激光在半导体技术中的主要应用及进展

简要概述了激光在半导体技术中的主要应用。这些应用大致涵盖激光掺杂、激光退火、激光沉积薄膜、激光引发固相反应和激光光刻等几方面。激光光刻中,选取248nmKrF,193nmArF和157nmF2准分子激光光刻着重进行了探讨。分析了这些激光工艺的现状、特点和最新进展,并对存在的问题和发展趋势作了研究。     

纳米材料制备过程中的激光方法研究

就纳米材料制备过程中的激光方法(激光诱导化学气相沉积法(LICVD)、激光高温烧灼法、激光加热蒸发法、激光分子束外延(LMBE)、激光诱导液-固界面法、激光气相合成法、飞秒激光法、激光聚集原子沉积法、激光脉冲沉积法(PLD)等)作了简短的介绍,并就一些制备方法的优缺点进行了比较.     

激光先进制造专题·编者按

由于激光突出的单色性、高亮度、高方向性和相干性等特点,经过多年的研宄发展,激光先进制造技术经历了以激光打标、激光表面处理、激光切割、激光打孔和激光焊接等为代表的激光宏观制造技术,以激光精密切割、激光精密钻孔和激光烧蚀等为代表的激光微细加工技术,和以激光制备纳米颗粒、激光诱导表面微纳米结构、干涉光刻和近场纳米制造为代表的激光微纳加工技术等多个发展阶段,覆盖了从毫米到纳米的不同加工尺度,在现代先进制造业中发挥着越来越重要和广泛的作用.     

碳钢激光脉冲宽度打微孔的研究

激光打孔是激光加工的主要应用领域之一,取五种不同厚度的碳钢材料进行了激光打微孔实验,利用双因素无重复试验方法分析了激光脉冲宽度和碳钢含碳量对激光打微孔的质量影响,为激光打微孔的激光参数合理选择提供了可行的方法。     

柔性加工技术—激光加工

介绍了激光加工的特点、激光柔性加工的实现方法以及激光加工技术在汽车工业中的应用．利用作者开发的激光三维加工软件LasCAM2000,成功地对国产红旗轿车进行了三维激光加工,填补了国内汽车制造业中激光三维加工的空白．     

激光全息照相技术及其应用前景

简述了激光全息照相的技术，总结出拍摄激光全息照片的条件，指出了激光全息照相的注意事项，并给出了激光全息照相的应用前景。     

激光技术在玻璃加工上的应用

介绍了激光加工的原理和激光加工的应用现状,着重分析了激光加工玻璃的实质以及影响激光加工玻璃的难易程度和加工质量的因素。指出利用激光进行光电微器件的刻蚀加工和利用激光进行高质量的艺术雕刻,是激光加工技术较有前途的发展方向。     

激光场强分布对类金刚石薄膜激光损伤阈值的影响

采用非平衡磁控溅射技术,在双面抛光的硅基底上沉积了DLC薄膜,基于ISO11254-1损伤测试平台对DLC薄膜进行了损伤阈值测试;计算了DLC薄膜激光场强及温度场分布,对比了激光场强与损伤阈值的关系。计算结果显示:薄膜表面激光场强增大,DLC薄膜的激光损伤阈值变低;激光场强相等时,随着薄膜厚度增加,激光损伤阈值变小。分析认为:薄膜表面激光场强增大后,激光与DLC薄膜相互作用,产生的等离子体加剧薄膜对激光能量的吸收并产生热累积,激光场强诱导sp3杂化向sp2杂化转变,致使DLC薄膜发生石墨化,从而影响了DLC薄膜的激光损伤阈值。     

激光焊接技术在汽车工业中的应用

激光焊接技术已经在国际上被广泛认可和采用,尤其是在汽车行业中,它的发展速度最快。国外汽车行业的激光焊接技术在激光切割、激光焊接以及激光表面处理等方面有了很大的发展。同时,国外汽车业已经开始应用了最具潜力的激光拼焊。针对国外汽车行业对激光焊接技术的应用,可以得出激光焊接技术已经大大推动了汽车工业的发展。在我国,激光焊接技术在汽车业中也应深入研究和产业化,从而推动我国汽车工业的发展。     

双脉冲激光驱动飞片实验与理论计算

飞片速度是衡量激光驱动飞片起爆能力的重要指标,如何在有限的激光能量密度下提高飞片速度是需要研究的关键问题之一.本文进行了双脉冲激光驱动飞片实验,采用将激光分束再汇聚的方法,实现双脉冲激光驱动飞片过程;采用激光纹影高速照相法,观测了不同时刻下飞片的形态和位置,给出了飞片运动速度.推导了双脉冲激光驱动飞片速度的理论计算公式,计算了不同激光能量和脉冲间隔下飞片的速度.研究发现,在相同激光能量下,采用适当时间间隔的双脉冲激光,可以提高飞片对激光的能量吸收率,从而提高飞片速度.     

