容工艺偏差的低偏斜层次化时钟网络设计

针对超深亚微米工艺出现的新特点,基于对称"H树"型全局时钟网络加区域化的"Mesh"时钟网格的混合时钟结构,实现了不同于传统全局Mesh结构的树形驱动本地网格层次化时钟分布网络.实验表明,该网络具有极低的偏斜和高工艺偏差容忍度,其总的时钟偏斜可控制在10 ps以内,其时钟偏斜随工艺变化值与设计值的偏差在10%的数量级上,极有利于高性能微处理器处理核心的时序设计.     

光学邻近效应矫正(OPC)技术及其应用

随着集成电路设计和制造进入超深亚微米（VDSM）阶段,特征尺寸已经接近甚至小于光刻工艺中所使用的光波波长,因此光刻过程中,由于光的衍射和干涉现象,实际硅片上得到的光刻图形与掩膜版图形之间存在一定的变形和偏差,光刻中的这种误差直接影响电路性能和生产成品率.为尽量消除这种误差,一种有效的方法是光学邻近效应矫正（OPC）方法.目前由于OPC矫正处理时间过长,产生的文件大小呈指数级增长,使掩膜版的制造成本成倍地增加.文中首先针对OPC矫正技术进行了深入研究,提出了具有图形分类预处理功能的自适应OPC矫正技术,将芯片图形按其对性能的影响分为关键图形与一般图形,对两类图形采用不同的容差,提高了OPC处理效率.其次,提出并实现了图形分段分类的基于模型的OPC矫正算法,在保证矫正精度的同时提高了矫正的效率.提出了具有通用性、简洁性和全面性的OPC矫正规则,在此基础上实现了规则库的自动建立和规则库的查找与应用,实现了效率高、扩展性强的基于规则的掩膜版矫正算法.算法对规则数据进行有效地描述、存储和处理,提高了光刻矫正技术实际应用效率.第三,设计实现了高效、高精度的光学邻近效应矫正系统MR-OPC,系统综合应用了基于规则的OPC矫正技术和基于模型的OPC矫正技术,很好地解决了矫正精度和矫正效率之间的矛盾,取得了最佳的矫正优化结果.     

离子束修正光学镜面误差中拼接加工方法研究

由于离子束加工机床工作运动空间的限制, 为了加工大型光学镜面, 本文提出了一种全新光学镜面加工方法——拼接加工方法. 论文首先从理论上分析解决了拼接加工工艺的系列关键技术问题, 如： 面形控制模型、拼接加工驻留时间解算算法、加工定位参数辨识与补偿等. 基于CCOS成形原理, 通过分析拼接加工面形控制机制, 建立了光学镜面拼接加工有限域叠加的非线性面形控制模型; 依据拼接加工有限域非线性问题特征, 提出了基于Bayesian原理的改进型SRL迭代法较好地解决了拼接加工的驻留时间求解问题; 通过分析拼接加工中对刀误差和材料去除率对加工精度和加工面形的影响分析, 提出了一种光学镜面离子束定位误差、去除率等工艺参数辨识算法. 通过上述研究, 首次建立了光学镜面离子束拼接加工基本加工理论、方法和工艺流程. 拼接加工工艺实验表明： 误差补偿后的加工收敛率可达10. 本文提出的理论和方法通过有效地解决拼接加工的关键技术问题使拼接加工与全口径加工一样, 能够实现对镜面的精确修形. 与此同时大大节约了加工系统制造和加工成本.     

植被状态指数和温度条件指数的提取方法

NDVI最大值最小值和地表温度最大值最小值分别是计算植被状态指数（VCI）和温度条件指数（TCI）的关键参数。本文在介绍国内外提取四个参数的研究应用情况的基础上，充分考虑了各地区温度、地形等的影响，提出了新的提取方法，以适应全国范围内的旱情监测。针对各影响因子的分析表明，本文提出的参数提取方法是合理可行的。     

基于脉宽收缩和累积寄存器的片上时钟抖动测试电路

本文提出一种基于脉宽收缩和累积寄存器的片上时钟抖动测试电路,用于监测片上时钟信号的抖动,测量精度可达到亚门级.该测试电路是由脉宽收缩环路、累积寄存器、异或阵列、计数器和控制电路组成的.以环形方式连接脉宽收缩单元,可减小由于工艺波动带来的影响,节省面积开销.在监测模式下,累积寄存器同时记录多个时钟周期脉宽的测量结果,并以数字序列码的形式输出,能够直观地显示时钟的抖动.该电路是采用65 nm CMOS工艺设计的,仿真结果表明该电路可测量数GHz的时钟信号,测量精度为1 ps.     

