用于真空测量的电容式微型传感器

文章介绍了一种利用MEMS技术制作加工的电容式微型真空传感器。该传感器采用p＋＋硅自停止腐蚀技术和硅-玻璃键合技术制作，形成了硅-玻璃-硅的三明治结构，使得该传感器结构简单、灵敏度高。传感器输出的电压信号经过信号处理电路进行放大、处理，实验数据表明，传感器的电容值与真空度成线性关系，满足测量的要求。     

微发动机内的多参数集成传感器关键技术研究

该课题由西安交通大学与英国伯明翰大学合作开展，以微型发动机、发动机用多参数集成传感器为主要内容，进行关键技术研究。微型发动机作为Power MEMS（型动力机电系统）的重要方案，在能量密度、可靠性、维护性等方面有突出优势，被认为可在部分领域替代现有常规化学电池系统。     

汽车电子稳定程序（ESP）微传感器及系统

本课题目标是针对汽车ESP系统高性能、低成本和高可靠性的应用目标，突破MEMS传感器系统集成、低成本批量制造、高可靠性等关键技术，形成规模化制造能力，开发出具有自主知识产权的MEMS陀螺仪和MEMS加速度传感器实用新产品，开发出ESP系统，实现MEMS传感器的验证和批量应用。     

微机电系统及相关领域研究取得突破

近三年来,重庆大学微系统研究中心在国家"863"计划MEMS重大专项的资助下,开展了微型生化分析仪、基于MEMS的人体腔道诊疗系统、MEMS微电源、微机械继电器的研究,取得了重大突破.     

一种基于碳纳米管-液晶-PDMS复合材料的高灵敏度压力传感器

电阻式压冷传感器通常在活性层制作微结构,来减小杨氏模量并提高灵敏度。然而,这种方法常常需要复杂的制备工艺且很难控制微结构均一性。因此,本文提出了一种基于多壁纳米碳管(MWCNT)-低极性液晶分子(LPLC)-聚二甲基硅氧烷(PDMS)活性层的高灵敏度电阻式压力传感器。低极性液晶分子在PDMS中形成聚合物分散液晶(PDLC)结构,该结构不仅能减少活性层的杨氏模量,同时也能在活性层形成导电通路,易均一性控制。通过优化PDMS中LC的含量,该电阻式压力传感器表现出高灵敏度(5.35 kPa~(-1))、快速响应时间(150 ms)和很高的耐久性。     

对付噪声有"良方"

噪声能干扰人们的工作、生活和健康,因此人们对控制和消除噪声的呼声日益强烈。将噪声降低到无害的程度,已经成为国内外一项重要的研究课题。发动机减噪美国希格比教授利用反噪声技术,成功地减小了大柴油机的低频振动。其原理是用一组传感器将检测到的柴油机信号输入计算机,然后,用计算机对这种声音进行分析,并把“反”信号通过一组密布在发动机表面的喇叭发送出来,这样柴油机就完全“沉寂”了。飞机减噪国外专家研制出一种特制的耳机,它由一个微型的拾音器和一个通话器组成。当进入耳机的声音由拾音器送入一个很小的电气箱后接受分析并测出…     

水环境监测无线网络微传感器芯片系统基础研究

面向水环境监测国家重大需求，针对无线网络微传感器芯片系统急需解决的领域前沿问题，围绕着三维微纳结构传感效应及尺度效应、敏感材料与载体相互作用机理及表面增强效应、多靶标可逆特异性响应机理与信号转换机制、能量产生及耗散机理与自循环复合换能机制等核心科学问题进行探索性研究，深入研究和认识敏感机理，探索和研究新的敏感效应和敏感方法，获得提高微纳生物化学传感器灵敏度、选择性、稳定性的科学方法与技术途径；发展微纳加工、集成与封装新方法，研制出水环境监测关键微传感单元、微弱信号检测与传输极低功耗电路、环保型长效微型电源；通过微传感单元、极低功耗集成电路、微型电源的集成，结合样品预处理微流控芯片，实现水环境监测无线网络微传感器芯片系统，突破和解决水环境现场、实时、网络化自动监测关键技术。获得一批自主知识产权和前沿性成果，造就一支具有国际水平的研究队伍，营造不断创新的环境，为使我国在传感技术领域进入国际先进和领先水平，为我国信息技术的长远发展奠定坚实的基础。     

