供压敏元件用的氢化微晶硅薄膜的制备

供压敏元件用的n型氢化微晶硅薄膜用射频辉光放电法己被制成,并对它进行了研究。用改变工艺参数的办法可得到电导率为2.SScm~(-1)～16Scm~(-1)的微晶硅薄膜。由X-射线衍射图和喇曼谱,测定晶粒尺寸和结晶体体积比分别为42～68A和60～70％。随着工艺条件的改变,在玻璃衬底上8000A厚的n型微晶硅膜的纵向效应灵敏系数(G因子)可达到-24.4～-30.5。     

电阻应变计应变传递研究及误差分析

电阻应变计通过应变过渡区传递应变到敏感栅丝,而此过渡区的范围大小与所测结构的应变有关,使得电阻应变计的灵敏系数发生变化,而非通常测量中使用的常数灵敏系数。本文讨论了灵敏系数变化对测量结果造成的误差,并给出了降低此影响的方法。     

某次地铁受流臂动应力测试中的热输出分析

应变计是用应变电阻效应测量应变的.在测量过程中,环境温度可以从多个方面影响应变计的输出.探讨了在某次地铁受流臂动应力实验中,由于温度变化,测量应变计和补偿应变计贴在不同材料上所引起的测量误差,得出了此次实验中热输出的表达式.并可以作为类似动应力实验中热输出分析的参考.分析结果表明,此次实验中应变计的热输出与变温、被测试样线膨胀系数、补偿块线膨胀系数、应变计灵敏系数有关.     

北京地铁受流臂动应力测试中的热输出分析

应变计是用应变电阻效应测量应变的。在测量过程中,环境温度可以从多个方面影响应变计的输出。本文探讨了在北京地铁受流臂动应力实验中,由于温度变化,测量应变计和补偿应变计贴在不同材料上所引起的测量误差,得出了此次实验中热输出的表达式,并可以作为类似动应力实验中热输出分析的参考。分析结果表明,此次实验中应变计的热输出与变温、被测试样线膨胀系数、补偿块线膨胀系数、应变计灵敏系数有关。     

重油含水率测量系统中的信息融合方法

在重油含水率测量系统中,根据水的介电常数远远大于重油的介电常数,因而两者所呈现的射频阻抗特性不同的原理,可使用射频电容传感器．但在测试过程中发现传感器的输出除受水分这1个参量的影响外,还受温度的影响,从而影响系统性能和测量精度．为此,探讨了对传感器输入、输出信息进行融合处理的方法,以提高目标参量的测量精度和测量系统的温度稳定性．2个传感器所输出的信息融合方法有多种,作者采用了曲面拟合法．实验结果表明未进行信息融合前,传感器的零位温度系数αs0=4.01×10-3/℃,在水分标定值为3%,8%和10%时,传感器的灵敏温度系数αs3,αs8,αs10分别为3.56×10-3,3.53×10-3和3.30×10-3/℃;进行信息融合后,传感器的等效温度系数αs0,αs3,αs8和αs10分别为1.06×10-3,2.43×10-3,8.66×10-4和8.50×10-4/℃,与未融合处理前相比,温度稳定性有较大的提高,同时测量精度也明显提高．     

虚拟仪器技术及其在油品含水量检测中的应用

采用LabVIEW开发平台,设计了虚拟仪器系统———油品含水量检测仪.基于射频阻抗理论,并考虑温度的影响,提出了曲面拟合法多传感器信息融合技术方案.用机油进行实验,结果表明:信息融合前,在水分标定值为10%时,传感器的灵敏温度系数为αs10=3.30×10-3/℃,水分测量值为9.7717%;信息融合后,αs10=8.50×10-4/℃,水分测量值为9.9542%.与未融合前相比,信息融合后,温度稳定性和测量精度都明显提高.     