渗硼层激光改性机理初探

研究了激光处理对２０ｃｒＮｉＭ０钢渗硼层组织性能的影响，并结合激光加热的特点对渗硼层激光改性机理进行了探索。研究表明：渗硼层激光改性处理，由于改变了渗层的组织结构，增加了渗层厚度，从而在保持高硬度和耐磨性的同时，降低了渗层脆性。     

激光表面氮化复合工艺和机理

论述了激光表面热处理和激光表面氮化的计算、原理、方法、主要影响因素等．着重讨论了激光氮化复合工艺的机理、参数和优点．在理论上建立了激光表面热处理和激光表面氮化的数学表达式．利用激光表面氮化复合工艺对３８ＣｒＭｏＡｌ钢试样进行实验．结果表明氮化层深度加深了．     

YAG激光治疗人工晶体植入后后囊膜混浊的研究

应用YAG激光于白内障囊外摘除和后房人工晶体植入后的后囊膜混浊手术11例,经治疗视力均有显著提高,未发现并发症。对治疗中激光可能对人工晶体产生的影响进行了讨论,并给出了激光治疗时不损伤晶体的安全激光能量值。     

金属材料表面激光热处理的研究与应用

从激光表面强化，激光熔覆、激光合金化及工程应用等4方面阐述了近年来金属材料表面激光热处理的研究与现状，提出其存在的问题与不足，并对其发展前景作了展望，提出了本课题研究内容及方向。     

经激光辐照的40Cr钢的疲劳性能

在本试验研究中,选原始状态完全相同的 40Cr 钢两种圆棒形试样,一种是未经激光辐照,另一种经激光大面积辐照强化处理,同时进行疲劳试验,以考查其疲劳性能的变化,通过金相观察,断口形貌分析和疲劳试验数据的处理分析,证明40Cr钢圆棒形试样用激光辐照强化处理以提高其疲劳性能是有效的和实际可能的,使40Cr钢疲劳极限提高了55％,使疲劳寿命明显地提高,最高可达56.2倍。     

Pulsed UV Laser Modification of Polyester Textile Materials:Effect on Wettability

There has recently been great interest in ablative photodecomposition(APD), notably in pulsed UV laser treatment on polymers, for modification of physical and chemical properties, such as dyeability, printability, adhesion, Iuster and many more. Very little attention was focused, however, on the property of wetting behaviour,which is one of the most fundamental properties in affecting polymer science. Poly(ethylene terephthalate) (PET) fibers drawn to two different draw ratios and under two temperatures, and three white knitted polyester fabrics made of 100% PET fibre were used to investigate their wetting behaviour due to excimer laser treatment.Experiments like water contact angle measurement, vertical drop test and moisture regain were conducted upon samples and all results give the same conclusion that laser treatment increases the hydrophobicity of all samples tested. Scanning electron microscope (SEM) observation reveals how the morphological modification of polymers by laser treatment is correlate     

脉冲激光作用硅锗合金形成多种捕获界面态

用脉冲激光辐照和退火氧化处理在硅锗合金衬底上形成了具有不同界面态分布的氧化低维结构.在这些结构中都有在几个纳米的氧化层中约束了大量的硅和锗的纳米团簇结构,分析这些低维结构所产生的光致荧光(PL)光谱发现,由于氧化条件的不同所生成的这些结构对应的PL光谱无论是强度,还是频率都发生了显著的变化.用量子受限-硅锗与氧化物界面态综合模型解释了样品PL发光的变化.     

激光照射对冬小麦幼苗生长及过氧化物酶同工酶的影响

本文研究了激光照射对冬小麦萌发、幼苗生长及过氧化物酶同工酶的影响。结果表明：用激光照射冬小麦种子，能够显著地提高种子发芽率和幼苗前期生长速度。此外，激光照射不同程度地抑制了主胫根的生长，但对侧根的影响不甚明显。过氧化物酶同工酶（ＰＯＤ）的分析结果显示出，芽鞘与主胚根ＰＯＤ同工酶谱带的变化规律一致，即激光照射１ｍｉｎ后ＰＯＤ同工酶谱带数减少，２ｍｉｎ后，ＰＯＤ谱带数则增加。     

包皮环切术＋激光治疗男性尖锐湿疣580例

我院自１９９３～１９９６年间。共治疗男性尖锐湿疣７６０例,其中采用包皮环切术＋激光治疗５８０例,一次治愈率为９６．２％,感染复发率为３．８％;同期单一采用激光对照治疗１８０例,一次治愈率为６４．４％,感染复发率为３５．６％。结果表明：采用包皮环切术＋激光治疗男性尖锐湿疣,不仅能有效地清除尖锐湿疣病变组织,而且也改善了因包皮过长所致的局部湿润、分泌物增多的外部环境,比单一采用激光治疗更能有效地降低感染复发率。     

锆基非晶合金激光微织构处理及摩擦磨损性能

研发了一种基于纳秒激光表面微织构的功能化表面制备工艺.此工艺将激光表面加工与低温热处理相结合,先使用一定工艺窗口下的激光加工过程实现非晶合金表面微观形貌的织构化,再使用低温热处理过程调控激光织构非晶合金的表面能/表面化学.研究结果表明:激光加工与低温热处理共同作用下制备的非晶合金表面展现出了表面微纳结构与表面化学的改变,从而实现了超亲水向超疏水特性的转变.同时,微摩擦实验结果表明激光织构化超疏水表面可以在润滑介质的帮助下有效提升其抗摩擦磨损性能.