半导体封装键合工艺中常见缺陷识别和处理方法

本文叙述了键合工艺的概念、键合工艺设备的改进和其产生的各种缺陷的类别。重点研究了键合工艺常见缺陷的类型和其产生的根本原因。通过对各种缺陷类型的识别,探索其产生的根本原因并找出应对方法,从而增加其合格率。     

回转键合图法机械系统动态仿真

本文较详细地介绍了机械系统动态仿真的回转键合图法,推导出了机械系统状态方程的统一表达式。应用本文方法所编制的软件,可在计算机上自动地对系统进行动态仿真。最后给出实例来验证本文所述方法的实用性及通用性。     

键合图法非线性系统动态仿真

线性系统动态仿真的键合图法已经较完善地建立起来。但是对非线性系统应用键合图法进行动态仿真尚有许多工作要做,这不仅由于其系统状态方程的建立比较复杂,而且其解法也比较复杂。本文在考虑到混合因果关系的情况下,推出了非线性多流口系统状态方程的统一表达式,并采用有限差分同Broyden的拟牛顿法相结合来求解。最后,给出具体实例对所述方法加以验证。     

基于multi-agent的半导体生产线动态调度方法

提出了一种基于multi-agent的半导体生产线动态调度方法。首先建立了MAS仿真模型,包括管理、投料、工件和设备4种agent;然后设计了工件agent与设备agent的动态调度协商机制,以工件最小加权延迟为决策指标,分别考虑设计了单片/卡加工设备与批加工设备agent的报价算法。此外,还考虑了二次协商机制用于解决设备突然故障对生产线的影响。基于实际半导体生产线模型对所提出方法进行了仿真验证,并与一些常用的调度规则进行了比较,仿真结果表明,在平均加权延迟和准时交货率等指标上,该文提出的方法均有较大的提高。     

回转键合图法非线性系统动态仿真

本文较详细地给出了非线性系统动态仿真的回转键合图法，推导出了非线性多通口系统状态方程的统一公式，特别适用于混合因果关系并存的多通口非线性系统，为在计算机上自动建模奠定了必要的基础。     

键合图法线性系统动态仿真

本文较详细地阐述了线性系统动态仿真的键合图法,给出了线性系统状态方程的统一表达式,利用该方法,对于具体问题按照键合图理论输入系统的结构参数及结型矩阵,就可以由计算机自动地以格式化的方式生成系统的状态方程并求解。同以前类似的方法相比较,本文所给出的系统状态方程的统一表达式,考虑了独立贮能场,非独立贮能场能的能量变量和共能量变量间关系存在耦合时的更一般情况,对前人的工作做了一些补充。     

回转键合图法弹性连杆机构动态仿真

本文较详细地给出了弹性连杆机构动态仿真的回转键合图法,给出了一般弹性连杆机构的键合图模型,在此基础上推导出了便于求解的刚、弹性连杆机构状态方程的统一表达式。用本方法所编制的计算机程序,可以格式化的方式在计算机上自动建立机构(弹性、刚性)的状态方程并求解。最后用实例来说明本文方法及程序的可靠性及通用性     

基于晶圆键合工艺的光刻掩膜版排版方法

晶圆–晶圆键合技术突破了传统晶圆平面工艺, 但键合晶圆的光刻对准图形及其他辅助图形有特殊的位置摆放和形貌绘制要求, 而传统方法进行光刻掩膜版排版费时费力且极易出错。针对该技术挑战, 提出一种与传统排版方式不同的整体翻转式排版方法: 在面对面晶圆–晶圆(两片)产品排版中, 通过“替换–翻转”过程, 可以快速有效地一次性解决辅助图形单元形貌和位置的对应翻转, 大幅度减少键合产品排版的工作量, 降低错误率, 有效地缩短产品导入时间周期。     

机构动态静力分析的回转键合图法

本文较详细地介绍了机构动态静力分析的回转键合图法。该方法具有通用性，特别适用于复杂连杆机构系统。应用该方法不但可以计算出机构运动副中的动反力，而且可同时确定其平衡力矩或平衡力。该算法已被编制成相应的计算机软件ＥＦＦＯＲＴ，其有效性通过实例得到验证。     

键合图法多通口系统动态仿真

本文较详细地给出了多通口系统动态仿真的键合图法。在考虑到独立贮能场与非独立贮能场并存的情况下，给出了便于计算机自动生成及求解的系统状态方程的统一表达式，该表达式是一阶常微分方程组。本文采用变步长Ｒｕｎｇｅ－Ｋｕｔｔａ方法求解。最后给出具体算例来验证本文所述方法的实用性及通用性。     

基于微元件键合图库的微机电系统动态建模与仿真

为了更好地支持微机电系统(MEMS)TopDown设计流程,针对MEMS仿真中的多能量域与非线性特点,采用键合图场元件与结型结构设计并实现了一个集中参数表达的MEMS键合图仿真元件库,同时基于该元件库提出了一种MEMS动态系统建模与仿真方法.采用参数化仿真模型与结构化体系构建的元件库,为MEMS设计流程中的概念设计阶段与系统级设计阶段的快速建模与仿真提供了方便,同时元件库内的所有元件均与MEMS器件级设计中的结构特征具有映射关系,这为用户需求空间功能原理空间结构空间之间的设计空间映射提供了方便.通过一个静电间隙执行器的系统建模过程与仿真结果,验证了利用该元件库进行建模与仿真的有效性.     

