硅-兰宝石集成压力传感器原理及制作工艺

硅-兰宝石集成压力传感器是一种无隔离结的固态压阻式传感器,它具有耐高温,耐腐蚀,抗辐射等许多硅集成压力传感器所无法比拟的优点。本论文在简要分析了硅-兰宝石压力传感器原理的基础上,就宝石杯的加工,P型硅膜的外延,及敏感桥路制作的重要关键工艺进行了较详尽的探讨、分析,并分别给出了相应的解决方法。此外,还就传感器的结构设计进行了扼要的探讨,并予以解决。本论文为硅-兰宝石压力传感器的研制、开发、应用提供较全面的基础。     

微型电容式压力传感器硅基薄膜的设计与制备

获得均匀、平整的硅基薄膜是制备出高灵敏度的微型电容式压力传感器的关键步骤.首先在理论分析的基础上,确定了微型电容式压力传感器的基本参数,而后在制备中,发展了一种新型的硅基薄膜制作方法,即利用硅-玻璃键合工艺,结合浓KOH溶液超声腐蚀与化学机械抛光的方法,得到了厚度为10μm的均匀、平整的硅基薄膜,为制备微型压力传感器奠定了工艺基础,也可用于其他微机电系统(MEMS)压力传感器.     

“电容式水深浪高传感器”通过验收和鉴定

一种采用压力电容变化方法来测定水深和浪高的传感器日前由我校研制成功 ,并通过了国家机械工程局组的验收和鉴定 ,该成果主要技术性能指标已达到了国际同类产品 90年代先进水平 ,在国内处于领先地位 .目前 ,国内传感器市场上占主导地位的是微机械加工压阻式压力传感器 ,它与微机械加工电容式传感器相比 ,存在使用设备复杂、工艺要求条件高、成本较高的问题 .而新研制成功的这种电容式传感器 ,不仅在传感器结构上有了突破 ,开发了自举开放式差动电容结构 ,解决了电容传感器一直必须密封的问题 ;还研制出一种双杯复合式差动传感器 ,取得了专…     

微压传感器的设计分析

本文分析了压阻式扩散硅压力传感器的设计原理:对微压传感器的关键问题提出了各向异性腐蚀,掺高浓度硼停止腐蚀;用E型杯代替C型杯的设计,初步研制了量程小于1000mm水柱高,精度小于0.5%的微压传感器。     

PT14系列内调整集成压力传感器

PT14系列内调整集成压力传感器,是“七五”国家重点科技攻关项目“工业过程自动控制开发研究”中“53-03敏感元件及传感器开发研究”的一个分专题。采用集成技术制造的扩散硅压力传感器,具有体积小、重量轻、精度高、便于集成化、     

CGJY-7702型低差压式硅集成压力传感器的研制

本文是在ＣＧＪＹ－７７０２型低差压硅集成压力传感器研制的基础上，结合我国的设备条件和工艺特点提出设计方案，对高稳定低差压传感器的实现，在主要工艺参数的选择上作了详细分析，并对非线性产生原因进行了讨论。     

基于微机电系统的水下灵巧手触觉力测量传感器

为了实现深水环境下水下灵巧手抓取目标的定位及触觉力感知,设计了阵列式触觉力测量传感器.以硅杯作为力敏感核心,利用胶囊式差压状结构实现了水的静态压力矢量叠加下的触觉力测量,并消除了水的静态压力对触觉力测量的影响.利用弹性力学与板壳理论分析了方形硅杯底部变形与应力的解析解,并与有限元法的分析结果加以对比.结果表明,所设计的灵巧手触觉力测量传感器具有样本抓取的触觉感知及位置感知,其胶囊式差压状结构使得触觉力测量传感器能够消除水的静态压力的影响,硅杯式测量结构具有灵敏度高、误差小、输出应力大的特点.     

数字式气压传感器静态性能测试与评估

为了掌握硅压阻、数字式振筒和硅电容3种气压传感器的静态性能,进行了2次静态性能测试（非线性、迟滞、重复性）、温度测试和长期稳定性试验,并对相应各项性能进行了评估和比较。结果表明,硅电容式传感器静态特性和温度稳定性均优于其他2种;振筒式静态特性在不同环境温度下均表现良好且较稳定;常温下,硅压阻传感器表现良好,性能与振筒式接近,但低温条件下,性能下降明显,温度系数达0.002 1 hPa/℃。3种传感器长期稳定性比较结果说明了引入年漂移量作为周期检定的必检项目的必要性,测试结果也证明硅电容式气压传感器已达到了气象观测业务使用要求。     

传感器在测量空气比热容比实验中的应用

介绍了用新方法在测量空气比热容比实验中用到的两种传感器——扩散硅压力传感器和集成温度传感器的基本原理,推导了被测压强与电压的线性关系及被测温度与电流的线性关系。     

提高方形硅膜压力传感器灵敏度的几个重要措施

结合扩散硅压阻式压力传感器的研制．根据硅的压阻效应原理，利用方形硅膜的应力分 布公式，论述了提高正方形硅膜压阻式压力传感器灵敏度的几个重要措施．     

罩杯省量值与其纸样分割的关系

为了使罩杯达到理想的形状\,做出美观\,自然,舒适的文胸,通过对75B人模胸凸全省的实测,对罩杯纸样分割和省量的关系加以分析,找出胸凸全省分配规律,从而设计出符合胸部特征和美学方面要求的罩杯纸样.分析表明,在文胸设计中,款式造型的立体感是依靠罩杯分割线来完成的,通过收省或分割来达到立体的造型.结合人体胸部形态和罩杯省量分布的效果,得到罩杯省量的两种基本收取方式.一种方式是在胸围线处作水平分割,省量分布在前中心和肋侧;另一种方式是通过BP点作垂直分割,分别在胸围线上方和下方各形成一个省.在这两种基本收省方式的基础上,根据造型、功能形式美等要求来设计罩杯分割线.     

