传感器与微系统 第10届意大利学术报告会论文集

本书为第12届意大利传感器与微系统会议论文集。这次会议由意大利传感器与微系统协会于2007年2月12—14日在Napoll城镇举行。本书收录了本次会议上的近80篇论文，为传感器与微系统及其相关技术领域的发展提供了—个独特的视角。     

第9届意大利传感器及微系统会议会议录

本书是由意大利传感器及微系统学会（AISFM）组织的第9届意大利传感器及微系统会议的会议录。这次会议于2004年2月8—11日在意大利北部城市费拉拉举行。它是由费拉拉大学物理系主办的。整个会议被分成了11个口头宣读分组会和2个书面张贴分组会。这本会议录收录了来自103个研究单位的83篇论文，充分表明了意大利当前在该领域中进行着非常活跃的研究，     

传感器与微系统 第13届意大利学术报告会论文集

本书是由“第13届意大利传感器与微系统学术报告会”的大部分论文组成。该会议于2008年2月在意大利罗马大学召开。会议特别关注了空间应用、纳米技术、Casimir力的教学以及在传感器和微系统范围内实行校正和工业标准化的问题。     

微机电系统(MEMS)技术的研究与应用

微机电系统是源于微电子加工技术，融合了微机械制造、传感、致动及微控制于一体的系统。其特征尺寸极小，学科交叉广泛；技术研究包括微系统理论、设计建模、微机械加工、微器件集成等多个方面；学科分类涵盖了机械、力学、光学、流体、电磁学、生物学等各领域，在民品和军品领域有许多热点应用。本文介绍了微机电系统发展概况、微机电系统技术关键、微机电系统有关传感器，以及微机电系统热点应用和微机电系统技术的发展前景。     

关于地磁与空间微物理场及其应用系统研究的思考

本文从地磁对地球科学研究及防灾减灾、资源利用与国民经济建设的影响与需求出发，简要介绍了地磁学、地磁测量仪器与传感器以及地磁在导航、空间天气、大气科学、日地关系等相关学科中应用的研究现状，提出了传感器与基础材料、地磁测量理论与技术、地磁和空间微物理场与地球系统关系、地磁理论在相关领域的研究设想，以及地磁和空间微物理场多要素一体化探测系统与公共信息共享平台建设及应用系统开发的设想，提出了推动地磁科学研究及产品与应用系统开发的几点建议，展示了地磁学研究的发展趋势与应用前景。     

“无线传感网与微系统技术领域”项目群等通过验收

[上海微系统与信息技术研究所]12月27至28日,中科院高技术局在北京组织对中国科学院知识创新工程重要方向项目"无线传感网与微系统技术领域"项目群和"带状传感器网络关键技术攻关及世博防入侵应用示范"进行了验收。中科院高技术局、中科院微系统中心、上海微系统与信息技术研究所有关领导,验收专家组及各项目相关技术人员参加了验收会。     

无线传感器网络的研究进展

作为下一代“无处不在的计算(Ubiquitous Computing)”形式之一的无线传感器网络,集成了传感器、微机电系统和网络3种技术。目前该领域世界范围内的研究已进入原型机实验阶段与标准制定阶段。就无线传感器网络研究的主要分支、进展及应用进行了综述。     

第三届移动自组织网和传感器网络国际会议举行

2007年12月12日～14日，2007年第三届无线自组织网与传感器网络国际会议（MSN2007）在北京中苑宾馆举行。 近几年，国内在无线自组织网与无线传感器网络等方面取得了许多高水平的成果，吸引了众多国际著名学者的注意。这次MSN2007国际会议侧重于无线自组织网与无线传感器网络领域的核心理论、应用技术、测试技术和最新成果及其未来发展方向。     

有限元法在谐振式硅微机械加速度计设计中的应用

谐振式硅微机械加速度计是新型高精度的微机电系统传感器，作者选用双端固定音叉作为谐振器，设计了一种硅微谐振式加速度计，设计中，使用了有限元分析软件进行了大量辅助分析，对传感器的工作情况进行了仿真。通过模拟和计算，预先估算出谐振器固有频率、应力分布情况以及传感器基本性能参数，这对传感器工艺流程设计及结构改进具有重要意义，有限元分析结果显示，传感器的灵敏度大约为2Hz/g。     