求解网络风险传播问题的近似算法及其性能分析

在充分阐明风险传播研究意义的基础上,给出了网络风险传播问题的定义,证明了该问题是NP难题,并提出了一个基于邻近传播和最小入度的近似算法——APMI算法,该算法最坏时间复杂度为O（n^3）,最差近似比为D（n）．最后通过模拟实验分析了网络规模、网络密度和风险源密度等3方面因素对APMI算法和现有精确算法RH的性能或准确性的影响．实验结果表明：RH算法的性能受网络密度影响很大（呈指数增长）,受网络规模和风险源密度的影响较小;APMI算法将RH算法在网络较稠密时的指数时间复杂度降低为多项式时间,而其准确性指标Coefficient仍保持在0．995以上．     

芯片级布图规划中的缓冲器规划算法

文中对纳米技术下, 互连驱动的芯片级布图规划问题中的缓冲器规划问题进行了研究, 提出了基于空白区重分布(redistribution)的缓冲器规划算法; 布局中的空白区是指在布局中不被任何电路模块占用的闲置区域; 该算法充分利用布局中的空白区插入缓冲器. 在基于拓扑的布图规划表示中, 可以把电路模块和空白区相关联, 在相应区域内移动一些电路模块就可以达到重分布空白区的目的. 在进行空白区重分布的过程中, 给定布局的总面积和拓扑结构将维持不变. 通过重分布布局中的空白区, 可以增加满足时延约束的线网数目; 实验证实, 满足时延约束的线网数的增长率平均达到9%.     

一款用于多媒体处理的异构多核系统芯片的可测试性设计

随着集成电路工艺的发展,系统芯片（SoC）集成已成为超大规模集成电路的主流设计方法.SoC设计具有强调自顶向下设计、突出设计重用性、重视低功耗的特点,给集成电路的可测试性设计带来了严峻的挑战.本文针对一款用于多媒体处理的异构多核系统芯片DPU-m,提出了一套完整的可测试性设计方案,支持3种工作模式：功能模式、存储器内建自测试模式以及扫描测试模式,并进行了设计实现和评估.针对逻辑电路的可测试性设计,采用自顶向下的模块化设计思想,提出并实现了一种分布式与多路选择器相结合的测试访问机制,实验结果表明,DPU-m逻辑电路单固定型故障的测试覆盖率为98.58%,满足设计方要求;针对实速时延测试的需求,设计并实现了基于片上时钟生成器的时钟控制单元,可在片上支持不同时钟域、6种时钟频率的实速时延测试;针对存储器电路的自测试,设计并实现了串并行结合的存储器内建自测试结构,在最大测试功耗的约束下有效地减少了测试时间;进一步设计了顶层测试结果输出电路,满足了设计方要求的诊断分辨率,若以100 MHz的频率进行测试,测试时间为14 ms.     

平面三自由度并联机床的分步运动学标定

针对一台平面3自由度并联机床的运动学标定,提出一种基于最少参数线性组合的分步运动学标定方法．该方法利用并联机器多参数耦合误差传递系统中的参数线性组合映射关系,将一般运动学标定中参数的误差建模、辨识和误差补偿,改变为参数线性组合的误差建模、辨识和误差补偿．首先由最少参数线性组合的4个定理进行辨识性分析,确定出影响机床终端绝对和相对精度的最少参数线性组合;然后给出工程实际中常用的基本绝对测量方式和基本相对测量方式,逐一进行最少参数线性组合的辨识性分析,抗干扰指标的抗扰动性能计算,兼顾测量成本的条件下,设计出最少参数线性组合的分步测量方案、分步辨识和分步误差补偿方案,完成运动学标定．最终的实验结果证明这种方法具有如下优点：（1）消除了其他无关参数的影响;（2）反映了误差传递中的参数线性组合映射关系,提高了参数辨识的准确性;（3）方法简洁高效,最终的机床精度已经接近测量扰动精度．因此,该方法不仅可用于这台平面3自由度并联机床,也可适用于其它运动学非线性弱的并联机器．     

C/C复合材料CVI工艺人工神经网络建模

C/C复合材料CVI制备工艺过程的本质繁杂性限制了该材料的广泛应用. 尝试利用人工神经网络技术对该工艺过程进行辨识与仿真, 采用Levenberg-Marquardt算法建立了通用的CVI工艺神经网络模型. 根据CVI工艺复杂、参数众多等特点, 结合有限元技术及工艺实验从教师样本处理、网络拓扑结构设计和学习参数调整等方面对网络学习算法作了进一步的改进. 通过对等温CVI样本集的学习, 初步建立了管类零件等温CVI工艺知识库. 结果表明: 该模型可以挖掘样本蕴含的领域知识, 不仅可以对单个工艺参数的时间效应进行预测和分析, 而且可以分析任意两个工艺参数对致密化过程的偶合作用.     