多晶硅薄膜压阻特性

介绍了一种用于计算高掺杂我晶硅薄膜的纵向、横向和剪切应变系数的简单的理论模型。这些应变系数的计算是依据单晶硅的弹性电阻系数和刚度系数进行的。以解析形式给出（１００）、（１１）、和（１１１）薄膜的纵向和横向应变系数在－１９０℃至＋３００℃温度范围内以及７×１０＾１９至×１０＾２０ｃｍ＾－３浓度范围对硼掺杂多晶硅薄膜进行了研究，新提出的理论可供多晶硅传感器的设计者参考。     

利用光纤光栅实现压力和温度同时测量

结合光纤光栅弹簧管压力传感器的结构特点 ,在悬臂梁的上下两面分别粘贴两个应力和温度灵敏系数基本相同的光纤光栅 ,通过分别测量光纤光栅对的波长位移 ,实现了压力和温度的同时测量 ,压力和温度测量的分辨率分别为 0 .1 4 MPa和 0 .5℃ .     

微晶硅薄膜电池的发展现状及制备技术研究

微晶硅薄膜能够克服非晶硅与多晶硅不足,在光照条件下性能稳定,禁带宽度较低,具有良好的光电转化效率,因此微晶硅薄膜电池是一种非常具有发展前景的薄膜电池。该文综述了微晶硅薄膜电池的发展过程,总结了微晶硅薄膜的制备方法,并根据国内外研究成果,分析了提高微晶硅薄膜转化效率的技术发展方向。     

一种半导体压力传感器

根据有限元工具ANSYS的分析结果,设计了一种半导体压阻式压力传感器——绝缘体上硅(SOI)压力传感器,并完成了制作.测试表明,除具有良好的静态特性之外,与同类压力传感器相比,SOI压力传感器的工作温区宽,最高工作温度可达220℃;稳定性高,30d内的零点漂移小于0.2%;温度特性好,灵敏度温度系数约为-5.1×10-4/℃.此外传感器的结构简单,采用半导体集成电路平面工艺结合微机械加工技术制作,易于实现批量生产,有广阔的应用前景.     

基于多孔碳纳米微球的电化学传感器用于检测4-氨基苯酚

以多巴胺为前体,利用高温碳化的方法制备多孔碳纳米微球.多孔碳纳米微球通过透射电子显微镜和X射线粉末衍射图谱来进行表征.利用多孔碳纳米微球修饰玻碳电极,构建电化学传感器用于4-氨基苯酚的检测.结果表明,该传感器实现了对4-氨基苯酚的灵敏检测,线性检测范围为0.1~120μmol/L,检出限为20nmol/L.此外,该方法具有稳定性好、选择性高等优点.     

硅压阻式压力传感器温度性能的改善

硅压阻式压力传感器产品分为提供温度补偿与不提供温度补偿两种.本文从使用者的角度针对国产桥路封闭式GYC型传感器提出几种改善温度性能的方法,可以使传感器的零位温度系数与灵敏度温度系数方便地达到10~(-5)/℃数量级.这些方法同样适用于不提供温度补偿、桥路不封闭的其他型号传感器.     

优质高稳定性微晶硅薄膜的制备

对以SiCl_4和H_2为源气体、采用等离子体增强化学气相沉积(PECVD)技术在低温快速沉积优质高稳定性的微晶硅薄膜进行了研究.在低于250℃下,成功制备出了沉积速率高达0.28nm/s、晶化度达80%以上的微晶硅薄膜.通过光照实验,表明该微晶硅薄膜光致电导率基本保持恒定;通过对气流分布进行调节,微晶硅薄膜的均匀性得到明显改善,均匀度高达95%.     