基于原子力显微镜微探针的新型超灵敏传感器

近年来基于原子力显微镜(atomic force microscopy, AFM)微探针发展的新型超灵敏传感器引起了研究人员的极大兴趣，已成为这一研究领域的前沿方向之一．基于AFM微探针的新型传感器主要是利用AFM的高分辨率、可以测定极微弱的力和AFM微探针悬臂对极微弱力敏感等特性．如利用AFM的高分辨率的特性，通过测定样品表面覆盖度、高度等的变化，发展了新型免疫传感器、DNA传感器等；利用AFM可以测定极微弱的力，通过测定分子对间的相互作用，发展了各种新型微探针力传感器；利用AFM微探针悬臂的对极微弱力敏感，将分子识别反应的力学信号转化为AFM探针微悬臂的纳米机械响应，发展了形式多样的新型化学、生物传感器．文中从AFM微探针信号转换原理的角度分类综述了这一前沿研究方向的重要进展．     

第12届世界微机械峰会——微／纳技术与应用

世界微机械峰会（The World Micromachine Summit）是世界各国交流微米纳米技术进展和国家发展战略的重要平台之一。该峰会自1995年在日本微机械中心的倡议下成功召开后，已经先后举行过了10届，是微机械技术领域一年一度的盛会。该会议的目的是通过各个国家和地区代表之间就涉及微机械技术各个方面问题的直接交流来促进微机械技术的发展，会议讨论的主题包括技术的研究与发展、产品的产业化和国家相关决策等多个方面。近年由于纳米技术的蓬勃发展，峰会将纳米技术与微机械技术一起并列为会议的讨论中心。     

消防数据保护器

山西科泰微技术有限公司是从事惯性导航系统、测试系统及MEMS传感器设计、生产与销售的高新技术企业,是太原市首批创新型企业示范单位。公司主要产品有：微机械惯性导航系统、数据记录仪、数据保护容器（船用黑匣子）、消防数据保护器（消防黑匣子）、过载加速度传感器、振动加速度传感器、加速度过载开关、带式压力传感器等。     

基于虚拟仪器Labwindows/CVI的拉压式微力测试系统设计

致灾农业昆虫捕集滑板仿生研制过程中需要测试昆虫附着系统在材料表面产生的附着力、摩擦力、剪切力等,为满足对毫牛尺度微力的测试需求,研制了拉压式微力测试系统。该系统硬件部分包括测力传感器、配合测力传感器实现微力测试功能的机械机构、传感器输出信号调理模块与能够完成A/D转换的数据采集卡,基于虚拟仪器Labwindows/CVI编写了系统的数据处理与界面显示程序。调试运行结果表明设计的拉压式微力测试系统能够准确采集昆虫附着系统产生的毫牛尺度微力,并能在显示界面实时、直观地显示,以及能够实现昆虫微力轨迹图和数据组的保存。拉压式微力测试系统的测试精度可达0.1mN,测试量程范围最大为3.0N,完全能够满足致灾农业昆虫捕集滑板仿生研制过程中对毫牛尺度微力的测试需求。     

电子学未来芯片的前沿

本书是新加坡世界科技出版公司出版的《电子学与系统专题》丛书的第26卷。2002年1月6～11日在美国维尔京群岛的圣克罗伊岛举行了“第三届电子学前沿研讨会”(WOFE-02)，来自学术界、工业界和政府部门的70多名第一流专家参加会议，交流了电子学与光电子学工业最新进展、未来的趋势与方向。电子学的迅猛发展使得不同的技术领域相继合并。本次会议为正在形成的微电子学、     

位置传感器在工业自动化中的应用

位置传感器在工业自动化中的作用越来越重要,在未来几年中,我们需要通过大规模高度集成的微电子技术和微系统技术,来提高传感器性能,进一步降低成本,使得传感器的智能化更高,功耗更少。在这篇文章中,我们将研究三个不同的传感器原理以及在工业自动化领域的一些新的位置传感器。     

