人体活动量的测量

论述了运动量测量的意义和用途，分别介绍了各种测量方法和压阻式加速度计的优缺点，说明在便携式运动量测量仪中采用压阻式加速度计最理想。引用了两个具有代表性的实验，提出了设计便携式仪器的方法     

微加速度计

本文论述了微机械系统(MEMS)的发展,介绍了电容式微加速度计和压阻式微加速度计的结构,分析了它们的工作原理,以及制作工艺.     

提高方形硅膜压力传感器灵敏度的几个重要措施

结合扩散硅压阻式压力传感器的研制．根据硅的压阻效应原理，利用方形硅膜的应力分 布公式，论述了提高正方形硅膜压阻式压力传感器灵敏度的几个重要措施．     

基于STM32的便携式气压高度计设计

介绍了一种便携式气压高度计的设计和实现方法,采用了集成度高的压阻式硅压力传感器MPX4115A为检测元件,低功耗、高性能的STM32F107处理器为主控芯片,详细描述了系统的硬件电路和软件设计。该便携式高度计实现了对温度、气压、高度三种气象要素的检测,包括了液晶显示、按键控制、数据存储等多种功能,拥有低成本、高可靠性和较好的实用性。     

硅加速度计动态I/O特性的标定和数据采集

介绍了振动台测量控制系统、标定振动g值及减小标定误差的技术. 在此基础上, 介绍了利用HP34401A 型数字万用表和微型计算机进行数据采集的通信技巧和编程技巧. 利用这套系统,对笔者联合研制开发的仪表级压阻式硅加速度计动态I/O特性进行了大量的测试标定和数据采集处理, 得出了可靠和满意的结果.     

三轴高g压阻式微加速度计的设计

提出了一种三轴高g的压阻式微加速度计的设计方法.通过理论推导和计算,分析了模型的应力和频率,得到了具有较高频率的高g微加速度计的结构参数.通过有限元软件ANSYS分析确定了在获得高输出电压条件下的电阻布置方案.在此基础上,对三轴进行了200 000 g载荷下的性能研究,结果表明所设计的微加速度计具有较高的灵敏度和线性度.     

伺服式加速度计原理与性能分析

本文在叙述伺服式加速度计的工作原理和基本结构的基础上，着重对其动态性能进行了理论分析，阐明了伺服式加速度计比起常用的开环型加速度计更稳定和更精确。     

一种新型火炮膛压测量传感器研究

提出一种新型压阻式超高压传感器。用金属膜片、硅油和低量程压阻敏感元件构成传感器，从而实现了利用便宜而常见的较低量程的硅压阻敏感元件构成大量程的高压传感器。给出该传感器工作原理的理论分析和主要结构参数的估算方法。按该文的原理，用２０ＭＰａ的压阻敏感元件制成了５００ＭＰａ的高压传感器的原型，其固有频率高达２４６ｋＨＺ，超过了目前同量程的其他传感器，且介绍了原型样机的标定结果，证明其原理的可行性。最后提出对这种传感器进一步开发的建议。     

一种高灵敏度硅压阻式加速度传感器的研究

本文介绍了一种高灵敏度硅压式加速度计的工作原理、结构、工艺技术及测定方法 ,得到了能提高加速度传感器输出性能的有价值的结论。     

CVD金刚石膜的压阻及其温度特性

在Fuchs-Sondheimer(F-S)薄膜理论的基础上，通过求解弛豫近似下的Bohzmann方程，求出了P-型金刚石膜的电导率。在价带分裂模型下得到了压阻的计算公式，计算了微应力作用下金刚石膜的压阻，压阻和应力的变化(△ε)有比较好的线性关系，张应力情况下压阻大于零，压应力情况下压阻小于零。从理论上给出了压阻和温度的关系，计算了压阻随温度的变化，压阻随着温度的上升而单调减小。     

