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相似文献
 共查询到19条相似文献,搜索用时 125 毫秒
1.
新型多晶硅压力传感器   总被引:3,自引:0,他引:3  
论述了一种新型多晶压力传感器。它采用矩形双岛硅膜结构,多晶硅作应变电阻,二氧化硅介质膜作隔离,用集成电路工艺和微机械加工技术制作 ,因而,传感器具有灵敏度高和高等特点,利用有限元法对双岛结构的应力分布进行了模拟计算,实验结果与理论分析一致。  相似文献   

2.
传感器在测量空气比热容比实验中的应用   总被引:2,自引:0,他引:2  
介绍了用新方法在测量空气比热容比实验中用到的两种传感器——扩散硅压力传感器和集成温度传感器的基本原理,推导了被测压强与电压的线性关系及被测温度与电流的线性关系。  相似文献   

3.
电容式集成压力传感器因其特有的一系列优点而被广泛采用,但硅杯开头对传感器的灵敏度影响较大,本文提出了一种新的硅杯开头,并通过分析计算,设计出了改进型的电容式集成压力传感器。  相似文献   

4.
硅-兰宝石集成压力传感器是一种无隔离结的固态压阻式传感器,它具有耐高温,耐腐蚀,抗辐射等许多硅集成压力传感器所无法比拟的优点。本论文在简要分析了硅-兰宝石压力传感器原理的基础上,就宝石杯的加工,P型硅膜的外延,及敏感桥路制作的重要关键工艺进行了较详尽的探讨、分析,并分别给出了相应的解决方法。此外,还就传感器的结构设计进行了扼要的探讨,并予以解决。本论文为硅-兰宝石压力传感器的研制、开发、应用提供较全面的基础。  相似文献   

5.
采用有限元分析工具ANSYS完成了一种矩形弹性膜绝缘体上硅(SOI)高温压力传感器的优化设计,制作出样品,并与相同结构、工艺的多晶硅压力传感器进行了对比测试。结果表明:1:2的膜片宽长比可以使SOI压力传感器的灵敏度达到220mV/MPa,远大于多晶硅压力传感器的灵敏度(约50mV/MPa)。此外,该传感器能够工作在200℃的高温环境中,有良好的长期稳定性,30d内的零点时间漂移为0.12%。  相似文献   

6.
多晶硅压力传感器   总被引:2,自引:0,他引:2  
研制一种多晶硅压力传感器.它采用一氧化硅介质膜隔离代替p-n结隔离,提高了工作温度;通过控制掺杂浓度,改善了温度特性.实验表明,该传感器灵敏度高,工作温限高,温度漂移小.  相似文献   

7.
根据PROFIBUS-DP现场总线协议,采用支持该协议的专用芯片SPC3,设计了带有现场总线PROFIBUS-DP通讯接口的压力传感器的硬件电路和控制软件.传感器选用了带有温度补偿功能的高精度硅压阻式压力传感器MPX2100GP,从而提高了测量精度.该传感器具有信号采集和处理、数字通信等功能,可作为从站方便地接入PROFIBUS-DP现场总线控制系统.  相似文献   

8.
详细讨论了双岛结构多晶硅压力传感器制作过程中的一种微机械加工技术,传感器采用的材料是双面抛学的(100)晶面硅片,制作中还利用了半导体集成电路平面工艺。研制这种传感器遇到的主要问题是硅各向异性腐蚀的凸角削角问题,为削角补偿设计了两种特殊形状的掩膜结构,在实验中获得了满意的效果,并且制出了性能优良的双岛结构多晶硅压力传感器。  相似文献   

9.
结合扩散硅压阻式压力传感器的研制.根据硅的压阻效应原理,利用方形硅膜的应力分 布公式,论述了提高正方形硅膜压阻式压力传感器灵敏度的几个重要措施.  相似文献   

