感性可调MEMS电容性膜开关的微波等效模型分析

通过对感性可调MEMS电容性膜开关等效电路模型的电磁特性分析,建立了开关的“关”态谐振频率选择模型和“开”态阻抗匹配模型.从微波等效电路的角度提出高性能感性可调MEMS电容性膜开关的设计方法,同时给出了基于这两种模型设计X波段MEMS开关的“关”态隔离度与“开”态反射损耗的电路仿真结果,与高频电磁场全波仿真结果吻合较好,具有较高的实际应用价值.     

“MEMS设计环境原形系统”达到国际先进水平

2004年8月30日，由南开大学承担的“863”项量——“基于部件库的MEMS设计环境原形系统研究与实现”通过了天津市科委鉴定。鉴定专家现场考察了系统演示，认为该成果达到国际先进水平。     

“光纤询问式MEMS压力传感技术研究”项目成果通过省级验收和鉴定

2006年12月31日，我校物理科学与技术学院王鸣教授主持的江苏省高新技术项目“光纤询问式MEMS压力传感技术研究”顺利通过了省级验收和鉴定。     

微电子技术的又一次革命——微电子机械系统（MEMS）发展展望

一、引言MEMS一词由MicroElectroMechanicalSystem的4个字首组成，可译为微电子机械系统。MEMS的起源可以追溯到60年代，1989年后MEMS一词就渐渐成为一个世界性的学术用语，MEMS技术的研究开发也日益成为国际上的一个热点。与MEMS一词同时流行的还有MicroMachine（微机械）和MicroSystem（微系统）。它们都以微小（Micro）为特征，有的强调机械，有的强调系统，但当前人们常不加区别地与MEMS通用。一般地说，MEMS具有以下非约束性的特征：（1）尺寸在毫米到微米范围之内，区别于一般宏（Macro），即传统的、大于1cm尺度的“…     

MEMS技术发展及其在生物芯片中的应用概述

介绍微机电系统(MEMS)的技术发展概况以及MEMS在生物芯片中的应用,并对MEMS在生物芯片中的未来发展趋势进行展望。MEMS的发展极大地推动了生物芯片的发展,建议对MEMS在生物芯片中的应用进行更加系统深入的研究。     

基于MEMS的智能集成汽车传感器的研究

随着汽车传感器的迅速发展和MEMS技术的深入研究,基于MEMS技术的汽车传感器具有广阔的应用前景.本文从传感器原理、MEMS技术理论与制造工艺、智能传感器理论与控制算法、软件与硬件实现、以及集成原理与工艺等几个方面,综合运用MEMS技术、人工智能、信息融合、半导体加工等先进技术,研究基于MEMS技术的智能集成汽车传感器问题.最后对MEMS汽车传感器今后的发展研究进行了探讨.     

一种用于MEMS动态测量的最优盒计数分形维数算法

在微机电系统（micro electromechanical system,MEMS）的动态测量中,利用分形插值法可以提高MEMS器件面内位移测量的精度,利用图像边缘的分形特征,还可以实现离面位移和旋转角度的测试。而分形维数（fractal dimension）的计算又是这些方法的关键。在研究目前最常用的分形维数计算方法差分盒计数法（difference box counting, DBC）的基础上,提出了一种对“空盒子”不予计数的最优盒计数分形维数算法,克服了差分盒计数法存在“空盒子”被计数的缺陷。理论分析和实验结果表明,该算法获得的分形维数更接近于理论维数。     

MEMS在控制系统中的应用

微机电系统(MEMS)是一个新兴的跨学科研究领域，借助于MEMS可以实现微观对象的检测与控制以及宏观对象的分布式检测与控制。综述了基于MEMS的主动控制和传感器网络在控制系统中的应用。     

射频微机电并联电容式开关的参数性能分析

射频微电子机械系统RF MEMS开关的高隔离度与低插入损耗特性,同开关自身的结构参数密切相关。为了得到更好的开关性能,在设计过程中有必要对射频MEMS开关的相关参数进行优化。本文用ADS和HFSS仿真设计软件,对射频MEMS并联电容式开关的微波特性进行了分析和仿真,研究了MEMS开关的等效电路参数和结构参数的变化对RF MEMS开关微波特性的影响。仿真结果表明:等效电容参数和MEMS开关桥宽度是影响开关性能的关键参数,当开关的等效电容参数增加20 pF,或MEMS桥的宽度增加40μm时,RF MEMS开关的插入损耗则可能增加10 dB以上。     

非硅MEMS惯性开关弹道特性

摘要：针对国内缺乏对MEMS惯性开关弹道特性仿真研究这一问题,利用 ANSYS软件对一种新型非硅MEMS惯性开关进行仿真研究,获得这种惯性开关弹道特性的仿真结果。结果验证了这种新型的非硅MEMS惯性开关具有高可靠性、更灵敏的碰目标响应,可进一步研究其实用价值。     

基于MEMS的细长体非对称涡控制机理研究

目前,微机电系统（MEMS）作为致动器和传感器已被广泛应用于航空航天领域中。MEMS器件具有很好的功能性、集成性、可控性和鲁棒性等等。根据MEMS器件的特性,采用NS数值计算技术,对细长体在大迎角飞行状态下的非对称涡进行了气动控制。分析了MEMS器件控制流场的机理和将非对称涡转变为对称涡的流场控制机理,获得了MEMS器件控制流场特性的宏观效果。研究表明：MEMS器件对控制大迎角细长旋成体非对称涡和复杂流场具有良好的控制能力。     

