纳米光刻技术现状与进展

随着纳米加工技术的发展,纳米结构器件必将成为未来集成电路的基础。纳米光刻技术是制作纳米结构的基础,具有重要的应用前景。文章介绍了几种极有潜力的下一代纳米光刻技术,包括极紫外光刻技术、电子束光刻技术、纳米压印光刻技术的新途径、发展现状和关键问题,最后讨论了纳米光刻技术的应用前景。     

常温纳米压印软模具变形机理研究

通过对软模具变形的理论分析、数值模拟和实验验证的系统研究,以期揭示模具变形的机理、规律和关键影响因素,为探索减小模具变形策略和方法,提高纳米压印复型精度奠定理论基础,以实现高保真度纳米或亚纳米图型的转移．     

塑性加工技术的科学化与中国塑性加工技术的发展

本文总结了塑性加工技术的发展现状,提出了材料塑性加工技术在新的世纪应该以现代科学技术为基础,实现由技术向科学的转变。塑性加工应以固体力学和材料物理为理论基础,宏观与微观相结合,实现理论基础的完善和飞跃。以计算力学和软件科学为工具实现塑性加工过程的虚拟化和可视化;以自动控制理论和计算机技术为工具实现工艺过程的自动化控制;采用新的能源、新的介质和加载方法开发瓣析塑性加工工艺;以汽车、电子电器和航空航天等工业为需求,研究新材料和新产品的塑性加工工艺。     

微细加工光学技术的发展

本文简要介绍了微细加工光学技术的发展 和“微细加工光学技术国家重点实验室”及其发展目标、研究方向和目前的主要研究领域。     

纳米级高速研磨技术

取固着磨料浮动研磨中的工件为分离体, 对其进行力学分析, 建立受力微分方程, 求出其受力和运动规律, 并结合已知的磨具运动, 求出二者间的相对运动规律, 根据它们的相对运动轨迹合理地设计磨料的密度分布, 使磨具均匀磨损, 避免了修整磨具的麻烦, 节约了磨料, 提高了加工精度, 结合固着磨料高速研磨的优点, 实现了低成本、高效率纳米级高速研磨.     

微电子技术的进展与挑战

微电子技术自巴丁、布拉顿和肖克莱发明晶体管至今,经历了半个世纪的发展,已经取得巨大进步,成为人类社会众多领域的关键技术,从而有力地推动,并将继续推动着人类社会全面进入信息时代。     

纳米级电子束光刻技术及ICP深刻蚀工艺技术的研究

对100kV高压电子束光刻系统的曝光工艺进行了系统研究,针对正性电子束抗蚀剂ZEP520A进行了工艺参数的优化,在具有合理厚度、可供后续加工的光刻胶上获得了占空比为1：1,线宽为50nm的光栅图形.针对ICP刻蚀工艺进行了深入研究,探讨了刻蚀腔体气压、电极功率、气体流量等工艺参数对刻蚀效果的影响,最终在硅基底上获得了线宽为100nm,占空比为1：1,深度为900nm的光栅图形,光栅的边壁波纹起伏小于5nm.100nm以下深硅刻蚀技术的发展,有利于工作区域在可见光范围的纳米光学器件的制备.     

化学纳米工程学——新交叉学科的基础与展望

机械加工以连续介质理论为基础,化学则侧重于对离散的化学键的操作,因而两者有本质的区别.但在纳米加工领域,机械学面临着化学键的不连续性.当前超精密加工的精度已经达到纳米尺度,由于纳米材料的特殊性质,微纳制造所依赖的基础理论也随着加工工件尺寸的缩小经历着由量变到质变的过程,因此,传统的机械学与化学在纳米尺度的交叉催生出新的学科--化学纳米工程学.该领域的基础研究将有助于我们提升纳米制造技术,增强国家制造业的核心竞争力.     

二氧化碳捕集技术研究现状与发展综述

为应对全球气候变暖,减少CO₂向大气排放,CO₂捕集成为全球重点研究的一项技术。本文基于国内外CO₂捕集技术研究现状,将CO₂捕集技术分为燃烧前捕集、燃烧后捕集、富氧燃烧和化学链燃烧4种技术路线,燃烧前捕集和燃烧后捕集技术又主要有吸收法、吸附法、膜分离法、低温分馏法等方法。首先,概述了这4种技术路线的不同方法的研究现状和应用进展,并提出了各技术方法的未来发展趋势。随后,对比了不同CO₂捕集技术的优缺点,总结发现各技术方法各有利弊,尚未有一种技术能独立满足高效、低成本、低能耗和大规模要求。最后,提出未来应当针对CO₂捕集技术存在的难题与挑战,重点开展研发攻关,突破现阶段瓶颈,推动CO₂捕集经济、高效和规模化。     

