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惯性步进扫描器控制接口的设计 总被引：1，自引：0，他引：1
介绍了一种采用惯性步进型扫描器的新型扫描隧道显微镜(STM)的设计,研制出了一种用于该扫描器的接口电路.文章重点对该扫描器的位置粗调驱动电路和隧道电流前置放大电路等接口进行了设计,并完成了该接口的制作和调试,最后在使用该接口电路的新型SIM上扫描出具有较高分辨率的镀金铜的表面形貌.测试表明,该接口工作稳定,使用方便,并能发挥该惯性步进型扫描器高稳定性的优点. 相似文献
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惯性式微动机构位移性能检测 总被引：1，自引：0，他引：1
微机与电容传感器结合实现了惯性式微动机构位移性能的动静态检测，清晰地分辨出了驱动信号周期为５ｍｓ时微位移机构的响应波形．详细推导了测量系统的数学模型、非线性误差的表达式以及极板不平行造成测量误差的理论公式，并给出了误差抑制方法．本文还分析了环境温漂和弹性回复等因素对测量精度的影响． 相似文献