低g值硅压阻式加速度传感器的设计与分析

本文介绍一种低ｇ值双悬臂梁式硅压阻式加速度传感器新结构,通过理论分析与计算,说明该结构的硅压阻式加速度传感器具有良好的输出性能。     

表面应力敏感型压阻微悬臂梁传感器的模拟

为获得用于表面应力测量的压阻悬臂梁传感器的参数的优化方法,建立了有限元分析模型。通过将模拟结果与压阻理论结合,分析了表面应力作用下的压阻式微型悬臂梁传感器。建立了两层硅悬臂梁结构模型,在顶层硅内施加初始应力模拟表面应力。对仿真结果应力数据进行提取与计算,结合压阻系数,分析了n型硅压阻与p型硅压阻长度、宽度和位置等对微型悬臂梁传感器灵敏度的影响。结果表明:为获得较高灵敏度,n型硅压阻应做长,p型硅压阻应做短并安排在固定端。该文研究结果为悬臂梁生化传感器提供了设计参考。     

压阻式传感器计算机辅助分析和设计

本文根据各向异性弹性理论分析了压阻式传感器的压阻特性。利用计算机,解决了矩形器件的分析计算问题。给出了典型的计算结果和应用。简要地介绍了编制的计算机程序,可供分析和设计时使用。     

微机械陀螺测试技术的研究

文章介绍了微机械陀螺的基本原理以及几种不同检测方式的硅微陀螺,包括电容式、压电式、压阻式、隧道式等,分析了这些微陀螺的基本检测原理,总结出它们在检测性能方面存在的一些问题.为了提高微机械陀螺的灵敏度提出用新的微机理介观压阻效应,并对基于介观压阻效应的微陀螺前景进行了论述.     

硅压阻式压力传感器非线性误差校正方法

利用ZMD31020传感器信号处理器,实现了硅压阻式传感器的非线性及温度补偿。通过软件输入预先设定的数字量给ZMD31020处理器的存贮空间,可实现硅压阻式压力传感器(PRT)的零点输出、热零点漂移、满量程输出、热灵敏度漂移和非线性的高精度校准和补偿。传感器的输出精度达到了0.275%。     

矩阵电容式柔性电子白板工艺研究

随着电子白板市场应用日趋多样化,目前常用的电磁式、光电式、压阻式和超声式等多种类型的电子白板在解决交互问题的同时,逐步暴露出一些缺点,如电磁式需要专用书写笔,光电式抗环境干扰能力较差,压阻式需要一定的触控压力等。在此基础上,提出一种新型的矩阵电容式柔性电子白板,并就其工作原理和生产工艺进行了介绍,采用此项技术后成本将大大降低,具有很好的经济效益和市场前景。     

MEMS谐振式加速度计技术发展的研究

目的深入了解谐振式加速度计研究过程中的关键技术问题,为后续的研究工作和实践应用提供指导。方法通过收集大量资料及数据分析,论述MEMS谐振式加速度计的国内外技术研究现状,归纳并探讨其在研究中所面临的关键技术问题。结果与结论针对MEMS谐振式加速度计的激励与检测电路、工艺误差和封装技术等关键技术,提出了集成化、石英微加工和新材料将是提高MEMS谐振式加速度计性能的必要途径。     

曲面拟合算法在硅压阻式压力传感器温度特性研究中的应用

通过曲面拟合算法推导出了硅压阻式压力传感器的待定常系数的拟合方程。并利用MATLAB软件计算得到拟合方程的常系数,最后给出了确定常系数的拟合方程。曲面拟合算法得到的线性的P和U方程很好地消除了二次项所导致的偏差,成功地解决了硅压阻式压力传感器温度的响应问题。     

智能三维振动加速度监测仪的研制

ＩＶＡ－１型智能三维振动加速度监测仪是为了满足对火车、汽车等运输工具的振动与冲击进行实时监测的需要,确保重型、精密和贵重仪器设备的安全运输而研制出的一种新型便携式振动测量仪器。它的测试系统采用了先进的三维组合压阻式加速度传感器,并以８０Ｃ３１单片机为核心,配有Ａ／Ｄ转换器、键盘、液晶显示器和智能微型打印机等;在软件上具有系统实时时钟、零点偏差的初始校正、连续测量或长时间监测等功能,使三维振动加速度     

塑性固体和液体拉伸实验的比较

通过用万能试验机的加载部分对试件加力来进行材料的拉伸实验，用硅压阻式力敏传感器及环状吊片来进行液体表面张力系数的测定的实验，分析、比较了塑性固体材料和液体在拉伸过程中的共同点。