植入式硅神经微电极的发展

 神经科学和神经工程研究需要研究大脑神经元的电活动情况，以了解大脑产生、传输和处理信息的机制。植入式神经微电极作为一种传感器件，是时间分辨率最高的神经电活动传感手段之一。介绍了国内外几种主要的植入式硅基神经微电极的结构特点、制备方法和性能特点。分析表明，未来通过不断结构优化和改性修饰，特别是在高通量的神经记录方面，通过与同样基于硅材料的电路的集成，硅神经微电极能够进一步提高生物相容性，解决大规模的电极通道体内外传输与连接问题，实现对神经元的在体大规模长时间记录。     

高炉过共晶铁水的热分析定硅

应用热响应时间短的2型热分析样杯,使过共晶铁水按灰口凝固。通过准确测得共晶反应的最低、最高和结束温度等特征点,来预报其含硅量,预报精度满足实际生产中控制炉外喷粉增硅的精度要求。     

Seamless Bra Cup Moulding of Fabric-Foam Laminated Materials

Seanmless bra cup moulding is an important manufacturing technique for the apparel industry,and in particular,for bra production.Polyurethane(PU)foams and/or fabric-foam laminated sheets are moulded into a desirable cup shape in order to fit the three-dimensional (3D)breast contour.Such foam cups not only provide a wide range of designs combined with difierent levels of softness and support,but also reduce production costs with minimum cutting and sewing of seams.In this study,two selected PU foam and fabric materials typically used for bra cup moulding were examined.Their respective performacce behavionr in relation to diffemat maflding tenmperatures and time changes were recorded and analyzed.The results reveal that cup heights are greatly affected by the use offoam arid/or fabric-foam laminated maerials.High moulding temperatures and/or prolonged dwell time could be required when defaming laminated materials and setting large cup sizes.Neverthelesst cup height cannot be taken as the only criteria to determine the optimal moulding cmditims,and this is especiaUy the case for large cup sizes.The design of mould beads is a major factor that affects the dimension changes of foam cups.In this respect,to control the foam moulding process,it is suggested that bra manufacturers examine the fabric/foam matedal properties to determine the optimal moulding condition,and quantify the shape of foam cups to enhance the design and develolxnmt process of aluminum mould heads.     

基于强迫振荡技术的传感器测量电路的设计

设计一种基于强迫振荡技术的呼吸阻力数据采集系统的传感器测量电路模块。采用一个三通分流器一端分别固定连接着压力、流量传感器,其中与流量传感器必须是水平连通的,一端连接呼吸机,另一端三通分流口留着用于连接强迫振荡发生器。压力传感器在使用之前要进行输入与输出关系的线性定标工作。最后分别在两个传感器输出端设计一个低通滤波器用于滤除各种杂波成分。试验结果表明,该传感器测量电路模块能有效地实时监测到经受试者呼吸系统反馈的振荡压力与振荡流量信号,并且制作简单。     

小型光伏电池在ZigBee传感网络中的应用

针对工业测控现场需要进行测量信号无线传输问题,提出了一种基于CC2530片上系统,集成了符合ZigBee 2007/PRO规范的Z-Stack协议栈的无线传感节点实现方案,使得网络拓扑结构灵活、路由快速可靠.系统用单晶硅太阳能电池,并特别设计了超低功耗电源管理电路为储能元件法拉电容充电,节点设置为休眠-激活-休眠循环工作模式,解决了太阳能电池在长达10 d无光照情况下传感节点仍能正常工作.实际测试及应用结果表明,系统运行稳定可靠.     

电子探空仪气压传感器特性

为了掌握电子探空仪气压传感器的测量性能及不同气压传感器的特性差异对测量准确度的影响,对硅压阻和电容膜盒2种气压传感器进行了一定时间的存储测试试验.利用同一环境下某一测试时间的气压标准值与传感器测量值的差值分析了2种气压传感器的一致性,根据该差值随时间的变化分析了2种气压传感器的稳定性.结果表明,2种气压传感器的稳定性都...     

静电封接与硅杯腐蚀的新技术

论述硅与玻璃真空静电封接的工作原理、实验方法以及形成硅杯的各向异性腐蚀技术．关键词     

闪光灯在高速印刷机数字监控系统中的应用

介绍了闪光灯的工作原理及其在高速印刷机数字监控系统中的应用.应用效果表明,当印品高速运动时,闪光灯能够提供稳定的光源,并且其发光持续的时间可以作为CMOS图像传感器快门开启的时间,从而使高速印刷机数字监控系统能够拍摄到清晰的高速运动印品的照片.它已被成功地应用到印刷工业的生产现场.