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MEMS压力传感器的温度补偿 总被引:1,自引:0,他引:1
研究了恒流激励条件下批量温度补偿的方法.零点的温度补偿是通过在桥臂上并联阻值较大且恒定的电阻来实现的,而灵敏度的温度补偿则是在整个桥臂上并联阻值较小且恒定的电阻来实现的,补偿后零点温漂为0.004%~0.015%FSO/℃,灵敏度温漂为0.0035%~0.024%FSO/℃,这表明这种补偿方法具有良好的效果. 相似文献
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SOS压力传感器温度的补偿 总被引:3,自引:0,他引:3
分析了硅 蓝宝石(SOS)压力传感器的温度特性,表明测量范围较宽时,传感器的输出易受环境温度的影响,并且成非线性·提出一种基于神经网络共轭梯度算法的硅 蓝宝石压力传感器温度补偿方法·利用神经网络共轭梯度算法具有逼近任意非线性函数的特点,通过训练使神经网络建立在不同环境温度下传感器输出与其实际感受的电压值之间的非线性映射关系,实现硅 蓝宝石压力传感器温度补偿·计算机仿真表明,该方法不仅能有效地消除温度的影响,而且能在神经网络的输出端得到期望的线性输出· 相似文献
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多晶硅压力传感器温度自补偿性能研究 总被引:3,自引:0,他引:3
介绍了多晶硅压力传感器的温度特性。重点研究了LPCVD.Poly-Si膜的掺杂浓度对传感器温度特性的影响。通过理论分析和实验研究,找到了实现传感器温度自补偿的最佳掺杂浓度值。获得了工作温度高,温度特性好的压力传感器,实验结果与理论分析相符。 相似文献
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具有温度补偿的光纤光栅压力传感器 总被引:8,自引:0,他引:8
为了实现高压测量时的温度交叉敏感问题,提出一种基于自由弹性变形体的光纤光栅压力传感器结构及光纤光栅传感信号的自解调方法。与传统光纤光栅传感器中传感单元与解调单元相互分离的结构不同,该文提出的光纤光栅压力传感器系统利用一对匹配的光纤光栅和一个简单的等腰三角形悬臂梁结构,实现了传感解调的合而为一,解决了光纤光栅传感器的交叉敏感和信号啁啾的问题。仿真与初步的试验结果表明,在高达100M Pa的压力范围内,测量灵敏度为8.5 pm/M Pa。 相似文献
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论述了温度对压力传感器输出灵敏度和线性度的影响, 在273K至398K的温度范围内对传感器进行试验,结果表明随着温度的升高压力传感器的线性度和灵敏度降低.这一影响可以通过双压阻式电桥加以补偿. 相似文献
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《淮阴师范学院学报(自然科学版)》2019,(4)
鉴于压阻式压力传感器温度漂移问题,建立了压力传感器的温度补偿BP神经网络模型,采取人工鱼群-蛙跳算法优化训练BP神经网络.实验结果表明,利用人工鱼群-蛙跳算法优化的BP神经网络模型能快速、准确地实现压力传感器温度补偿,并提高压力传感器的输出精度. 相似文献
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本文是根据晶体管的发射结偏压随温度变化的关系,来代换扩散硅压力传感器中利用扩散电阻进行温度补偿的原理和优越性。 相似文献
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将应变式压力传感器的弹性膜片与一种光纤位移检测装置相结合构成了一种反射式光纤压力传感器,阐述了其设计思想,并给出了一个设计实例,该互补偿型传感器可以消除环境温度,光源输出功率波动及光路损耗变化等因素的影响。 相似文献
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FBG传感器温度性能及温度补偿实验 总被引:1,自引:0,他引:1
FBG温度传感器可以用于测温,在其他参量监测中,还用它作温度补偿.本文对FBG及其传感器的温度性能进行实验研究,旨在研究FBG传感器的温度灵敏度及提高温度补偿精度的方法.结果表明:从实验中得到的温度灵敏度与理论分析结果非常吻合;使用低膨胀材料做工作片基底,用高膨胀材料做补偿片基底,可以有效地减小温度补偿误差,提高测量精度. 相似文献
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由于压力传感器的物理特性,使它会产生零点热漂移,这种温度漂移在很大程度上会影响压力传感器的精度。因此,对零点热漂移的补偿就成为压力传感器的一个重要研究方向。本文从电路的角度分析了压力传感器产生零点热漂移的原因,为压力传感器进行温度补偿提供了理论基础,同时文章中也给出一些温度补偿的方法。 相似文献
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光纤光栅应变传感器的温度补偿 总被引:2,自引:0,他引:2
为建立经过钢套筒封装后的光纤光栅应变传感器的温度补偿方法,从封装传感器的微观结构出发,利用光栅与封装套筒在界面上力学作用机理推导出封装传感器的波长变化与环境温度、应变变化值之间的关系式.给出了应变传感器进行应变测量时的温度补偿公式与工程实施方案.室内的标准实验证明:对于封装的应变传感器进行应变测量时,采用建立的温度补偿公式与实施方案能够正确剔除温度影响,得到真实的应变值,如果采用传统的裸光栅温度补偿方法在温度变化幅度较大情况下将导致严重的系统测量误差. 相似文献
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α射线露点传感器温度跟踪补偿 总被引:1,自引:1,他引:1
介绍了采用半导体探测器和温度传感器研制成的α射线露点传感器的工作原理·分析了α射线露点传感器的温度特性,表明测量范围较宽时,传感器的输出易受环境温度的影响,并且呈非线性·提出一种基于神经网络共轭梯度算法的α射线露点传感器温度跟踪补偿方法·利用神经网络共轭梯度算法具有逼近任意非线性函数的特点,通过训练使神经网络建立在不同环境温度下传感器输出与其实际感受的电压值之间的非线性映射关系,实现α射线露点传感器温度补偿·计算机仿真表明,该方法不仅能有效地消除温度的影响,而且能在神经网络的输出端得到期望的线性输出· 相似文献