基于多成形指标的大直径铝合金薄壁管数控弯曲成形极限

获得同时满足起皱、过度减薄和扁化质量要求的大直径铝合金薄壁管的弯曲成形极限即最小弯曲半径,已成为提高大直径铝合金薄壁管弯曲成形潜力的关键问题．本研究基于不同加载条件下的铝合金大直径薄壁管弯曲过程动力显式三维弹塑性有限元模型以及管材起皱能量预测模型,提出了管材最小弯曲半径的搜索算法,该算法有效考虑了模具、摩擦等工艺参数对小弯曲半径弯管成形的影响．在此基础上,获得了不同直径铝合金薄壁管的最小弯曲半径,并揭示了几何参数对管最小弯曲半径的影响,以及工艺参数组合对实现最小弯曲半径弯管成形的作用．结果表明：（1）在满足小弯曲半径弯管成形质量要求的模具和摩擦参数组合的合理范围内,减小芯棒球头厚度和直径,并施加轴向压缩载荷能够实现管材的极限弯曲成形;（2）若忽略几何尺寸对管材本构关系的影响,对于直径小于80mm的管材,管材的最小弯曲半径将取决于临界减薄;对于直径大于80mm的管材,管材的最小弯曲半径将取决于起皱．与解析预测结果相比,采用本文方法获得的管材最小弯曲半径最大相对减小了57.39％;（3）工艺参数组合促进实现最小弯曲半径弯管成形的效用,得到了实验的验证．     

计算机控制光学表面成形中的频域分析

计算机控制光学表面成形（CCOS）工艺容易在光学零件表面产生中高频误差,从而影响光学系统的性能.为了对中高频误差进行有效控制,以卷积积分模型为基础,主要考虑加工过程的材料去除有效性,提出了修形能力值、材料去除有效率等概念,定量分析了CCOS工艺过程对不同频率成份误差的修正能力.分析得出CCOS工艺过程的材料去除有效率取决于工艺过程的去除函数,正好等于去除函数傅里叶变换的归一化幅值谱.最后,利用离子束成形工艺进行了3个正弦函数面形的刻蚀试验,对理论进行了验证.本文所采用的方法和得出的结论为分析和优化CCOS工艺提供了强有力的数学支持.     

模糊层次分析技术（FAHP）在3D锡膏检测中的应用

随着当今先进工艺趋向于使用更小的元件，人们认识到仅仅计算体积已不足以确保工艺质量，锡膏检测仪（SPI），特别是3DSPI在测试策略中扮演起越来越重要的角色。3D锡膏检测仪中经常遇到的激光阴影效应，传统的SPI技术，激光三角法和莫尔（Moiré）技术也都存在或多或少的阴影效应问题。本文首先介绍和分析了激光三角法以及莫尔（Moiré）技术在锡膏检测技术中的应用，它们遇到的主要问题。然后，结合传统方法的优点，提出一种新的方法：模糊层次分析技术（FAHP），从软件硬件两个角度更好的解决3D锡膏检测仪遇到的阴影效应问题，保证更准确地测量结果和更直观的用户界面，使人们可以从工艺的角度出发来管理生产线的质量并具备整合系统的能力。     

估计基础矩阵的六点综合算法

提出了一种基于２个非校正相机和八参数模型的基础矩阵（Ｆ阵）估计新算法－－点六综合算法，首先用一个新约束求出Ｆ阵的２个参数，而这２个参数正好是一个对极点的仿射坐标，然后通过解线性方程组获得其余６个参数。最后，经过对一些真实图象的测试和实验表明本方法除了有明显的几何意义外，还有需要较少的匹配点对以及可获得高精度Ｆ阵等优点。     

