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相似文献
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1.
场致发射阴极的研究与进展   总被引:1,自引:0,他引:1  
介绍了场致发射阴极的研究重点以及钨、钼场致发射阴极的结构、制备工艺和发射电流特性;阐述了金刚石的场致发射机理及类金刚石的场致发射性能及最新研究成就;最后叙述了国内研究场致发射阴极的情况。  相似文献   

2.
硅场致发射阴极微型真空管的实验研究   总被引:1,自引:0,他引:1  
本文介绍了利用半导体技术制造微型真空三极管和二极管的实验及部分测试与分析结果。  相似文献   

3.
场致发射硅尖阵列的研制   总被引:5,自引:0,他引:5  
研究真空微电子器件场致发射硅尖阵列的制作工艺.利用HNA湿法腐蚀工艺制作场致发射硅尖阵列,比较带胶腐蚀与不带胶腐蚀的不同.采用氧化削尖技术对硅尖进行锐化处理.制作了50×60硅尖阵列,同时给出了硅尖阵列的I-V特性.利用HNA湿法腐蚀制备的硅尖结构与理论分析一致,锐化处理改善了硅尖阴极阵列的场致发射特性.  相似文献   

4.
利用光刻热熔法及氩离子束刻蚀技术制作128×128元面阵硅场发射器件,采用扫描电子显微镜(SEM)和表面探针等测试手段分析所制成的面阵硅微尖阵列和硅微台(微环尖)阵列的表面微结构形貌特点.所制成的面阵硅微尖和硅微台(微环尖)器件的图形整齐均匀,达到了预定的各项指标的要求.实验表明,所采用的器件制作方法有较大的实用价值.  相似文献   

5.
面阵硅场发射阵列的离子束刻蚀   总被引:1,自引:0,他引:1  
利用光刻热熔及法氩离子束刻蚀技术制作 128*128元面阵硅场发射器件。采用扫描电子显征购 间和表探针等测试手段分析所制成的面阵硅微尖阵列和硅微阵列的表面向一结构形貌特点。  相似文献   

6.
介绍了场致发射阴极的研究重点以及钨、钼场致发射阴极的结构、制备工艺和发射电流特性;阐述了金刚石的场致发射机理及类金刚石的场致发射性能及最新研究成就;最后叙述了国内研究场致发射阴极的情况。  相似文献   

7.
场致发射阴极行波管是一种新型的具有竞争力的微波器件,场致发射阴极是场致发射阴极行波管的重要组成部分。文中分析了场致发射机理及其在行波管应用中的最新进展,并讨论了场致发射阴极行波管国内外开发研究现状及差距。  相似文献   

8.
9.
本文采用有限元法对新型场致发射阴极的电场强度进行数值分析.计算结果表明:钼尖电场随着钼尖半径R0的增大而减小.阳极的几何位置和阳极电压对场强的影响不大,介质的存在对 场强稍有影响.场域剖分的是否合适对结果有一定的影响.  相似文献   

10.
钛基纳米金刚石涂层场发射阴极适于大面积制备,但原始工艺制备出的样品场发射性能较低.为提高样品的性能,对原始工艺进行了改进:首先,改变分散液成分,在原分散液中加入表面活性剂以改善金刚石纳米粉的分散效果;其次,改变真空热处理(HFCVD)系统的热丝结构使样品热处理时的温度场更加均匀;最后,在原工艺基础上增加表面处理环节,用射频氢等离子体对金刚石纳米粉涂层进行表面处理以降低样品的场发射阈值.经过工艺改进,样品的阈值场强由6.3 V/μm降低至1.9 V/μm,在17.6 V/μm场强下的场发射电流密度由56.1μA/cm2提高到61μA/cm2.  相似文献   

11.
对硅基介孔材料的功能化改性进行了系统的分析调研.在概述硅基介孔材料基本性质和改性条件的基础上,总结了对其进行改性的三类主要方法及其改性原理,包括无机、有机、无机-有机复合改性.针对各类改性方法,详细综述了硅基介孔材料改性前后性质的变化特点,以及对重金属的吸附效果和吸附机理,并对改性硅基介孔材料吸附重金属的关键影响因素进行了探讨.  相似文献   

12.
主要论述金刚石薄膜场致发射材料的性能,包括了多晶金刚石薄膜、类金刚石薄膜(DLC)、纳米结构金刚石薄膜、用酸处理后的金刚石薄膜等的性能,给出了几种典型的金刚石薄膜场致发射阴极结构。  相似文献   

13.
用数值方法求解潭移-扩散模型下半导体基本方程组以及耦合的场致发射方程,对硅的场致发射特性进行数值模拟,模型中包含以往输运方程模型中未考虑的碰撞电离现象,模拟结果表明,当发射电流较大时,硅场致发射主要受体内电子向发射表面输运过程的限制,碰撞电离现象对输运过程有显著地影响。该模型有助于更全面地了解硅场致发射阴极内部的物理状态。  相似文献   

14.
电Fenton是一种新型的电化学高级氧化技术,其阴极室区在通电时可催化还原溶解O2原位产生H2O2或转化为.OH,并促进对有机污染物的降解,从而提高了传统Fenton(H2O2/Fe2+)体系的催化氧化效率.电(类)Fenton体系中理想的阴极材料须具备两方面的特点:有较大比表面积,以增大氧气向阴极表面传质和接触面积;电极要对O2还原为H2O2具有良好的催化活性,并对H+还原为H2时高的过电位具有抑制作用.因此,开发合适阴极材料是电(类)Fenton体系的研究重点.本文概述了电(类)Fenton高级氧化技术基本原理及研究进展,重点阐述了电(类)Fenton阴极材料的电催化特性和最新研究现状,并对其当前研究趋势进行了归纳,引用文献45篇.  相似文献   

15.
利用Visual FORTRAN语言,对碳纳米管阴极的外电势分布和电场强度分布进行了数值模拟.采用非等间距的网格划分对碳纳米管尖端附近进行细致的划分处理,并利用等参有限元方法进行了模拟计算.分析了碳纳米管尖端局部电场强度的增强效应和相邻碳纳米管之间的电场屏蔽现象.讨论了碳纳米管电场强度随管间距变化的关系以及碳纳米管尖端电场强度随半径变化的关系。  相似文献   

16.
研究了普通氧化物阴极掺入氧化钪之后的效果,并对机理给出了一种解释  相似文献   

17.
阐述了真空微电子触觉传感器的工作原理。采用半导体集成电路加工技术和硅微各向异性腐蚀及氧化锐化工艺,在电阻率为3~5Ω·cm的n型(100)硅片上制备了真空微电子触觉传感器的场致发射阴极锥尖阵列,锥尖密度达3900个/mm2,起始发射电压为2~3V,反向击穿电压大于30V,收集极在20V在电压时,单尖发射电流达0.2μA,实验结果表明这种真空微电子触觉传感器具有良好的触觉效应。  相似文献   

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