微电子机械系统的尺寸效应

针对微电子机械系统(MEMS)在特征尺寸处于微米量级时呈现的特性与宏观机械不同，阐述了尺寸效应对MEMS基础理论研究的重要意义。研究了尺寸的相对性、绝对性以及尺寸效应的基本概念，讨论了几何尺寸效应和力尺寸效应以及其他一些重要物理量的尺寸效应，提出了广义尺寸效应及狭义尺寸效应，为MEMS创新设计及基础理论的系统性研究提出一个新的切入点。     

MEMS谐振式加速度计技术发展的研究

目的深入了解谐振式加速度计研究过程中的关键技术问题,为后续的研究工作和实践应用提供指导。方法通过收集大量资料及数据分析,论述MEMS谐振式加速度计的国内外技术研究现状,归纳并探讨其在研究中所面临的关键技术问题。结果与结论针对MEMS谐振式加速度计的激励与检测电路、工艺误差和封装技术等关键技术,提出了集成化、石英微加工和新材料将是提高MEMS谐振式加速度计性能的必要途径。     

MEMS技术的现状与应用

微机电系统(MEMS)技术是一门新兴的技术,它把信息系统的微型化、多功能化、智能化和可靠性水平提高到新的高度。近年来,对MEMS的技术发展、加工工艺及其产业化的研究已被越来越多的人所重视。介绍了MEMS的特点、特征、技术发展趋势,MEMS器件的类型及其功能,并以多层弯曲磁芯结构微执行器为例介绍了磁驱动微执行器工作原理与制作工艺过程。     

MEMS陀螺仪随机误差在线建模与滤波研究

针对普通微电子机械系统(micro-electro-mechanical system, MEMS)陀螺仪随机误差较大、零偏性影响在线建模的问题,提出对MEMS陀螺仪随机误差在线建模、实时滤波以提高MEMS陀螺仪在工程应用中的精度。首先,对陀螺仪采样数据进行分析处理,使其满足时间序列建模的要求。为避免数据离线零均值处理,实现在线建模,直接将数据中陀螺仪零偏引起的常值分量带入模型,建立具有常数项的时间序列模型,并通过递推最小二乘法得到模型参数的最优估计;然后,利用时域上状态空间方法设计增广状态Kalman滤波器,实时修正MEMS陀螺仪随机误差。研究表明方法有效,MEMS陀螺仪精度进一步提高,研究能为后续惯性测量运算提供可靠的数据支持。     

蚌埠市智能传感产业发展的现状、问题及提升建议

<正>《安徽省“十四五”制造业高质量发展（制造强省建设）规划》中明确提出,要推动蚌埠“中国传感谷”微电子机械系统（micro-electro mechanical system,MEMS）核心器件产业园及其他地市云计算、大数据产业等发展壮大,逐步形成以合肥“中国声谷”为核心,芜湖“中国视谷”与蚌埠“中国传感谷”三谷共振的省市县一体化推进发展格局。蚌埠市进一步聚焦智能传感产业集群,抢抓智能传感市场需求爆发增长、     

MEMS陀螺仪的一种新颖高精度标定算法研究

为了提高微机电系统(microelectro mechanical systems,MEMS)陀螺仪的测量精度,分析了MEMS陀螺仪的静态误差,建立了MEMS陀螺仪的输出模型和标定原理,提出了一种新颖的加权递推最小二乘标定算法,该算法可对MEMS陀螺仪进行高精度的标定,并对低精度MEMS陀螺仪给出了有效自适应滤波处理方法?通过大量实验数据分析表明,利用提出的标定算法,误差补偿后的MEMS陀螺仪性能得到了显著的提高?     

福建省发展MEMS传感器的思考

MEMS传感器逐渐成为汽车电子的一个亮点。本文就MEMS技术与半导体技术之间的关系进行了探讨,列举MEMS传感器在汽车电子领域的应用,分析了福建省在发展MEMS传感器上面临的机遇与挑战。     

MEMS自动驾驶仪中的多传感器误差补偿

微机电系统(MEMS)自动驾驶仪是飞行器自动飞行控制的关键设备,解算出正确的机体信息是实现飞行器自动飞行控制的前提.该文详细分析了MEMS自动驾驶仪解算飞行器信息时存在的主要误差源,通过实验数据说明了对各种误差源进行补偿的必要性;针对不同的误差源,研究了相应的误差补偿方法,包括MEMS传感器本身误差的直接补偿和多MEMS传感器的数据融合补偿,并归纳为计算公式.对比实验结果表明: 该方法是可行的,可提高飞行器机体信息解算的精度.     

微机电系统表面杂质的短脉冲激光脱附机理的研究

纳米摩擦学的研究结果表明,对于MEMS系统,摩擦力是最主要的牵引力和驱动力;摩擦力的稳定性和微构件磨损率直接关系到MEMS系统工作的性能和使用的寿命,微执行构件与基底的粘着是导致MEMS系统失能的主要因素。粘着是由于有残余的微液体存,如水、微量的液体与微构件和基底在表面能的作用下牢固的吸附在一起,