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介绍了国家同步辐射实验室二期建设的LIGA实验站,研究了同步辐射光发散角对深度同步辐射光刻精度的影响;对深度同步辐射光刻扫描台的精度提出了理论要求;报道了深度同步辐射光刻、电铸和塑铸的实验结果. 相似文献
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介绍了国家同步辐射实验室(NSRL)二期工程建设的表面物理光束线的设计参量和测试结果,以及实验站的基本配置、调试结果和自对用户开放以来取得的最新研究进展.测试和开放使用结果表明,NSRL表面物理实验站能够满足部分用户开展角分辨光电子能谱实验的需要. 相似文献
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介绍了国家同步辐射实验室(NSRL)二期工程建设的表面物理光束线的设计参量和测试结果,以及实验站的基本配置、调试结果和自对用户开放以来取得的最新研究进展.测试和开放使用结果表明,NSRL表面物理实验站能够满足部分用户开展角分辨光电子能谱实验的需要. 相似文献
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光谱辐射标准和计量实验站的建设和研究 总被引:1,自引:0,他引:1
介绍了光谱辐射标准和计量光束线(U27)的光学设计、结构和实验站设备,利用透射光栅和AXUV100G探测器系统研究了掠入射分支(SGM)5~140nm的高次谐波情况;给出了研究结果和不同滤片材料对高次谐波的抑制情况,Zr,Si3N4和Al滤片可以有效的抑制5~34nm的高次谐波,MgF2能有效的抑制115~140nm的高次谐波. 相似文献
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介绍了光谱辐射标准和计量光束线(U27)的光学设计、结构和实验站设备,利用透射光栅和AXUV100G探测器系统研究了掠入射分支(SGM)5~140 nm的高次谐波情况;给出了研究结果和不同滤片材料对高次谐波的抑制情况,Zr,Si3N4和Al滤片可以有效的抑制5~34 nm的高次谐波,MgF2能有效的抑制115~140 nm的高次谐波. 相似文献
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提出了一种新的空心微针阵列加工方法,利用三次同步辐射曝光和显影过程来加工微针.通过无掩膜曝光实现显影腐蚀的侧向扩展,从而获得微针的尖部形状;为克服因同步辐射光源的光束为近似椭圆高斯分布所造成的微针呈椭圆形及微针在各个方向上的强度不均匀问题,采用正交两次曝光方法来补偿同步辐射光源的光束分布不均匀性.这种方法工艺过程非常简单,并且无需任何特殊装置.文中所有实验是在日本立命馆大学的超导压缩存储环同步辐射光源AURORA的第13条线上完成的.实验结果表明,利用这种新方法可以非常方便地加工出高质量的空心微针,实现微针阵列的低成本、批量化制造. 相似文献
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介绍了软X射线磁性圆二色谱的基本原理,合肥国家同步辐射实验室软X射线磁性圆二色实验站的主要装置,及其采用的相关技术,包括通过斩波器的同步光圆偏振度的计算及其与光通量的折中处理方法、光束线的主要组成和针对本储存环通量低所作的设计、与该实验站兼容的磁铁设计和采用的样品电流采集方式等,并介绍了各部分达到的性能指标.最后用该实验装置对不同厚度的Co多晶薄膜的自旋磁矩与轨道磁矩进行了初步研究,发现随薄膜厚度增加,样品自旋磁矩逐渐增大,而轨道磁矩逐渐减小. 相似文献
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NSRL光电子能谱实验控制软件设计及其应用 总被引:1,自引:0,他引:1
介绍一种同步辐射光电子能谱实验的软件.软件对光束线的控制由罗兰圆模式改为DRAGON模式[1],光通过率提高2~3倍.软件不仅可以做以X射线枪为激发源的X射线激发谱(XPS),还可以做以同步辐射光为激发源的能量分布曲线谱(EDC)、固定终态谱(CFS)和固定初态谱(CIS).软件使用图形的菜单界面,可视化操作,运行稳定,满足科学实验的要求 相似文献
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微立体光刻技术是基于快速原型制造技术思想的新型微细加工技术。在微立体光刻制造中,光敏树脂在一定波长的光照下发生固化反应,光敏树脂的曝光量阈值和透射深度是光敏树脂的两个重要的特性参数。对掺入质量比20%氧化硅纳米颗粒自行制备的光敏树脂的两种特性值进行测试研究,测量得到光敏树脂在氮气环境中比与在空气中的曝光量阈值小,分别为5.6 mJ/cm2以及86.5 mJ/cm2;加入光吸收剂后的透射深度比不加入光吸收剂的透射深度小,分别为14以及60。根据测量的树脂的特性值,使用实验室开发的微反射镜动态掩膜微立体光刻系统,成功制作微齿轮。 相似文献
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聚硅烷在XeCl准分子激光作用下光降解及亚微米光刻的研究 总被引:4,自引:1,他引:3
采用308nmXeCl准分子激光研究了聚硅烷溶液和聚硅烷薄膜的光降解反应,利用玻璃片为基底,旋转涂布,分别以酚醛树脂和聚氨酯为平坦层,以聚硅烷为成像层和阻挡层,构成双层工艺,进行接近式曝光,用混合溶剂显影,并通过O2-RIE处理,最终得到了亚微米的光刻图形。 相似文献
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曾小珊 《陕西理工学院学报(自然科学版)》2003,19(3):90-94
自主语言学习是近二十年来语言学习领域频繁出现的术语。它以建构主义和人本主义心理学为理论依据,提倡发挥个人的主观能动性,体现了"以学习者为中心"的教学思想。自主学习的条件是学习者须具有一定的认知和元认知策略,对学习抱有积极的态度和动机,并有一定程度的自尊,同时也不能忽视教师的指导和推动作用。本文还提供了实现自主学习的几种方法。 相似文献
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聚合物基纳米复合材料研究进展 总被引:5,自引:0,他引:5
本文介绍了纳米材料的一些特性及纳米复合材料的分类,着重介绍了聚合物纳米复合材料的制备方法、性能及最新应用进展,并对纳米材料的发展进行了展望。 相似文献
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整系数多项式在有理数域上可约性的问题,通常是采用Eisenstein判别法来判定的.文中通过对Eisenstein判别法的讨论,给出了该判别法有价值的推广形式及相关应用,扩大了Eisenstein判别法的适用范围. 相似文献
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给出了李超代数Engel定理的一种证明,运用Engel定理,Fitting分解及Frattini理论等得到了幂零李超代数的5个充分必要条件. 相似文献
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根据八隅律规则运用一些简单的数学知识,推导出一系列的公式,运用这些公式对某些单质的组成,化合物中的各种元素原子间电子的成键情况加以解释,还可通过简单的数学运算来推导出一些有机物的通式,证实一些化合物的存在及结构,预测了一些有机物的存在。 相似文献
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介绍了旋量算法技术及其应用.这个技术与螺旋度振幅、色分解、对偶性、KLT关系等技术相结合,可以在微扰论的树图和圈图水平上,对非阿贝尔规范理论、超对称、弦理论及引力-规范理论对偶等方面的研究发挥重要作用. 相似文献