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微动力系统的若干研究动态和进展 总被引:14,自引:0,他引:14
本文介绍了微动力系统的研究意义,简要地描述了当前微动力系统的若干研究动态和进展。开发并展示了我们研究小组的一种全新的无运动部件、不需高制造、装配精度的微TPV系统,介绍了我们实验和分析的最新研究结果。 相似文献
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面向21世纪的微电子技术 总被引:17,自引:0,他引:17
本文对21世纪微电子技术的发展趋势作了一个展望。本文认为21世纪初的微电子技术仍将以硅基CMOS电路为主流工艺,但将突破目前所谓的物理“限制”,继续快速发展;集成电路将逐步发展成为集成系统;微电子技术将与其他技术结合形成一系列新的增长点,例如微机电系统(MEMS)、DNA芯片等将得到突飞猛进的发展。具体地,超微细光刻技术、虚拟工厂技术、铜互连及低κ互连绝缘介质、高κ栅绝缘介质、SOI技术等将在近几年内得到快速发展。21世纪将是我国微电子产业的黄金时代。 相似文献
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微动力机电系统和微发动机的研究进展 总被引:5,自引:0,他引:5
微动力机电系统和微发动机是动力装置发展的第四个里程碑。本文先阐述了该系统的重要意义,进而描述它的发展概况,指出了该系统面临的挑战和解决的基本途径。微动力机电系统的应用前景是广阔的,对社会和经济的影响是巨大的。 相似文献
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二十一世纪微电子光刻技术与设备的发展对策研究 总被引:1,自引:0,他引:1
微电子、集成电路的水平是国家地位和综合国力的重要标志。集成电路集成度的增长离不开生产和制作集成电路的光刻设备。本文重点介绍集成电路的制造技术的制作设备的最新发展状况,提出发展我国微电子光刻技术的建议。 相似文献
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微机械桥型压控振荡器 总被引:1,自引:0,他引:1
设计制作了一种由电热激励/压敏电桥拾振的二氧化硅/硅双层微桥谐振器及其闭环谐振电路实现的高Q值微机械压控振荡器. 通过调节压敏电桥的桥压, 改变桥的平均温升和轴向应变, 可调节压控振荡器的中心频率. 理论计算和实验结果表明, 输出信号的频率与桥压的平方具有良好的线性关系. 对所测试的器件, 其线性度为0.16%, 振荡频率可调节范围与振荡频率的比值为17.15%. 相似文献
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可再生能源互联网对电子系统提出了五大要求:高效性、安全性、可靠性、便利性、宽泛性.为了实现上述要求,可再生能源互联网需要多学科、多方面、多层次的创新.微电子技术将会渗透到可再生能源互联网的各个层级,是可再生能源互联网的重要支撑性技术之一.文章重点围绕固态变压器、分布式储能技术、信息采集芯片技术、通信芯片技术四个方面,阐述了可再生能源互联网中的微电子技术所面临的特殊要求、技术挑战及未来可能的发展趋势. 相似文献