核电站密封新技术、新产品及应用

核电站密封技术是保障核电站安全运行的关键技术,国际上只有个别公司掌握,且重要材料——石墨基材至今对中国限制出口,严重制约了我国核电站装备的发展 本项目组发明了以石墨基材为核心的不同刚度材料组成的新的密封型式,给出了根据介质压力等级决定密封结构和石墨容积的整套设计方法,所制造的密封产品创造了泄漏率低于10-7Pa·m3/s和应力松弛率小于1%的高水平;在石墨基材方面达到世界上该类指标苛刻的法国PMUC的要求.     

六朝铸钱工艺的演变

六朝双面钱范叠铸工艺是我国传统铸钱工艺史上的一支奇葩，它继承了西汉、新莽、东汉以来的钱币叠铸工艺，又不断的进行改革、发展和创新，别具一格、自成系统.六朝铸钱工艺发展脉络非常清晰，它肇始于孙吴、发展于刘宋而鼎盛于萧梁;六朝铸钱工艺也具有强烈的地域特色，只发现于六朝疆域内.在实物、文献调研和铸钱工艺模拟实验的基础上，详细探讨六朝铸钱工艺的发展历程并揭示六朝铸钱各遗址间工艺的传承关系.     

智能控制液压双模轮胎定型硫化机达到国内领先水平

近日,受山东省科技厅委托,西安交通大学、浙江大学、山东大学、中国石油大学、中国海洋大学、山东科技大学等国内知名院校的7名教授、博士、博导汇聚广饶,组成专家委员会对东营金泰有限公司承担的"智能控制液压双模轮胎定型硫化机开发"项目进行了鉴定,与会专家一致认为,由主机、辅助机构和电气控制系统等部分组成的智能控制双模轮胎定型硫化机,创造性地集成了国内外同类产品的先进技术,建立了先进实用的硫化工艺控制模型,采用PID控制、PLC技术等自动化控制手段,使轮胎硫化工艺流程实现了自动化和智能化,能自动补偿外界因素引起的硫化压力、温度等工艺条件偏差,提高了轮胎的硫化质量.     

面向典型污染物检测的纳米敏感材料与高性能传感器研究进展

本文对纳米科技重点专项《面向典型污染物检测的纳米敏感材料与高性能传感器基础研究》项目中期进展情况进行了总结。该项目针对高危有机化学品和持久性有机污染物的检测,重点开展四方面的工作,一是研究纳米结构材料与待测目标物的相互作用及敏感机制,为传感器的研究提供敏感材料;二是研究纳米材料表面功能化与富集分离工作机制,为传感器的研究提供特异性富集分离材料;三是研究敏感信号转换机制及超高灵敏检测方法,为传感器的研究提供设计和制造基础;四是综合上述三方面的研究成果,重点研制针对六六六、汞、TNT和沙林等的高性能现场快速检测传感器,并对传感器进行应用示范。经过两年的努力,项目提出了5种纳米敏感结构构筑新方法,实现了纳米敏感结构阵列的大面积构筑;通过纳米结构表面修饰与异质包覆,实现了选择性敏感效应;发展了系列阶层多孔纳米材料的功能化制备以及毒性甄别方法;硅纳米线实现了三维可控批量制造;提出了高能效下沉式三维微加热器结构;在硅纳米线上实现了多种基团分子的简单、可控修饰;初步形成了传感器制造平台方案,研制出原型传感器,确定了示范应用方案。     

一种无线飞行感知系统*

近年来，随着嵌入式技术、电子技术、物联网技术等不断发展，微小型无人机无论在娱乐还是科研方面都备受关注。本文基于开源飞控板APM2.5实现了多种附加功能，构建了一个微型无线飞行感知软硬件系统，可远距离实时获取视频图像、气体含量、可吸入颗粒物、温湿度等多种传感器信息，并设计实现了地面站控制系统。     

