一种提高激光三角法薄板在线厚度测量精度的方法

提出了利用3个结构相同的激光三角测量模块,结合三同步驱动技术,通过保证上、下激光三角测量模块得到的厚度数据与第3路厚度补偿数据的同步来提高精度的方法.最后,采用统计上、下界法通过随机测试数据对测量系统的收敛性进行了分析.实验结果表明,该方法能够有效提高在线厚度测量精度.     

基于激光三角法的内径测量不确定度分析

为探究激光三角法测量内径时的准确性,以30 mm的内孔零件为试验样本,通过控制测量装置移动,建立其与传感器示值的映射关系模型.分析激光三角法测量内径时影响精度的因素来源,并对其进行不确定度评定.结果表明:在物面倾角小于10?时,基于激光三角法进行内表面测量的不确定度为0.009 mm,其扩展不确定度为0.018mm.实...     

激光位敏探测器在三角测量中的应用研究

介绍了新型激光位敏探测器(PositionSensitiveDetector,PSD)的结构、特点及其工作原理;结合一维激光PSD在三角测量中的应用,给出了测量系统的主要组成;讨论了激光PSD在实际应用中的一些关键技术问题.最后给出了一个在线连续检测应用实例.应用结果表明,即使被测目标在运动状态下,这种检测系统仍然能获得非常满意的测量效果.     

PSD激光三角法弱反射微振动测量系统

设计了基于位敏探测器PSD(Position Sensitive Detector)的激光三角法测量系统,可测量类似扬声器振膜物体的弱反射宽带微振动位移.信号处理采用全模拟电路实现,低输入偏置电流、中速运算放大器OP271EZ作为前置放大器,二像限除法器AD734构成除法电路.     

激光三角法测量表面形貌

对激光三角测量法应用于表面形貌的检测进行研究.通过分析激光三角测量的基本原理,得出光路设计条件与输入输出关系.分析了几种激光三角测量的改进方法的优点、局限与适用范围.讨论了激光三角测量中影响分辨率与精度的几个因素并提出应对的措施.     

插值和滤波处理技术在激光三角法测量中的应用研究

采用直接阈值法和迭代阈值法对激光三角法测量中的光斑区域进行分割,然后用最近邻插值和双线性插值法对截取的光斑图像进行插值处理,实现光斑图像特征点区域的亚像素定位,并对几种不同滤波器处理情况下的计算结果进行了对比和分析.     

激光三角法测量小角度的测量模型和光路设计研究

改进了传统的激光三角法,建立了该方法用于小角度测量的测量模型,设计了测量的实验光路,并结合数字图像处理技术,开展了用该方法测量小角度的研究.实验表明,该方法可以实现物体小转角的高精度测量.     

大型物体测量中的付立叶变换轮廓法

介绍一种用付立叶变换轮廓法（ＦＴＰ）来实现的大型物体表面轮廓测量系统。ＦＴＰ用在该大视场、大面积测量时，能够达到的测量精度为３‰，重复性精度为１‰。     

用激光干涉法动态测量圆钢直径

提出一种用激光干涉法快速，无接触，动态测量圆钢直径变化量的方法，采用该方法，并加上自动反馈装置后可进行生产过程的自动控制。     

刀口位置误差对激光光束漂移测量精度的影响

本文对刀口法激光光束漂移测量系统中刀口位置误差进行了分析，分析表明，在刀口位置误差中，Ｚ和△Ｚ对测量精度的影响最大。利用微调机构可以消除Ｚ的影响，△Ｚ的影响需采用高精度对焦机构来减小或消除，该分析对指导实验过程和完善系统设计具有指导意义。     

物面倾斜对激光三角位移测量精度影响的研究

在高精度激光三角法位移测量中，被测物面的倾斜对测量精度影响很大。本文利用光散射原理研究了物面倾斜角与激光三角位移计光电接收面上会聚光斑的光能质心的关系，进而推得了物面倾斜角与相应的倾斜误差间的关系式。实验结果与理论预计基本一致。在此基础上提出了校正倾斜误差的方法。     

使用PSD的高精度三维测量探头的研究

在三维测量领域中,作为后起之秀的光学式非接触测量,与传统的接触式测量相比,具有测量速度快,工作距离大,受环境电磁场影响小等缺点,但同时也暴露出精度不高,易受被测物体表面影响等缺点。在分析其原理的基础上,提出一套新的方案,将使用位置敏感探测器的光学式三维测量探头的检测与光源控制集成为一个联系紧密的系统。利用这种方法可以在很大程度上克服光学式非接触测量探头在实际应用中遇到的困难。     

被测表面特征对激光测头特性的影响

提出了基于坐标测量机,激光三角法测头,测头回转体的自由曲面非接触扫描测量方法,其中激光测头的输出值受被测表面的粗糙度,曲率以及颜色等特征的影响,存在相应的误差,为了减少这些误差,对其影响规律进行了实验研究,结果表明,表明粗糙度值太低,测头不能完成测量,原因是表面存在较强的镜面反射光,曲率越大,测量误差越大,因为光斑区域内的表面平均高度变化加大,颜色越深,测量误差越大,因为漫反射光信号过弱所致。     

用形貌仪技术测试陶瓷磨削表面残余应力的研究

采用表面形貌测试技术对陶瓷磨削表面残余应力进行了测试研究,并进行了接触式和非接触式形貌测试的比较,对测试结果进行了计算分析。     

耦合差动式纳米级分辨力位移测量激光干涉仪

介绍了一种新型的主级精度位移测量激光干涉仪的设计原理与应用,该干涉仪以独特的光学原理被命名为“耦合差动式激光干涉仪”,其结构简洁紧凑,性能稳定,光路布局对称性好,不存在死光程,光程差倍增,容易装调,符合阿贝原则和结构变形最小原则,在１０ｍｍ测量范围内,获得了λ／８００的分辨力和纳米级的测量精度。     

精密PSD微位移在线测量系统

为了满足工业现场微位移测量的精密性实时性和可靠性要求,设计并制作了位置敏感器件（PSD）激光微位移测量系统.系统将调制带通滤波峰值检测等信号处理技术运用于激光三角法中,并利用PSD信号单通道处理方式,提高了系统的抗干扰能力.同时,系统采用自适应控制方法改变激光的调制频率,从而调整电信号的增益系数以适应各种测量对象.实验表明,在没有滤光片的情况下,系统有效地消除了背景光和暗电流的影响,测量频率最高可达2,kHz,分辨率达到0.035%,稳定性误差小于0.090%,线性度好于1.2%,大大降低了温漂的影响.     

半导体掺杂分布精细结构的测量技术研究

论述了一种采用数控精细扫描电压源的电容－电压（Ｃ－Ｖ）测量系统，利用该系统可以测量硅及砷化镓样品表面层的掺杂分布的精细结构，为半导体器件和集成电路芯片的设计与制造工艺的优化提供可靠的依据，测试系统采用ＰＣ微机作为主控机，配以接口模块，数据采集模块，控制模块及电容仪等，可使测量快速，准确地进行，并可使复杂的操作与计算过程完全自动化。