高精度电容式微型压力传感器

本文从应用开发MEMS产品的实用角度出发,着力介绍一种新型的电容式微型压力传感器的结构组成和它的MEMS制造工艺。文中详细给出了这种电容式微型压力传感器的结构组成图、组成尺寸和它各部分部件的材料构成以及在硅材料加工过程中存在的主要技术难题。最后,详细给出了电容式微型压力传感器的加工工艺过程。     

基于表面应力的电容式生物传感器研究

本项目所提出的是一种新型生物传感器,具有灵敏度高、响应时间短、精度高、生物兼容性好、便于携带的特点,在环境监测、食品工程、临床医学、军事及军事医学等方面都有着广泛的应用前景,为实现我国在生物领域的跨越式发展打下了扎实的基础,并对提升山西省在该领域的自主知识产权有很大的推动作用。     

铂纳米线阵列用于尿酸生物传感器的研究

采用电沉积法制备了铂纳米线阵列并用于固定尿酸酶研制了一种新型尿酸酶传感器。利用铂纳米线阵列有效的表面积和对尿酸的氧化产物H2O2直接电催化性,实现尿酸酶与电极之间直接电子传递。制成的传感器具有较高的灵敏度、较宽的线性范围和较低的检测下限。     

微型矢量、标量复合水声传感器技术研究

1 课题简介随着新技术的不断发展,不论标量水听器,还是矢量水听器,各种敏感机理的测试(制作)方法都有不同的尝试.目前,国内声纳阵采用的检测基元,基本都是压电的标量水听器,十五期间,开始研究采用矢量水听器构成检测基元,目前国内有代表性的矢量水听器是由哈尔滨工程大学制作的,采用的是压电原理,其外形尺寸较大,中国电子科技集团公司第四十九研究所研制的声矢量传感器采用MEMS技术、压阻效应原理制作矢量水听器技术具有创新性.     

论现代物理学中真空理论的发展--纪念爱因斯坦提出狭义相对论100年

真空理论是当代基础物理学前沿四大问题之一.爱因斯坦关于真空概念的深刻思想,推动了20世纪物理学前进的过程.本文从广义相对论、量子电动力学、量子色动力学、量子味动力学、圈量子引力及超弦/M理论等多个领域,论述了现代物理学中真空理论的主要发展情景.     

BEPCⅡ储存环前室真空盒的研制

"BEPCⅡ储存环前室真空盒的研制"项目属于北京正负电子对撞机重大改造工程(BEPCⅡ)工程中一项重要任务.BEPCⅡ改造的目的是在原BEPC隧道中新增一环,形成双环对撞,实现一机两用(即高能物理和同步辐射两用).由于设备安装空间非常紧张,同时要保持并增加同步辐射光束线,受限条件多,改造设计难度巨大.BEPCⅡ设计对撞亮度比原来(BEPC)高30～100倍,性能指标国际领先.     

多维力传感器的研究与应用

多维力传感器可以检测三维空间多个方向的力或力矩信息，自上世纪70年代问世以来，首先在智能机器人领域得到应用，近年来在航空、航天、机械装配与制造，以及体育竞技领域也获得了广泛的应用，由于其研究涉及多个学科领域，制作工艺也比较复杂，所以其技术至今仍在发展中。     

GJC4／100型高低浓度甲烷传感器的研究

GJC4／100型高低浓度甲烷传感器是以高性能单片机为核心，以载体催化元件和热导元件为敏感元件来检测甲烷浓度的高精度、低功耗、高可靠性、智能型甲烷传感器，该传感器既可检测0～4％的低浓甲烷，又可检测4％～100％的高浓甲烷。已通过国家煤矿防爆产品安全质量检测检验中心进行的性能检验和防爆检验，取得了矿用安全标志准用证（MA认证），并在全国多家矿井推广应用。     

微发动机内的多参数集成传感器关键技术研究

该课题由西安交通大学与英国伯明翰大学合作开展，以微型发动机、发动机用多参数集成传感器为主要内容，进行关键技术研究。微型发动机作为Power MEMS（型动力机电系统）的重要方案，在能量密度、可靠性、维护性等方面有突出优势，被认为可在部分领域替代现有常规化学电池系统。     

肠道病原菌快速诊断的纳米生物传感器研发

近年来,由肠道病原菌引起的食源性疾病爆发事件时有发生,这无疑已成为日益严重的世界性公共卫生问题,肠道病原菌不仅对人类的健康构成威胁,而且也给国家带来沉重的社会经济负担。     

任何平台任意环境下的实时多传感器追踪装置

目前国内单个传感器的导航发展很快,北斗导航系统完成硒域导航定位并在许多领域得到应用,比如汶川抗震救灾中人员救护和财产保护起到很大的作用。而在组合导航系统领域,多年来则进展不大。针对卫星导航在室内、城市高楼区、隧道和其他森林覆盖区卫星信号中断的问题及惯性导航仪器不稳定而产生的漂移问题,采用多传感器组合导航可以通过相互补偿的作用,因而获得更高精度的导航参数,满足人们对室内外定位的精度要求。     

非真空太阳能高温吸热管高效选择性涂层体系设计和相关技术的研究及其系统的示范

太阳能转化为电能,有两种主要途径:一是光电转换,通过光电装置将太阳光直接转化为电能,而“太阳光发电”,常称“光伏发电”;另一种是吸集太阳的辐射热能转化为电能,即“太阳热发电”.目前,太阳能热发电系统是特别适于实现大规模发电的系统.尤其是采用高温热发电系统,以显著提高太阳能的热发电效率,降低成本,已成为各国太阳能热发电技术开发的课题.     

纳米粒子标记的免疫层析芯片与生物传感器的研制

针对乙型肝炎、艾滋病、幽门螺旋杆菌、乳腺癌早期诊断的需求,将纳米粒子标记技术,免疫层析芯片技术与生物传感器结合起来,研发相应的高效、灵敏、特异、快速的纳米检测器件.     

生物传感器检测理论及技术体系的建立和应用研究

恶性肿瘤、代谢性疾病、遗传学疾病和传染性疾病严重危害人类健康,对这类疾病进行快速、灵敏的诊断可显著提高诊断准确率、临床治疗效果,然而目前临床检测手段存在耗时长、操作繁琐、检测条件苛刻等不足,不能完全满足临床检验的需要,亟需研发一种快速、灵敏、高通量的检测新方法.本项目在国家科技攻关项目和国家863计划课题等支持下,历经10余年的基础理论与临床应用研究,取得了如下研究成果:     

具有高磁场灵敏度的磁性隧道结及其线性输出磁敏传感器的研究

1项目概述1．1项目背景近年来,作为凝聚态物理领域一个新兴的研究方向——自旋电子学,已持续20年成为凝聚态物理的一个焦点研究方向。同时以巨磁阻GMR、隧穿磁电阻TMR为代表的自旋电子学新材料、新结构及新器件的应用,已成为纳米材料和技术迅速转化为高科技产业的两个典型范例。