应变下管内电缆导体交流损耗计算模型

国际热核试验反应堆ITER（International Thermal-nuclear Experimental Reactor）上的CICC（Cable-in-Conduit Conductor）导体,将运行在大电流、快速励磁和瞬变磁场等复杂恶劣环境,为应对10T以上磁场的冲击,已部分采用铌三锡（Nb3Sn）导体.但缺乏应变下Nb3Sn导体交流（Alternating Current,AC）损耗机理的探索,为此,开展瞬变电磁场和宽应变区间的AC损耗计算方法研究,把复杂变化场中的耦合电流及穿透场简化为线圈励磁电流信号频谱效应,构造满足离散傅里叶转换（Discrete Fourier Transform,DFT）且包含频率、磁场及线圈特征等多参数的导体损耗计算技术.由模拟对比分析发现频谱算法的AC损耗更接近工程实际值,对快速励磁、特别是等离子体放电和破灭等情况,频谱算法和经典算法是相吻合的;对磁滞损耗和耦合损耗的相对误差计算,发现耦合损耗是线性累加的,磁滞损耗却并非完全如此,作为振幅、频率比以及相位角函数的相对误差的变化小于40%.结果显示傅里叶重组能取得满意效果.     

基于BPNN的电液伺服扭振试验机PID控制算法研究

弹性轴类零件液压伺服扭转振动试验概在实验过程中,由于系统非线性及负载变化或干扰因素的影响,其控制系统参数及数学模型易发生改变,导致控制效果变差。针对该试验机的控制系统,提出了基于BP神经网络（BPNN）的PID自适应控制算法。利用MATLAB／Simulink工具箱对该算法进行仿真实验。结果表明：结合了神经网络特点的智能PID控制器具有响应快、精度高、鲁棒性好和抗干扰能力强等优点,改善了控制系统的动态性能。     

交通流宏微观参数关系方程组实证分析

本文以James H．Banks关于平均时间间隔的研究为基础，提出交通流宏微观参数关系方程组，理论上较全面地描述两类交通参数的关系；应用实测交通数据对该方程组进行数据实证。分析表明，使用关系方程组产生的偏差不仅与统计时间间隔有关，而且与检测点的位置、交通状态相关。通过分析关系方程组的推导可知，偏差源于两个等式在理论上与实际运用中的不同。     

粒子群优化算法在确定河流水质参数中的应用

将粒子群优化（PSO）算法应用于求解分析瞬时投放示踪剂情况下的一维河流水团示踪试验数据，以及确定河流水质参数的函数优化问题。分别就粒子数目和待估水质参数的初始取值范围对算法运算过程的影响进行了数值实验。结果表明：①PSO算法能够有效地应用于求解分析河流水质试验数据，确定水质参数的函数优化问题；②粒子数目的多少对迭代次数、运算时间和算法是否收敛有一定的影响，在粒子数目较大的情况下，可以保证运算过程收敛；③待估参数初始猜测值的选取范围对迭代次数也有一定的影响，选取范围越大，需要的迭代次数越多。最后，指出了需要进一步研究的问题。     

多孔硅发光中的极化子效应

多孔硅体现了许多新光学性质，本文通过温度依赖的发光，傅立叶红外谱，时间分辨红外谱的观察。发现了些有规律的信息。众所周知，多孔硅在空气中陈化氧化，导致内部纳米尺寸减小。界面层由氢变为氧，我们发现同时伴随着电子态从本征态向极化子态的变化，前者随尺寸减小能量升高，表现为正常的量子限域效应。而后者却随尺寸减小能量降低。表现为量子限域极化子效应。温度依赖的发光谱型和强度变化也清楚地反映了尺寸依赖的极化子行为。因此，我们提出了个基本的物理模型来描述多孔硅中增强的极化子尺寸效应及其光学行为。     

喷射成形12 mm厚La62Al15.7(Cu,Ni)22.3块体非晶合金的制备

用喷射成形工艺成功地制备出了总体直径为380mm、最大厚度为12mm，中心区域半径（最大厚度区域半径）为150mm的盘状La62 Al15.7（Cu，Ni）22.3块体非晶合金。DSC实验检测其玻璃转变温度（Trg）以及过冷液相区（△Tx）均比采用甩带法或铜模吸铸法制备的同成分非晶合金高。利用ANSYS有限元方法模拟了沉积坯温度场的变化，结果表明在合理控制喷射成形工艺参数的情况下有可能制备出更大尺寸的La62Al15.7（Cu，Ni）22.3块体非晶合金。