机器人的"电子皮肤"

日本科学家最近将传感器嵌入塑 料薄膜,为机器人制成了“电子皮 肤”,使其对温度、压力有了类似人的 感觉。 日本东京大学的科学家在塑料薄 膜中嵌入两组晶体管,一组感觉压力,     

电容式电压互感器故障分析处理和预防措施

本文介绍了运行中的高压电容式电压互感器常见的故障及其特征,对故障进行了分析和判断,介绍了故障处理办法,提出了减少此类故障的改进方法和预防措施。     

基于电流体动力学的电驱动纳米模塑技术

目前,作为集成电路以及纳米加工主流工艺的光学光刻技术．由于其受到光学衍射极限的物理限制．在16nm线宽及其以下节点的结构制造中,其技术复杂性和设备制造成本大大增加。纳米压印作为一种高分辨率、高效率、低成本和操作过程简单的技术,引起了各国研究人员的广泛关注。然而纳米压印中不可避免引入的机械压力又会引发纳米结构几何变形、变尺寸结构填充不均匀等问题。本项目针对常规纳米压印存在的问题,基于介电聚合物的电流体动力学行为研究．提出了利用电场力替代机械力的电驱动模塑技术．在保持纳米压印突出优势的前提下．克服或避免了机械压力引发的技术性难题．成功实现了15nm节点结构的高保真复型以及深宽比8的大深宽比纳米结构成型。     

油井资料录取记录及智能分析系统

介绍一种新型油田油井资料录取记录仪表，该仪表既能对需要周期性巡回检查的油井实施有效的管理，还能对巡检人员进行有效的监督，是针对油田需求而设计的。系统由手持式仪表、识别器和管理计算机5部分组成，详细介绍了各部分功能及手持式仪表的结构。     

未来的微型电站

BloomEnergy是一家发明燃料电池的美国清洁能源公司，不久前在接受美国哥伦比亚广播公司采访时表示，他们研发了一种迷你冰箱大小的家用微型发电站BloomBox，这种微型发电站可在十年内为美国家庭提供廉价、环保的电力。那么BloomBox还有哪些特殊之处？它真的能够在家庭供能方在掀起一场革命吗？     

安盾JKTPMS——汽车爆胎的“克星”

安盾JKTPMS是北京机械工业自动化研究所在市场需求的前提下，自主研发生产的轮胎压力监测装置。TPMS（汽车轮胎压力监视系统“Tire Pressure Monitoring System”的英文缩写，品名为“安盾”）主要用于在汽车行驶时对轮胎气压进行实时自动监测，该装置具有先进的无线传输技术、精密的预警系统，采用了先进的传感器和微处理器，可靠性高、     

已从澳租借了3艘可搭载直升机作战美欲部署100艘"迷你航母"

美军高层最近披露,美军将在全球部署大约100艘高速双体船(HSV),并将赋予其更多的使命。军事观察家认为,这不仅表明高速双体船开始走上历史舞台,而且表明美军未来发展的重要动向。具有微型航母的功能据美国《每日防务》报道,美军高层表示,计划在全球部署大约100艘高速双体船,如果一切顺利,在2012年之前美国陆军将首先组成一支由12艘HSV组成的舰队。美海军和海军陆战队希望得到17艘这种高速双体船,作为其未来的“海上大巴”。美国防部转型办公室主任亚瑟·塞布罗夫斯基认为已经具有微型航母的功能,并提出在HSV的基础上开发小型航母,搭载短…     

微型矢量、标量复合水声传感器技术研究

1 课题简介 随着新技术的不断发展,不论标量水听器,还是矢量水听器,各种敏感机理的测试(制作)方法都有不同的尝试.目前,国内声纳阵采用的检测基元,基本都是压电的标量水听器,"十五"期间,开始研究采用矢量水听器构成检测基元,目前国内有代表性的矢量水听器是由哈尔滨工程大学制作的,采用的是压电原理,其外形尺寸较大,中国电子科技集团公司第四十九研究所研制的声矢量传感器采用MEMS技术、压阻效应原理制作矢量水听器技术具有创新性.