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1.
王润 《上海理工大学学报》1987,(4)
本文提出了应用双入射角的反射型椭偏术,可克服椭偏仪一般只能测定膜层厚度小于1周期值的缺点。该技术已成功地应用于微机控制自动消光法椭偏仪上,能自动测定厚膜的膜厚和折射率。经大规模集成电路生产中使用,效果良好,且能提高测量精度和简化操作。 相似文献
2.
TP77椭圆偏振光测厚仪功能的拓展研究 总被引:1,自引:0,他引:1
成功地将TP77椭圆偏振光测厚仪改装成卤钨灯或氙灯为光源的广谱椭偏仪。改装后的椭偏仪不含λ/4波长片,而配有一型号为WDG5001A的单色仪和一个X-Y函数记录仪,它可用来测量固体薄膜和片状材料的折射指数n(λ)和消光指数k(λ)。 相似文献
3.
本文包括四部分内容:(一)描述了主入射角椭偏仪的实验理论,(二)对主入射角椭偏法的原路返回型椭偏仪进行了描述,这种椭偏仪无需补偿器(λ/4波长片),便于测椭偏谱,(三)计算了硅片上各种膜的(ρp,Ψ)对(n~1,d)的理论曲线,(四)进行了φp—tgφ法与⊿—tgΨ法测薄膜的实验比较. 相似文献
4.
数据处理一直是椭偏测量术获取高精度薄膜结构参数的一个难点.有研究者曾将模拟退火算法引入到单波长消光椭偏仪的数据处理中,针对该模拟退火数据处理在获取实验薄膜样品结构参数准确解时出现的困难,本文对其进行了一定的修正:提出了在利用模拟退火算法反演求解薄膜结构参数时引入两种不同测量误差的方法;考虑到多角度测量法在不恰当增加入射角时极易破坏求解的收敛性而得到多解伪解情况,故改选用内外反射法测量吸收薄膜样品.通过大量的模拟计算和实验测量,其结果表明修正后的模拟退火数据处理方法在模拟计算和实验测量中均适用,且能有效避开伪解,得到高精度真值,是提高薄膜参数精度的有效方法之一;同时采用两种不同测量误差的方法还可作为解稳定性和正确性的判据之一. 相似文献
5.
分析高校椭偏测厚实验在实验教学上出现的问题,采用Flash 5.0、Authorware5.0和VC^ 5.0为主要工具,成功地设计一套该实验的CAI软件,解决了早期版本存在的不足。 相似文献
6.
应用椭偏光谱法,测量透明膜和吸收膜的折射率、厚度及消光系数.利用Delphi语言编程对实验数据进行处理,其结果与已正式出版的椭偏测厚数据表进行对比,各测量点绝对误差为0.01nm,该程序适用于椭偏光谱仪对各种匀质膜测量的数据处理. 相似文献
7.
关于PCSA式椭偏仪测量区域的研究 总被引:1,自引:0,他引:1
用琼斯矩阵法讨论了PCSA式椭偏仪的测量区域问题。对四个不同测量区域,分别得到了由起偏器与检偏器的消光位置,求出椭偏角φ与⊿的公式。 相似文献
8.
陶淑芬 《曲靖师范学院学报》1999,(6)
本文利用WGZ型光强分布仪中的光电探头及数字检流计配合WJZ型多功能椭偏仪实现了平面偏振光、椭圆偏振光和圆偏振光的轨迹的定量描绘,使偏振光概念更为形象直观。 相似文献
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为了比较夫兰克-赫兹实验中实验参数变化对伏安特性曲线的影响,针对实验软件数据导出会出错并且显示杂乱等问题,提出利用Access调出数据,并进行再处理。 相似文献
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浅谈MATLAB软件在教育统计中的应用 总被引:1,自引:0,他引:1
如何对实验结果进行统计分析,以得到准确有效的结论是教师进行教育实验研究中的一个重要问题.随着信息技术的发展,人们越来越多使用的计算机来处理数据.用MATLAB软件对教育实验数据进行统计分析是一个全新的思路,利用MATLB软件提供的统计功能,可以方便地进行教育统计分析如:数据分析、统计绘图以及数值计算等,简单易学,而且功能强大,可以在教育统计中广泛应用,以提高处理数据的效率和准确性. 相似文献
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基于.NET多层架构的程序设计思想,开发了一种液晶显示速示器的上位机软件系统.软件包括实验参数设置、实验运行控制、仪器校准和数据库管理4个组成部分.其核心是通过与下位机的协同工作,在保持速示器毫秒级精度的同时,提供界面友好、功能齐全的实验操作和数据处理平台.经实际检验,软件系统功能全面,操作简便,能够很好地满足系统设计要求. 相似文献
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0.5—2.0eV红外光自动椭偏谱仪的研制与应用 总被引:1,自引:0,他引:1
本文介绍了一种新型的0.5~2.0eV红外光自动椭偏谱仪.采用Boxcar积分平均仪来对红外探测器输出的信号进行平均处理.大大提高了信噪比.仪器波长的变换、检偏器的步进旋转、信号的采集与处理均由微机控制.测量精度高,适用于研究材料的红外光学特性.文中给出了GaSb单晶材料红外范围光学参数的测量结果. 相似文献
18.
THJ-2型高级过程控制实验系统的组态研究与开发 总被引:1,自引:0,他引:1
基于学校教改课题“控制工程综合实验系统的开发与教学研究”的实际要求,对THJ-2型高级过程控制实验系统进行了控制组态及软件开发工作.针对该实验系统使用中存在的问题,在THJ-2型实验系统的原理及硬件基础上,基于MCGS工程组态软件的主要功能及组态方法,开发了监控软件的用户界面、组态设备、数据库、组态主控窗口和组态运行策略等;基于第三方软件VB6.0编程开发了实验报告输出系统.实验装置的监控软件直观、方便,可根据用户的实际情况保存实验数据,进行处理,生成实验报告单,达到了课题的要求,填补了原来该实验系统不能进行数据输出的空白,完善了实验系统的功能,该成果已经应用到实验课程中. 相似文献
19.
用origin软件对光电效应实验中的数据进行拟合与作图,拟合结果与传统最小二乘法处理实验数据结果相吻合。实验表明:origin软件在处理实验数据与作图上,具有简单、快捷与直观等特点,可以避免人为计算过程造成的误差。 相似文献