超精加工分析用宽范围原子力显微镜的研究

介绍了一种用于超精加工分析用的宽范围原子力显微镜。其垂直方向和水平方向的分辨率可达ｎｍ级，测量范围可达１４０μｍ×１４０μｍ。采用了探头扫描方法和双扫描工作模式，扩大了这种测量方法的工程应用范围。给出了金刚石刀具钝圆半径与精密玻璃光栅和超精密抛光陶瓷的轮廓形貌的测量结果。     

基于隧道效应的nm级三维轮廓仪的研究

介绍两种不同结构形式的基于电子隧道效应的ｎｍ级三维轮廓仪．其纵向分辨率可达００２ｎｍ，横向分辨率可达０２ｎｍ，扫描范围分别达到４０μｍ×４０μｍ和１４０μｍ×１４０μｍ．可直接对φ５０ｍｍ和φ１３０ｍｍ的大尺寸样品表面进行ｎｍ级的超微观形貌检测与分析．还给出了高定向石墨表现原子图像及一些超精密表面的超微观形貌测量的结果     

基于隧道效应的nm级三维轮廓仪的研究

介绍两种不同结构形式的基于电子隧道效应的ｎｍ级三维轮廓仪。其纵向分辨率可达０．０２ｎｍ，横向分辨率可达０．２ｎｍ，扫描范围分别达到４０μｍ×４０μｍ和１４０μｍ×１４０μｍ。     

STM式三维nm级轮廓仪的研究

基于ＳＴＭ式三维ｎｍ级轮廓仪的检测原理、检测系统，研究了与其相关的检测技术．该轮廓仪可直接测量较大工件，扫描范围为１４０μｍ×１４０μｍ，分辨率达ｎｍ级．最后对工作台扫描非线性及扫描控制技术进行讨论，并利用多项式拟合法补偿工作台扫描的非线性误差，进而提出了一种平滑反馈扫描技术．     

nm级制造用三维微定位的扫描探针显微镜

介绍一种用于ｎｍ级制造具有ｘｙｚ三维微定位能力的扫描探针显微镜（ＳＰＭ）．采用电磁足周期性地夹紧与松开，结合压电陶管的轴向伸缩变形的微位移爬行器构成三维微定位机构．扫描范围可达２０μｍ×２０μｍ，且探针可在样品表面ｘ和ｙ方向上１０ｍｍ×１０ｍｍ范围内实行ｎｍ级的定位．探针在ｚ方向接近样品表面也可自动进行．给出了微定位器的运动分辨率、速度与工作频率，以及在扫描道显微（ＳＴＭ）方法下测得的高定向石墨表面原子图像     

超精密微量进给刀架的研制

介绍一种新型超精密微量进给刀架,该刀架采用双簧片铰链结构的弹性变形体,刀尖高度可实现０～０．３ｍｍ微量调整．实验结果表明,该刀架具有良好的静、动态特性,其轴向静刚度为１００Ｎ·μｍ(－１),行程为０～５ｍｍ,重复定位精度不超过±０．０２μｍ．ｘ方向、ｙ方向的固有频率最低为４．３６ｋＨｚ和４．０５ｋＨｚ．能够满足超精密加工的需要．     

GaAs MSM—PD的实验研究

本文报道一种双肖特基势垒叉指电极型快速光探测器，其光敏面１５０×１５０μｍ２，指长１４０μｍ，指定１０μｍ，指间隔１０μｍ．实验结果表明：该探测器的光灵敏度为０．７０Ａ／Ｗ，暗电流为ｎＡ量级（ＵＤＣ＝１０Ｖ），其响应时间小于４０ｐＳ．     

与频率无关的压控精密相移器

本文提出了一种压控精密相移器。设定相移的调整范围从１４°￣１６０°连续可调。在４５Ｈｚ￣６０Ｈｚ的频率范围内相移位变化小于０．５°，该电践输入信号电压范围是１４０ｍＶ￣５Ｖ，它已成功的用于电力系统的测量仪表中，本文介绍了电路工作原理，电路结构和实验结果。     

用于扫描探针显微技术的空间超精微定位系统

建立了柔性铰链和复合柔性平行四析结构的力学模型．针对扫描探针显微技术（ＳＰＭ）的需要，给出了一种空间三维超精微定位机构及其控制系统．此定位系统行程１０μｍ，定位精度１０ｎｍ，定位分辨率２ｎｍ．     

固定化酶流动注射化学发光法测定葡萄糖

本文制备了高活性长寿命的固定葡萄氧化酶，并用于流动流射化学发光分析法测定人血清中葡萄糖的含量，结果令人满意，方法的线性范围为０．４－１００μｍ．ｍＬ＾－１，检出限可达０．０８μｇ．ｍＬ＾－１，检出限可达０．０８μｇ．ｍＬ＾－１，在测量条件下血清中的共存物质均不产生干扰，取样量数微升，一分钟内就可得出结果。