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微波等离子体CVD方法制备金刚石薄膜 总被引:1,自引:0,他引:1
采用微波等离子体化学气相沉积方法分别在CH4/H2,CO/H2和(CH4+CO)/H2气体体系下合成了金刚石薄膜。结果表明,所合成的金刚石薄膜具有明显的柱状生长特性和较高的品质。(CH4+CO)/H2体系合成的金刚石薄膜具有较高的生长速率和晶面定向生长的特性。 相似文献
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建立了用于沉积高品质金刚石薄膜的微波等离子体化学气相沉积系统,并对该系统的工作性能进行了研究。 相似文献
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对用热阴极辉光PACVD方法合成的金刚石厚膜,采用扫描电子显微镜进行了观察,研究了金刚石的生长机制。 相似文献
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采用灯丝热解化学气相沉积方法,在不同的碳源气体氢气中合成金刚石薄膜,并研究不同工艺条件下金刚石膜生长速率。结果表明,在较低的灯丝分解气体温度和较近的灯丝与衬底距离条件下,以丙酮为碳源气体合成的金刚石膜具有 的生长速率的较好的质量。 相似文献
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采用化学气相沉积法(CVD)在导电玻璃衬底上制备了Mg掺杂的ZnO微纳米棒、微纳米球,实验过程不需要催化剂.X射线衍射仪(XRD)分析结果表明制备的Mg掺杂ZnO微纳米棒仍具有六方铅锌矿结构.利用扫描电子显微镜(SEM)观测,750 ℃恒温、载入氩气流速为100 mL/min的样品,有微纳米棒、微纳米球的生成.能谱图(EDS)和光致发光谱测试表明微纳米棒中有Mg的掺入. 相似文献
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在低温条件下,采用化学溶液沉积法(CBD)生长出ZnO纳米棒.探讨了反应的最佳温度,并在最佳实验条件下成功在光滑的玻璃衬底上制备了近一维ZnO纳米棒阵列.利用差热(TG-DTA)、X射线衍射(XRD),扫描电子显微镜(SEM)和光致发光谱(PL)对产物进行结构、形貌和光学性能表征.结果表明:反应的最佳温度为92 ℃,产物为结晶良好的六角结构晶体.PL测试显示紫外发射峰较强,这说明产物的结晶状况很好,另外通过计算紫外峰和缺陷峰的比值,可知其比值可以达到2.21,这说明产物有较好的光致发光性能. 相似文献
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以一氯对二甲基苯二聚体为原料,通过真空化学气相沉积法制备聚一氯对二甲基苯(Parylene C)膜,对该高分子薄膜材料的热稳定性和介电性能进行研究.通过DSC测得Parylene C膜的玻璃化转变温度为85℃,熔点为300℃,且Parylene C膜在不同的升温速率都表现出很好的热稳定性.测定膜厚为0.05 mm的介电常数为2.35,通过对绝缘性能的分析,以膜厚0.05 mm为测试基准.当蒸发温度在75~115℃,裂解温度在675~680℃时,介电强度达到5 500 V/mm,证明在合适的工艺条件下,Parylene C膜有很好的绝缘性. 相似文献
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以纳米二氧化硅吸附和分散FeCl3.6H2O,采用旋转蒸发-高温还原法合成出Fe/SiO2催化剂。采用化学气相沉积法制备碳纳米管,使用SEM和TEM对产物进行了表征。结果表明,当Fe/(SiO2 Fe)(物质的量比)为17.5%时,能够制备出高质量的直径为30~50nm的多壁碳纳米管。 相似文献
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现代金属切削对刀具有很高的技术要求,涂层刀具是20世纪70年代以后出现的一种新型刀具材料,是刀具发展中的一项重要突破.涂层刀具是在一些韧性较好的硬质合金或高速钢刀具基体上涂覆一层耐磨性高的难熔金属化合物而制成的,有效地解决了刀具材料的硬度、耐磨与强度、韧性之间的矛盾. 相似文献
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用固体脉冲激光 (Nd∶YAG)烧蚀石墨靶在镜面αAl2 O3(0 0 0 1)上沉积纳米金刚石薄膜 .用Raman谱、XRD衍射谱和SEM分别对薄膜的成键情况和表面形貌进行了分析 .结果表明 :显微Raman谱出现三个峰包 :115 0cm- 1 、13 5 0cm- 1 、15 80cm- 1 ,分别对应着纳米金刚石特征峰、石墨的D峰和G峰 ;XRD衍射谱在 41.42°出现金刚石的 (10 0 )衍射峰 .实验结果表明 ,影响薄膜生长的关键参数主要是氧气压的大小和衬底的温度 .在氧气压为 6Pa和衬底温度为 5 5 0℃时 ,制备的薄膜质量较好 .对用PLD法在氧气氛围下生长的金刚石薄膜的生长机理进行了分析 相似文献
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风景园林信息模型是从建筑信息模型延伸出来的针对风景园林专业的信息模型。将其应用于风景园林设计中,有利于提升风景园林设计成效。由此,本文首先对风景园林信息模型进行简要分析,然后探讨LIM在风景园林行业的项目应用,最后分析应用中存在的问题,并对前景进行展望。 相似文献
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神经干细胞可持续增殖、分化产生神经元、星形胶质细胞和少突胶质细胞。神经干细胞的这种特性为进行中枢神经退行性病变和损伤的治疗打下了基础。本文综述了神经干细胞的增殖与自我更新、分离与分化、胚胎干细胞定向诱导、神经干细胞的移植及其在体研究等研究现状,并对神经干细胞临床应用前景做出展望。 相似文献
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使用有限元方法(FEM)分析了应变硬化的韧性薄膜/基底体系的锥形压痕过程.通过改变压入深度与薄膜厚度比,从0.01变化到0.85,得到了不同膜/基体系的力学响应,从而建立了压入深度、薄膜厚度和薄膜/基底弹性模量之间的无量纲关系.选取镍薄膜/低碳钢基底进行了纳米压痕试验,根据得到的无量纲关系,计算出了镍膜的弹性模量.同时与Sakai方法[1]得到的结果进行了比较,发现两者之间很吻合,证明该方法切实可行. 相似文献
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聚多巴胺是第一个几乎可以对一切化学材料进行表面功能化的黏合性聚合物,其独特的表面修饰功能被广泛应用于医疗及能源设备。本文简述了多巴胺的结构以及聚合机理,并从聚多巴胺的性质出发,综述了近年来聚多巴胺在功能材料中的应用,并对其发展前景进行了分析。 相似文献
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在灰色模型GM(1,1)的基础上,提出了一种新的灰色组合预测方法,并将该方法应用于云南省就业状况预测分析中,取得了较好的预测效果。 相似文献
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