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用摄动法求解了硅横向压阻效应四端器件的偏微分方程.用渐近解的分析方法对所求到的解进行简化,导出了硅横向压阻效应四端压力传感器的输出电压表达式.所得公式能够定量表达输出电压与输入参量和器件几何参数的关系,所得到结果与数值解和实验结果吻合. 相似文献
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本文对影响硅压阻式传感器性能的诸因素进行分析,并对圆形力敏器件的灵敏度进行了剖析,给出了部分实验数据与理论分析符合较好。本文的研究对开发设计高性能敏感元件有重要的指导意义 相似文献
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硅压阻式低压传感器研制 总被引:3,自引:0,他引:3
以各向异性腐蚀技术制造的矩形硅膜片为弹性敏感元件,研制了硅压阻式低压传感器。通过对矩形硅膜上应力分布的分析和计算,确定了力敏电阻的最佳位置和尺寸。压敏电阻全桥采用集成电路技术制作在2.5mm×5.5mm、厚35μm的矩形硅膜片上。在0~20kPa压力范围内,测得577μV/kPa·V的灵敏度,理论和实验结果有较好的一致性。 相似文献
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硅压阻式加速度传感器的结构研究 总被引:2,自引:0,他引:2
结合实际器件设计,对三种压阻式加速度传感器结构即双悬臂梁,四梁和双岛五梁结构进行了详细的力学分析和特性比较,得到了理论计算的灵敏度,固有频率和阻尼等特性,器件的测试结果与理论计算基本相符,目前三种结构的器件都已实用化,封装后的小于1g。该项工作为实际应用中根据不同量程要求选取不同的器件结构与参数提供了依据。 相似文献
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倒杯式耐高温高频响压阻式压力传感器 总被引:1,自引:0,他引:1
采用微型机械电子系统(MEMS)技术制作出了高精度、高灵敏度的硅隔离(SOI)倒杯式耐高温压阻力敏芯片,利用静电键合工艺将力敏芯片封装到玻璃环上,再通过玻璃浆料烧结工艺或高温胶黏剂将玻璃环装配到齐平式机械结构上,从而避免了管腔效应的影响,实现了耐高温高频响压阻式压力传感器的基本制作.通过有限元仿真和实验,分析了安装预紧力对传感器性能的影响,由传感器静态和动态实验得到传感器的精确度为±0.114%FS,动态响应频率为694.4 kHz,均满足火工品爆破测试等高温高频动态压力测试的要求. 相似文献
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《复旦学报(自然科学版)》1986,(3)
传感器在自动控制和高精度测量中是必不可少的敏感元件,其中压力传感器是使用最广泛的传感器之一,受到人们的普遍重视.半导体微电子学和计算机技术的发展,为传感器向半导体化发展提供了良好条件.硅压阻式传感器是半导体传感器中历史较久的一 相似文献
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压阻式压力传感器信号的采集与处理研究 总被引:1,自引:0,他引:1
王冰洁 《科技情报开发与经济》2006,16(8):222-223
提出了一种基于压阻式压力传感器信号的采集与处理系统的设计方案,探讨了系统以AVR微处理器为核心可对传感器的输出信号进行采样并转化为字信号,阐述了系统的软件流程和Modbus通信协议。 相似文献
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针对普通压力变送器精度低的缺点,在原理分析的基础上,提出了非线性误差正负不同时完整的补偿电路及参数选择方法,实现了低成本、高精度的测量.经实验表明,其非线性误差降低很大.补偿电路简单易行、性能可靠、经济实用. 相似文献
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为提高C型压力传感器性能,利用有限元方法,对C型结构传感器加工过程中出现的边缘R角、膜厚不均匀、双面对准偏差进行计算与分析。其结果表明控制工艺偏差是研制高性能传感器的基础。 相似文献
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压阻式压力传感器零点温漂补偿公式的推导 总被引:2,自引:0,他引:2
滕敏 《河南师范大学学报(自然科学版)》2011,39(1):101-103,112
导出一套压阻式压力传感器零点温漂的补偿公式.从电桥平衡出发,提出对电桥桥臂一串一并的十几种补偿方法归结为两种,从而简化了数学计算和补偿工作的繁杂性,并对导出的公式的使用方法,加以说明,理论和实验得到了较好的验证. 相似文献
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低g值硅压阻式加速度传感器的设计与分析 总被引:1,自引:0,他引:1
本文介绍一种低g值双悬臂梁式硅压阻式加速度传感器新结构,通过理论分析与计算,说明该结构的硅压阻式加速度传感器具有良好的输出性能。 相似文献
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针对普通压力变送器精度低的缺点,在原理分析的基础上,提出了非线性误差正负不同时完整的补偿电路及参数选择方法,实现了低成本、高精度的测量.经实验表明,其非线性误差降低很大.补偿电路简单易行、性能可靠、经济实用. 相似文献
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特种压阻式加速度传感器的研制 总被引:1,自引:0,他引:1
通过动力学分析和有限元模拟,设计出了具有高过载保护功能的加速度传感器结构.采用微型机械电子系统技术和集成电路工艺制作出了高精度、高灵敏度的硅微固态压阻平膜芯片,通过玻璃粉烧结工艺将其键合在弹性梁的应力集中处,利用激光焊接工艺,制造了量程为±20 km/s2、过载能力为30倍满量程的特种压阻式加速度传感器.实验表明,在对传感器施加集中载荷和动态冲击的条件下,传感器可达到静态精度为0.86%满量程、动态响应频率为3.43 kHz的技术指标,从而满足了非常规武器在触发控制等特殊领域的应用要求. 相似文献
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本文是在CGJY-7702型低差压硅集成压力传感器研制的基础上,结合我国的设备条件和工艺特点提出设计方案,对高稳定低差压传感器的实现,在主要工艺参数的选择上作了详细分析,并对非线性产生原因进行了讨论。 相似文献