜和氮化钛薄膜的研究结果,比较了两种镀膜在机械性能和结构上的效果.实验结果表明,氮化钛薄膜虽有很高的表面硬度,但其摩擦系数、表面粗糟度比类金刚石膜要高得多.而类金刚石膜虽有很低的摩擦系数和光滑的表面,但表面硬度比氮化钛薄膜小.因此,结合两种膜的优点有可能制备高硬度、耐磨性强、表面光滑的新型复合材料. 相似文献
12.
为防止高Tc超导探测器的超导电性退化或失超,用C^+注入、XeCl准分子激光辐照形成类金刚石(DLC)保护膜。该膜结合紧密,克服了DLC/YBCO两种材料晶格失配、线胀系数与热导率相差太大的矛盾。对DLC膜的Raman谱所表征的C内部结构进行了分析,阐述了石墨态C转化为DLC结构的机制,提出了激光所造成的瞬时高温、高压模型。 相似文献
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本文对双离子束溅射淀积法制备的类金刚石碳膜进行了大气中的热退火研究。退火温度300℃,时间分别为1.5h和3.0h。对退火前后的样品分别作了红外透射谱、Raman光谱和电阻率的测量,并在退火过程中对膜层电阻率进行了即位测量。结果表明,300℃的退火并不能使膜层中的C-H键断裂,而使膜层结构趋于完整,膜层氧化变薄,其电阻率和红外透过率过率增高;但退火对膜的影响程度只与退火温度有关,而与退火时间无关。 相似文献
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利用直流-射频等离子化学气相沉积技术在玻璃、硅和钢表面沉积得到了薄膜,并用拉曼光谱和原子力对薄膜的结构和形貌进行了表征,用静动摩擦实验机对薄膜的摩擦学性能进行了测试.结果表明:沉积在硅和钢表面的薄膜具有典型类金刚石薄膜的特征,而沉积在玻璃表面的薄膜呈现类聚合物结构的特征,且沉积在玻璃表面的薄膜具有比较粗糙的表面,而沉积在硅表面的薄膜则比较光滑致密.摩擦学实验表明,沉积在硅表面的薄膜具有良好的摩擦学性能. 相似文献
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运用Brenner经验势计算了碳原子间力常数和具体的振动模式,在此基础上利用经验键极化模型计算了含有单空位的(10,10)碳管的非共振拉曼谱.计算结果表明,单空位造成的局域模式所对应的拉曼峰位于完整碳管的G带之外,因此,在实验上可以用这一特性来探测碳管中的单空位.同时,当单空位浓度较小时,碳管的管径几乎不发生变化,仅仅是在拉曼谱中R带上劈裂出一些新的峰,这一现象主要源自于空位带来的对称性破缺. 相似文献
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非晶硅薄膜厚度均匀性对其透射光谱的影响 总被引:1,自引:0,他引:1
针对膜厚的均匀性对非晶硅薄膜透射光谱 (40 0~ 1 0 0 0 nm)的影响问题 ,通过模拟计算分析在不同膜厚、厚度 (线性 )变化率和照射面积条件下 ,厚度均匀性对谱线的影响 .结果表明这种影响主要发生在薄膜的无吸收区和弱吸收区 ,表现为峰—峰值变小和振荡周期畸变 .减小照射面积可有效地降低这种影响 相似文献
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a-C:H膜及其退火的激光喇曼光谱研究 总被引:1,自引:0,他引:1
用高频阴极辉光放电沉积在控制基片温度来制备氢化非晶态碳(a—C:H)膜,退火温度上升到600℃,这些膜的喇曼光谱在波区1000~1800cm~(-1)进行的,a-C:H膜的喇曼光谱是一个非对称的简单的谱带。随着退火温度的升高,a—C:H膜出现两个峰值,也观察了金刚石和天然石墨的喇曼光谱,这些光谱与现代研究的模型进行了讨论,其结果认为非晶态碳具有三次配位和四次配位原子的网状结构模型相一致。 相似文献
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以玻碳电极为基底,将壳聚糖-碳纳米管(CS-MWNT)复合物修饰于电极表面,然后利用氯金酸电沉积纳米金(nano-Au),最后吸附过氧化物酶(HRP),从而制备出性能良好的HRP/nano-Au/CS-MWNT/GCE过氧化氢生物传感器.用循环伏安法和计时电流法考察该修饰电极的电化学特性,发现该修饰电极对过氧化氢(H2O2)的还原有良好的电催化作用.实验结果表明:该传感器在7.0×10^-6mol/L-1.29×10^-2mol/L范围内对H2O2有良好的线性响应,线性相关系数R=0.9989,检测下限为2.3×10^-6mol/L(S/N=3).此外,该传感器还具有较快的响应速率、较好的稳定性和重现性. 相似文献
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在硅衬底下,用等离子辉光放电的方法制备了一组衬底温度为20℃、100℃、200℃和280℃的样品。在光电子能谱仪中测量了它们在HeⅠ(21.2eV)激发下的UPS谱。此外还测量了衬底为常温的样品在退火温度为200℃、350℃、500℃、700℃和800℃时的UPS谱。实验结果表明,衬底温度在200℃至280℃时,金刚石成分略有增加,当退火温度低于350℃时,金刚石成分有所增加,但高于350℃后,迅速向石墨方向转化。本文对实验结果进行了讨论,认为氢在其中起了重要作用。 相似文献