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详细讨论了双岛结构多晶硅压力传感器制作过程中的一种微机械加工技术,传感器采用的材料是双面抛学的(100)晶面硅片,制作中还利用了半导体集成电路平面工艺。研制这种传感器遇到的主要问题是硅各向异性腐蚀的凸角削角问题,为削角补偿设计了两种特殊形状的掩膜结构,在实验中获得了满意的效果,并且制出了性能优良的双岛结构多晶硅压力传感器。 相似文献
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MEMS压力传感器的温度补偿 总被引:1,自引:0,他引:1
研究了恒流激励条件下批量温度补偿的方法.零点的温度补偿是通过在桥臂上并联阻值较大且恒定的电阻来实现的,而灵敏度的温度补偿则是在整个桥臂上并联阻值较小且恒定的电阻来实现的,补偿后零点温漂为0.004%~0.015%FSO/℃,灵敏度温漂为0.0035%~0.024%FSO/℃,这表明这种补偿方法具有良好的效果. 相似文献
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本文是根据晶体管的发射结偏压随温度变化的关系,来代换扩散硅压力传感器中利用扩散电阻进行温度补偿的原理和优越性。 相似文献
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新型多晶硅压力传感器 总被引:3,自引:0,他引:3
论述了一种新型多晶压力传感器。它采用矩形双岛硅膜结构,多晶硅作应变电阻,二氧化硅介质膜作隔离,用集成电路工艺和微机械加工技术制作 ,因而,传感器具有灵敏度高和高等特点,利用有限元法对双岛结构的应力分布进行了模拟计算,实验结果与理论分析一致。 相似文献
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杨进成 《厦门大学学报(自然科学版)》1988,(2)
根据介质微扰腔体的原理,研制了一种用于无接触测量可塑性薄膜厚度和具有温度?补偿的新型微波传感器。文中阐述了实现温度自补偿的方法并导出了公式,实验结果表明:分析的主要误差与直接测量(0.0012μm/℃)非常吻合,量程为0—100μm,分辨为<0.2μm。 相似文献
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具有温度补偿的光纤光栅压力传感器 总被引:8,自引:0,他引:8
为了实现高压测量时的温度交叉敏感问题,提出一种基于自由弹性变形体的光纤光栅压力传感器结构及光纤光栅传感信号的自解调方法。与传统光纤光栅传感器中传感单元与解调单元相互分离的结构不同,该文提出的光纤光栅压力传感器系统利用一对匹配的光纤光栅和一个简单的等腰三角形悬臂梁结构,实现了传感解调的合而为一,解决了光纤光栅传感器的交叉敏感和信号啁啾的问题。仿真与初步的试验结果表明,在高达100M Pa的压力范围内,测量灵敏度为8.5 pm/M Pa。 相似文献
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本文用解析方法导出了在(001)、(101)、(111)、(112)圆膜,(001)方膜和长方膜中心的横向压阻力敏器件的灵敏度表示式,并以实验验证了理论结果的正确性。 相似文献
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合成了四元丙烯酸酯共聚物(丙烯酸丁酯/甲基丙烯酸甲酯/甲基丙烯酸β羟乙酯/丙烯酸)。通过DSC和GPC分析了共聚物的组成和分子量分布。经二乙氨基乙醇(DEAE)中和的共聚物加水调制得微乳液。利用旋转粘度计研究了微乳液及其室温交联体系的流变行为,测定了剪切应力(τ)剪切速率(D)之间的关系。结果表明,微乳液的流动指数n近似于1,属牛顿流体;其交联体系则属非牛顿流体,并具有触变性 相似文献
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高等真菌发酵液的一种有效流变测量方法 总被引:1,自引:0,他引:1
周少奇 《华南理工大学学报(自然科学版)》1996,(12)
高等真菌(如灵芝、云芝)发酵液具有高浓度、大颗粒、颗粒柔性和呈非牛顿液体性质但表观粘度不很大等特征。因此,目前市售粘度计或流变仪均难以对其进行有效的流变测量。通过对NDJ2G型旋转圆筒粘度计进行改装、标定和修正,使其量程变小,灵敏度提高,且转子可以无级变速,从而实现了其对高等真菌发酵液的精确流变测量 相似文献
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本文报道的报警系统采用气介声纳回声测距原理,其声脉冲由换能器发射,经待测表面反射后。返回并被换能器接收.在测量中选一参考面,取作零点,设换能器的振动模片到参考面的距离为 Z,到泥浆液面的距离为 N,液面的高度为 F,则参考面到泥浆池底的总高度 相似文献
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钱凯 《南阳理工学院学报》2014,(1):27-30
《侵权责任法》颁行之后,对于我国适用民事法律有效调整社会关系发挥了重要作用。本文基于对我国现行民事侵权精神损害赔偿制度的检讨,指出我国精神损害赔偿制度所存在的不足,并借鉴其它国家和地区先进的立法经验,提出了完善我国民事侵权精神损害赔偿制度的对策。 相似文献
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用初始Mo粉和Si粉通过自蔓延高温合成方法(SHS)制取不同Mo5Si3含量的MoSi2/Mo5Si3复合材料.用X射线衍射仪、扫描电镜对产物进行组织结构分析.实验结果表明,在自蔓延高温合成中,MoSi2是一步生成,无中间相形成.随着样品中Si含量的减少,产物中Mo5Si3的含量增多,颗粒度变小 相似文献