印制电路板中微埋盲孔的研究进展

概述了国内外微埋盲孔制作的最新研究成果,主要包括微埋盲孔钻孔工艺、去钻污工艺以及孔金属化研究等;重点介绍了激光钻孔技术、微孔填铜技术的发展及应用;并提出了今后的研究方向。     

微机电系统传感器的制造和应用

本文叙述微机电系统传感器的设计制造技术和主要应用。     

天轮处提升钢丝绳的曲率和挠率分析

为了研究天轮处钢丝绳各股钢丝的曲率和挠率大小及其变化规律,基于微分几何学建立了该处钢丝绳的一次、二次螺旋线数学模型,通过 pro/E建立了其三维模型,利用 Matlab软件编制程序模拟了天轮处钢丝绳钢丝曲率和挠率,获得了该处钢丝曲率和挠率随极角变化的规律.结果表明:在天轮处钢丝曲率变化幅度很大,最大曲率为0.25779mm-1,而最小曲率只有0.19603 mm-1;且该处钢丝曲率和挠率大小有被弦化的趋势,所得结论为研究钢丝绳的受力状态、疲劳损坏和使用寿命奠定了基础     

应用于微结构制造自治系统的结构描述语言

本文介绍一种微结构描述语言。借助于这种描述语言,包括集成电路、MEMS等在内的各类微、纳尺寸的器件,都能够得到描述并借此进入微结构制造自治系统。微结构制造自治系统是我所提出的一种概念性系统,意指具备一定的智能,能够应对多种制造过程突发情况的全自动化的集成电路无人制造系统。系统在获得特定加工对象的结构描述之后,可对结构进行分析,提取结构特征并自动生成加工制造工艺。本文结合一个CMOS结构实例,介绍了所定义的微结构描述语言的各项先进特性。这方面研究工作的重要意义在于,每个微结构器件,包括将要被发明的,可视为微结构描述语言所能够描述的对象集中的一个特例,从而得到统一的分析与处理。结构特征的分析,为接下来的工艺流程自动生成工作搜集和准备了必要的结构信息。     

应用于微结构制造自治系统的流程自动生成

本文介绍计算机自动生成微结构制造流程的技术。微结构器件的种类繁多,不同器件的加工特点都不相同,即以中等复杂程度的CMOS结构而言,其制造流程就达到了几百个步骤之多,因此流程的生成技术是极具挑战性的。一个适用流程可按由简入繁的过程逐步形成。本文首先介绍了根据器件结构的特点,确定单元加工顺序的优先级方案;在单元加工顺序确定后,参照本文所定义的一个原型工艺库,可以将对单元的加工处理展开成局部的工艺步骤串;工艺步骤串连缀而成的初始工艺流程,经过一定的优化与适配工艺条件的之后,产生出在实践中能够直接使用的、详细的工艺流程卡。     

工业大数据驱动的核电装备智能设计-制造-服务技术与应用

针对核电大数据集成管理缺乏适应性和应用价值有限的问题,提出了一种基于工业大数据分析架构的核电装备智能设计制造服务体系.首先,基于核电大数据的领域特性设计了核电装备全生命周期数据空间,通过业务系统数据与主数据两个层次,实现海量多源异构数据分布式存储,并提出模型驱动的核电大数据应用模式.在此基础上,基于数据空间提出了核电装备智能设计制造服务体系框架和关键技术,包括基于模型数据知识联合学习的智能协同设计、多阶段数据融合驱动的质量管控与精准追溯、高维动态边缘数据驱动的运行服务智能诊断预测等技术,为生产决策和运作管理提供依据,促进核电装备安全性、可靠性和经济性指标持续优化.最后通过核电装备典型业务场景来验证所提框架和技术的有效性,并取得了良好的应用效果,为未来核电大数据协同管理和智能应用提供参考.     

应用于微结构制造自治系统的第Ⅰ类工艺缺陷诊断

在集成电路制造中,通常采用各电学参数的测试值来衡量和评价工艺效果。一种可能的工艺后果是,出现了测量结果偏离预定目标的第1类工艺缺陷。传统上的基于SPC的工艺控制技术,不含工艺诊断的内容,在寻找造成工艺失效的原因时,存在着巨大的困难。本文对集成电路制造过程中所涉及到的几类重要参数间的关系,进行了详细的分析,由此确定造成诊断问题困难的根本原因,在于测试现象与工艺故障因素之间是多对多的关系。通过正交化的方法。可以将测试参数转化成为一组广义参数。广义参数与故障因素之间存在着一对一的联系。这样就找到了一种有效的,从异常的广义参数值确定失效原因的工艺诊断方法。本文对第Ⅰ类工艺诊断的技术进行了讨论。在集成电路制造自自治系统中,对于Ⅰ类工艺缺陷的纠正过程,也就是工艺结果不断向工艺目标趋近的过程。     