10.
一种半导体压力传感器   总被引:3,自引:0,他引:3  
根据有限元工具ANSYS的分析结果,设计了一种半导体压阻式压力传感器——绝缘体上硅(SOI)压力传感器,并完成了制作.测试表明,除具有良好的静态特性之外,与同类压力传感器相比,SOI压力传感器的工作温区宽,最高工作温度可达220℃;稳定性高,30d内的零点漂移小于0.2%;温度特性好,灵敏度温度系数约为-5.1×10-4/℃.此外传感器的结构简单,采用半导体集成电路平面工艺结合微机械加工技术制作,易于实现批量生产,有广阔的应用前景.  相似文献   

11.
信息作为我们生活交流媒介的一部分,那么信息的接收和发送更值得我们深入的认识和研究.主要从短信网关的引入、短信网关的系统组成、短信网关的系统功能以及应用短信网关服务进行分析论述.  相似文献   

12.
空间环境对植物影响的研究进展   总被引:1,自引:1,他引:0  
从蛋白质和基因水平分别介绍空间微重力、强电离辐射、亚磁场及空间综合因素对生物性状和遗传变异的影响,并对今后空间诱变育种的前景和存在问题加以概述。  相似文献   

13.
针对云计算的发展趋势,结合校园网基础设施特点,研究和分析了虚拟化技术和云计算模式,提出一种基于Hyper-V的私有云计算环境模式,并在校园网内实现了该模式的私有云构建,为云计算环境在高校的实现提供了具体方法。  相似文献   

14.
针对受驾驶人自身驾驶经验和习惯、视野、道路周边环境等因素影响的车辆行驶轨迹,探究了典型车辆行驶轨迹(正常轨迹、理想轨迹、切线轨迹、漂移轨迹、摇摆轨迹和修正轨迹)条件下的车辆动力学响应. 在Carsim环境中构建了以6种行车轨迹为道路中心线的弯道路段,并使车辆的左前轮始终沿道路中心线行驶,仿真过程中记录车辆动力学参数的时变曲线. 研究表明:车辆沿切线和正常轨迹行驶时,能够以安全、高效、舒适的理想状态通过弯道路段;而当车辆沿修正轨迹、摇摆轨迹等行驶时,行驶稳定性和舒适性较差.  相似文献   

15.
深度学习中卷积神经网络在行为识别领域有着良好的识别效果,但是由于深度学习需要较大数据集训练模型,而现今公开数据集中危险行为识别相关方向没有大量数据集。针对危险行为识别领域样本少、无法进行深度学习训练等问题,建立了危险行为识别数据集,并采用迁移学习方法对C3D网络模型进行迁移训练。结果表明,迁移学习后C3D网络模型对危险行为识别数据集平均识别率达到了83. 2%,可以有效识别危险行为动作。  相似文献   

16.
介绍一种采用SOPC技术设计的SVPWM波形发生器,在FPGA中嵌入了32位NiosⅡ软核系统,用以处理SVPWM波形的计算、输出与显示等功能.利用可编程逻辑器件的可在线编程特点和SOPC的技术优势,灵活、快捷地将所需功能模块完全集成在单片的FPGA上,使电路的硬件结构简单,具有较高的性价比.  相似文献   

17.
This paper discusses how a network communication isimplemented on the basis of java language under pro-gramming interface of network operating system whichrealizes TCP/IP network protocol.The design and appli-cation of java is successfully combined with Internet.In-ternet protocols such as Telnet,FTP,WWW etc.are sup-ported by Java with network classes in which there arevarious methods.While these methods are called fiexible,a telecommunication is implemented.Furthermore,us-ing telnet protocol for the network communication is alsodiscussed in this paper.  相似文献   

18.
月季的系统分类研究   总被引:1,自引:0,他引:1  
本文论述了月季的形态习性、栽培技术,重点对月季的系统分类作了进一步的探讨。  相似文献   

19.
基于AJAX的WebGIS应用   总被引:2,自引:0,他引:2  
针对目前WebGIS中所存在的问题,介绍了AJAX方法的概念和内涵,提出了基于AJAX方法构建网络地理信息系统的思路。并以森林资源信息网络发布系统的原型开发为例,阐述了该方法的优点和一些关键技术。结果表明通过AJAX方法的使用不仅能够快速地实现森林资源信息的网络发布功能,而且能够很好地改善WebGIS应用中以地图为载体的地理信息的网络传播和显示速度,带来丰富的用户体验。  相似文献   

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