真空蒸发微晶硅和无定形硅薄膜电导研究

我们在140K到450K的温度范围内测量了真空蒸发的无定形和微晶硅薄膜的电导,结果显示出氢处理前后两种材料电导温度特性变化的明显差别。本文给出了新的解释并估计出了它们中的缺陷密度。     

高灵敏电位型风疹疫苗免疫传感器的研究

通过纳米金双层膜将抗风疹血清共价固定在铂电极上,从而制成高灵敏电位型风疹疫苗免疫传感器.通过抗原-抗体反应前后的电位差值考察了电极表面的电化学特性,并对该免疫传感器的性能进行了详细的研究.该传感器对风疹疫苗的检测的线性范围是3.6×10-8～1.0×10-6g/mL,检出限为1.8×10-8g/mL,线性相关系数为0.996 1.     

n-i-p微晶硅太阳电池中p型掺杂层对其性能的影响

采用高压高功率RF-PECVD技术,研究了三个系列的p层微结构特性和光学特性对电池性能的影响,获得了适合n-i-p微晶硅太阳电池的p型掺杂层.实验结果表明,p层的微结构特性与电池性能密切相关,具有特定结构的p层能够使电池性能大幅度提高,获得转换效率为8.17%（Voc=0.49V,Jsc=24.9mA/cm2,FF=67%）的单结微晶硅太阳电池及转换效率为10.93%（Voc=1.31V,Jsc=13.09mA/cm2,FF=64%）的叠层太阳电池.     

一种用于测量混凝土试件温度应力的温度荷载施加方法

采用电热带缠绕混凝土试件的加热方法,设计了一种用于测量试件温度应力的温度荷载施加方法．混凝土试件为圆柱体,内部中心位置埋设混凝土应变计和温度传感器,电热带外侧用隔热保温性能良好的聚氨酯泡沫填缝剂密封．试验时把试件置于普通压力试验机的上下承压板之间,温度传感器控制升温幅度,压力传感器测定温度应力,内埋的混凝土应变计和外设的千分表测量试件的温度变形．试验结果表明,该方法能够给混凝土试件施加较为均匀的温度荷载,升温幅度可达70℃;与水浴、油浴等其他加热方法相比,该方法不仅结构简单、试件受热均匀,而且能在普通压力机上进行温度应力测定,为温度应力的试验研究提出了一条技术思路．     

BHF环氧-酚醛高精度应变计

由浙江黄岩测试仪器厂引进中国科学院化学研究所研制的环氧-酚醛高精度应变胶而制作成功的高精度应变计问世,该计经中国仪器仪表元器件产品质量监督检验中心检测,各项指标均达到或超过国家标准。该产品具有蠕变、滞后极小,绝缘电阻高,粘附性能好,操作方便等优点,是制作高精度传感器的最佳应变计。     

基于GA优化LS-SVM的霍尔位移传感器的温度补偿

由于霍尔位移传感器输出电压随温度变化,所以需要对该传感器进行温度补偿.首先采用遗传算法(GA)优化的最小二乘支持向量机算法(LS-SVM)建立被测位移与霍尔位移传感器系统的输出电压和温度之间的函数关系,其次从该函数关系求出融合后的数据,最后从该数据求出温度补偿后零位温度系数、灵敏度温度系数和相对误差.研究结果表明,温度补偿后零位温度系数和灵敏度温度系数均提高了一个数量级,相对误差也得到了很大的改善,从而达到了对霍尔位移传感器温度补偿的目的.     

中航电测仪器股份有限公司及CZL15B负荷板式传感简介

中航电测仪器股份有限公司始建于1965年，是隶属中国航空工业第二集团公司的大型高新技术骨干企业、中国500家最大交通运输设备制造企业。公司以研制生产应变计、传感器、飞机称重系统、公路称重板、汽车检测设备等电测设备为主导产品，兼营人造宝石及其他晶体制品。产品严格执行ISO9001质量体系，多项产品获得欧洲环保ROHS认证、国际计量组织OIML认证、美国NTEP认证。公司拥有国内领先的技术和设备，规模最大的应变计生产线、传感器生产线，是全球最大的应变计、传感器供应商之一。