应用于微结构制造自治系统的第I类工艺缺陷诊断

在集成电路制造中,通常采用各电学参数的测试值来衡量和评价工艺效果。一种可能的工艺后果是,出现了测量结果偏离预定目标的第I类工艺缺陷。传统上的基于SPC的工艺控制技术,不含工艺诊断的内容,在寻找造成工艺失效的原因时,存在着巨大的困难。本文对集成电路制造过程中所涉及到的几类重要参数间的关系,进行了详细的分析,由此确定造成诊断问题困难的根本原因,在于测试现象与工艺故障因素之间是多对多的关系。通过正交化的方法,可以将测试参数转化成为一组广义参数。广义参数与故障因素之间存在着一对一的联系。这样就找到了一种有效的,从异常的广义参数值确定失效原因的工艺诊断方法。本文对第I类工艺诊断的技术进行了讨论。在集成电路制造自自治系统中,对于I类工艺缺陷的纠正过程,也就是工艺结果不断向工艺目标趋近的过程。     

面向工业互联网的社群化制造模式及3D打印测试床研发

新一代信息技术与制造业的深度融合正推动着制造业向社会化、服务化、互联集成化与平台化发展,面向工业互联网的社群化制造模式契合了当前制造业在智能化转型升级和创建新业态上的愿景.据此,本文在对当前制造模式演变分析的基础上给出了信息-物理-社交互联驱动的社群化制造模式体系架构和运行逻辑,进一步探讨了社交传感器驱动的社群化资源聚...     

应用于微结构制造自治系统的第Ⅱ类工艺缺陷诊断

集成电路制造过程结束后,对所关心的电特性参数进行测试,测试结果不可避免地存在着或大或小的波动起伏。电学参数方面的过大波动将带来成品率极大下降,造成第II类工艺故障。本文通过一个实例,详细地介绍了一个用于第II类工艺故障诊断的通用性方法。在对诊断实例进行详细分析的基础上,对于诊断方法本身的特点进行了进一步的讨论。基于正交变换的技术,可以将PCM测试参数转化为一组统计不相关的广义参数,作者特别注意到若干广义参数,它们在所有样本点上的测试值保持为常数。本文结束于对不变参数的初步讨论。     

基于层次分析法评价粉煤灰资源化利用

以某企业对粉煤灰的资源化利用为例,基于层次分析法从经济效益、社会效益、技术和管理四个准则层及其分解的十四个指标层出发,确定权重矢量和评价矩阵,通过计算得到层次单排序和总排序及该企业的综合评价值.综合评价表明,该企业对粉煤灰资源化利用技术的应用情况为优,其利用综合评价值S为86.1分.     

我国航空制造业战略联盟模式演变及其管理模式研究

以资源依赖等理论为基础,通过分析国内外航空制造业战略联盟模式类型与更替,提炼出我国航空制造企业战略联盟“代加工-契约式-持股式”演变过程模型,并介绍了不同阶段模式的内涵与代表形态。面向战略联盟管理目标,提出了基于项目管理的战略联盟管理框架,及以矩阵式组织结构为静态治理框架、以契约机制、协同管理机制与文化融合机制为核心的运行体系。     

制备泡沫铝的一种新方法:烧结溶解法

烧结溶解法是近几年发展起来的一种制造泡沫铝的新工艺，具有可以精确控制孔洞形状，尺寸和孔隙率及其分布等特点，具有较好的质量价格综合指数，是生产均匀或梯度微细开孔中密度泡沫铝的有效方法，所制泡沫铝在吸能，吸音等领域有广泛的应用前景。本文简要介绍烧结溶解法的原理与工艺，所制泡沫铝的组织特征与机械性能，并讨论与其它各类现有方法相比所具有的优势与局限。     

基于可拓学的零件工艺实例描述与修改方法研究

通过对零件工艺实例信息的分析,构建了用于描述实例的基元模型;对实例模型的修改操作进行了分类,提出了修改的流程;并运用可拓分析与变换原理,提出了各项修改操作的方法,从而解决了基于实例推理技术的工艺设计过程中的零件实例描述与修改问题。最后,通过例子验证了以上方法的可行性。     

过程强化的若干新进展

本文从现代过程工业发展的需求出发，介绍了过程强化的历史和现状，分析了近年来过程强化的特点。本文还结合实例对化工过程强化的作用和存在的问题等进行了讨论。     

应用于微结构制造自治系统的流水线作业调度

在微结构制造自治系统中,作业调度起到至关重要的作用。当前大多数的IC作业调度都是基于组合优化技术的,与以往这些工作不同,本文提出了一种新的基于流水线的调度方案。流水线对于串行作业来说能够达到最佳的运行效率,因此获取最优调度方案问题的关键即在于对IC制造设施进行配置,使之成为流水线。本文对于流水线调度的基本算法进行了讨论。对一个实例进行了基于流水线技术的调度,结果表明多数机器都能够达到100%的最高运行效率。本文所开发的一个调度模拟程序,除了对流水线运行的情况进行模拟外,还能够用作实际的调度器,进行最优化作业调度。     

分散网络化制造系统体系结构及关键技术研究

首先介绍了分散网络化制造产生的背景,以分散网络化制造的总体设想为基础,详述了其功能和组成部分,并分析了新型分散网络化制造与传统企业的区别。同时,讨论了在实际实施推广过程中如何建立分散网络化制造的指导思想,指出了网络化制造的主要类型和关键技术。最后,以实例说明了分散网络化制造在中国的应用及前景。