石英晶体微天平传感器在油品粘度中的应用研究

利用石英晶体微天平传感器开发了一种新的油品粘度监测方法，阐明了石英晶体微天平传感器在油品粘度监测中应用的基本原理，研制了适合油液环境的传感器探头以及振荡电路，实验结果表明，传感器的频移值与润滑油粘度的平方根值有良好的线性关系,利用石英晶体微性关系，利用石英晶体微天平传感器对油品粘度进行监测是很灵敏的，因此适合用于油品在线粘度的分析。     

微系统研究的思考和单芯片RF-MEMS研究进展

微光机电一体化系统简称微系统，是当今技术发展的前沿领域之一。微系统技术的发展将大大地促进许多产品或装置微型化、集成化和智能化，成倍地提高器件和系统的功能密度、信息密度与互连密度，大幅度地节能降耗，有广阔的应用领域和市场。文章阐述了微系统研究的意义以及微系统基础研究的重要性，概述了用于无线通信设备的MEMS器件的性能，指出了MEMS技术是最终实现单芯片机电一体化无线收发系统的根本途径之一，介绍了用于无线通信网络的单芯片机电一体化的微系统研究进展情况。     

穿戴式传感器与机器人技术

正穿戴式传感器与机器人国际会议(International Conference on Wearable Sensor and Robot)于2015年10月16~18日在浙江大学举行。此次国际会议会由浙江大学主办,国际标准化组织(ISO)和国际电工委员会(IEC)协办,浙江大学机械工程学院和流体动力与机电系统国家重点实验室承办,本次会议旨在促进国内外穿戴式传感器和机器人领域的最新成就和信息技术的交流,加强前沿学科间的交叉和渗透,探讨该领域未来的发展方向和产业化应用趋势,推进我国智能穿戴科技工作者与国外同行的了解和联系。会议由浙江大学机械工程学院的杨华勇院士担     

十字型微谐振梁多场耦合振动及信号分析

微机电系统（MEMS）又称微系统或微电子机械系统，是在微电子技术基础上发展起来的一种高科技微型器件或系统。MEMS集光刻、腐蚀、LIGA、硅和非硅表面微加工、精密机械加工等技术于一体，其尺寸在微米量级。利用微加工技术生产的微传感器以结构简单、灵敏度高和工作稳定等特点而广泛应用于工程实际中。微传感器通常采用静电激励与电容检测方法检测信号，即利用谐振梁振动时的位移变化导致电极之间的距离变化，从而使电极之间的电容值产生变化，检测到的电容变化频率即为谐振梁振动的频率。为解决微传感器电容检测信号微弱、检测精度较低的问题，提出了一种十字型微谐振梁。为研究微谐振梁的多场耦合效应，在考虑范德华力、电场力的情况下建立了谐振子的多场耦合非线性动力学方程。采用林滋泰德-庞加莱法求解获得其非线性振动的动态位移，分析了多物理场参数对于谐振子振动位移平均值以及电容变化量的影响规律。运用微纳加工手段制作出十字型微谐振梁，采用静电激励-电容检测方法进行了谐振频率和振动位移导致的电容变化量测试。结果表明：十字型谐振梁增大了极板面积，电容变化量增加，其信号强度更强。当面积增大75%时，电容变化量为原来的4.2倍，信号强度...     

微腔型传感器的电化学表征及其应用初探

利用微机械加工技术、各向异性腐蚀技术研制了具有三维结构的微腔型传感器，微芯片（3×6mm^2）具有三维腔体（腔深300μm，铂工作电极1．21.2mm^2，Ag/AgCl参比）。工作电极与Ag/AgCl参比集成在同一微 芯片上，作者对微腔型电极进行了电化学特性的表征，并测试了微芯片上Ag/AgCl参比电极的性能，考察了微腔型传感器在化学传感器、生物传感器方面的初步应用。对H2O2，半乳糖进行检测。