风能技术发展中的几个问题

改善能源结构，利用可再生能源，减轻环境污染，提高人民生活质量，已成了全球能源工业关注的一个热点，风能是目前最有开发利用前景和技术最成熟的一种新能源和可再生能源之一。随着风能开发和利用的发展，风能技术也取得了显著的进步，并逐渐成为能源技术中的一个分支。本文简要介绍当前风能技术发展中的几个关注的问题。     

韩国科技管理体制发展与演变探析

自20世纪60年代以来,韩国的科技发展取得了巨大的成就,其科技管理体制发挥了重要的作用.针对韩国科技管理体制形成与发展演变过程中经历的科技管理体系初步形成,以科技部为宏观管理决策部门的集中协调型管理体制,以及李明博政府对科技管理体制的重大调整等三个重要阶段进行了系统的分析研究,并对韩国科技管理体制的特点进行了总结和讨论.     

美国科技发展模式特征及对中国的启示

科技发展模式是对国家科技发展的高度概括与总结,选择合理的科技发展模式是实现国家整体发展战略的重要组成部分。本文深入剖析了美国科技发展模式的基本特点及形成条件,为我国制定21世纪的中长期科技发展战略提供了一些的意见与建议。     

浅议新加坡科技发展态势

在知识经济背景下,新加坡日益重视科技对于经济的推动作用。本文尝试从5个方面分析了新加坡科技发展的态势：科技投入和产出持续高增长,研发人力不断加强,研发基础设施日益完善,企业的研发和创新备受重视,相对竞争优势逐渐形成。     

二十一世纪信息技术产业发展的特点

本文阐述信息技术仍然是二十一世纪的主流，而信息技术在二十一世纪中的主导产业是光电子技术产业，而不是微电子或光子技术产业。     

微纳流体样品片上分离技术

基于微流控技术的细胞或颗粒分离是样品前处理中的一个重要步骤,近些年在生物和化学分析中引起了极大关注,随着微纳米加工技术的发展,分离技术在片上实验室系统的微环境应用中得到快速发展.基于微流体细胞或颗粒的分选技术具有很多优点,包括减少了样品量、加速了样品处理速度、高灵敏度、高空间分辨率、成本低以及便携性等.本文介绍了当前最先进的基于连续微流体细胞或颗粒分选技术,从被动式与主动式分离两方面的典型实例详细阐述了各种分选原理及其在细胞或微颗粒分选中的应用,讨论了这些技术的主要指标,如分选标记、分辨率、效率以及处理量,同时讨论了各类在微流体下的微分离方法存在的缺点.微尺度下高效的微分离技术在实现片上实验室、现场微分析设备和家庭诊断中将会起着越来越重要的作用,引起了众多学者们的研究兴趣,能够促进微分离与检测和信号读取等集成于一体,形成一个便携式的诊疗设备.     

芬兰经济技术的跨越式发展及其启迪

本文通过对芬兰的实地考察和长期跟踪研究。比较深入地分析了芬兰经济技术实现跨越式发展的过程，研究总结了芬兰实行的经济政策和技术政策，指出了芬兰经济技术实现跨越式发展的模式，以及对后进国家发展经济技术的一些的启迪。     

矿产资源领域国际科技发展趋势分析

矿产资源是人类赖以生存和发展的物质基础,对国民经济的发展有着举足轻重的作用.在分析社会经济发展对矿产资源科技的需求的基础上,从世界矿业大国的矿产资源科技计划入手,对矿产资源国际科技前沿领域和重点研究方向以及未来发展趋势等进行了分析、阐述,以期为我国制定矿产资源科技发展战略以及开展相关研究工作提供借鉴．     

澳大利亚的科技管理体系初探

自2007年澳大利亚联邦政府设置了“创新、工业和科研部(DIISR)”,较传统科技管理体系,现今澳大利亚的科技管理体系发生了重大变革.本文重点介绍了新时期澳大利亚的“单核心多元科技管理体系”——绝对核心,各决策咨询机构和政府科研机构.     

俄罗斯将发展信息技术作为战略目标

本文简要介绍了目前俄罗斯信息技术发展和信息技术市场的现状,分析了俄罗斯发展信息技术产业的战略目标、国家政策、主要任务和实施计划以及中俄两国在信息技术领域的合作。