基于功率键合图的低速重载馈能减震器动态特性分析

为缓解传统油液减震器以摩擦或热能等方式将汽车的驱动能量耗散至空气中可能造成的高速阻尼失效、油液泄漏、碳排量增加、能源危机与环境污染加剧等问题,设计一种基于滚珠丝杠副的低速重载馈能减震器.运用功率键合图方法建立馈能减震器动态模型,通过MATLAB/Simulink模块进行动态仿真,并与虚拟样机仿真结果进行对比分析.仿真结...     

基于边缘编组的车位线检测方法

针对自动泊车系统中检测车位线的问题,提出基于边缘编组的车位线检测方法。首先对图像进行预处理,并对传统Canny边缘检测算子改进,增加45°和135°方向模板计算梯度幅值和方向,降低噪声干扰并提高图像质量;接着,对边缘图像进行8邻域搜索并聚类分组,剔除较短直线、解决过连接问题;最后利用各边缘组内相邻两像素点梯度方向差分剔除非车位线特征的边缘组,通过对每个边缘组做随机Hough变换,并利用先验知识和最小二乘法拟合得到车位线。实验结果表明,该算法相对于传统Hough变换可以在不同情形下准确检测到车位线,并且具有较好的实时性。     

柔性平面连杆机构动态静力分析的回转键合图法

为提高多能域耦合柔性平面连杆机构动态静力分析的效率及可靠性,提出了回转键合图法.阐述了建立柔性平面连杆机构键合图模型的一般方法,推导出便于计算机自动生成的完整形式的机构平衡力矩及运动副约束反力的统一公式,有效地克服了非线性几何约束及微分因果关系所带来的代数问题,实现了计算机自动建模.实际算例表明了所述方法的有效性.     

基于Matlab/Simulink的键合图仿真

提出基于Matlab的Simulink仿真工具箱的键合图仿真方法，此法可以省去状态方程的推导，还可以利用Matlab的强大仿真及二次开发功能。介绍了将键合图模型转化为方块图的步骤和方法，以及如何选择和自定义Simulink模块，实现与方块图的一一对应。最后结合实例做了说明，验证了该方法的可行性。     

基于键合图的整车转向振动仿真

基于键合图理论建立了某车整车转向模型,采用滤波白噪声作为路面输入,进行了侧向加速度为6.67m/s2时的转向仿真,通过对车身垂直加速度、俯仰角和侧倾角仿真结果的分析,对原车悬架系统进行了优化.     

干摩擦力的键合图建模方法及应用

干摩擦力具有间断的不连续的非线性特性,为了建立全面反映干摩擦力的键合图模型,将干摩擦力分为5个基本的开关状态,引入开关类量的键合图建模方法,运用功率结型结构(简称SPJ)概念,提出一种新的干摩擦力键合图建模方法和键合图模型.新模型不仅可以完整表达干摩擦力在各个状态的运动特性,而且其因果关系在系统处于任何运动状态时均保持不变,以弹簧-质量-阻尼系统为例,运用干摩擦力的新模型建立了该系统的键合图模型,并提取出其状态方程,通过与传统方法建立的状态方程相比较,验证本文提出的建模方法正确可行.     

大功率逆变器的键合图模型及故障诊断方法

大功率逆变器是风力发电机组中主要的变流装置之一,也是故障发生比较多的装置.提出将键合图与解析冗余方法相结合的故障诊断方法,建立元器件的键合图故障诊断模型、故障解析冗余关系及特征矩阵,通过观测矩阵和特征矩阵的对比,进行系统的故障检测.在20-sim软件中的仿真实验结果表明该方法对于大功率逆变器的故障诊断具有良好的便捷性和有效性.     

基于任务分割的云计算动态多DAG调度方法

针对云计算中动态多DAG任务调度问题存在的公平性与调度效率的矛盾,提出了一种任务分割的云计算动态多DAG调度方法.首先,在通信竞争思想的基础上建立了多DAG调度模型,并在模型内融入了任务开始及结束的时间约束指标;然后对每一次的DAG进行主、副任务分割,并将随后的DAG分割结果不断地合并到之前分割的子任务中.最后,基于两类动态多DAG任务调度系统进行仿真分析.结果显示,该方法具有较高的公平性和调度效率.     

基于键合图的多个设计方案的研究

本文根据键合图理论,通过键合图的扩展的三种方法开辟了一系列的设计方案,探讨概念设计的键合图方法。键合图方法既为计算机辅助概念设计提供工具,也为创新设计提供思路。