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利用等离子体增强化学气相淀积(PECVD)系统制备了a-Si:H薄膜.使用KrF准分子脉冲激光对a-Si:H薄膜进行辐照,使a-Si:H晶化.拉曼散射谱和电子衍射谱的结果表明经过激光辐照后在a-Si:H层形成纳米硅颗粒. 相似文献
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利用等离子体增强化学气相淀积(PECVD)系统制备了a—Si:H薄膜.使用KrF准分子脉冲激光对a-Si:H薄膜进行辐照,使a-Si:H晶化.拉曼散射谱和电子衍射谱的结果表明经过激光辐照后在a—Si:H层形成纳米硅颗粒. 相似文献
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镜面抛光硅衬底上金刚石薄膜的生长 总被引:1,自引:0,他引:1
在镜面抛光硅衬底上加负偏压,利用微波等离子体化学气相沉积方法生长金刚石薄膜。通过改变偏压成核阶段的不同条件制备出一系列样品,与直接在镜面抛光硅衬底上不加偏压直接生长的金刚石膜相比,成核密度明显提高,可达4×10^9cm^-2。 相似文献
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报导了用脉冲激光诱导液-固界面反应法来制备碳氮纳米晶体,通过扫描电子显微镜和高分辨电子显微镜分析高能脉冲激光诱导石墨液氨界面反应所制备的样品,观察到了β和α相的C3N4结构。同时,详细讨论了用此方法合成碳氮纳米晶的反应机理。 相似文献
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利用阳极氧化化学腐蚀法得到多孔硅样品,在632.8 nm激光激发下,对多孔硅的拉曼光谱随激光功率的变化进行了研究,分别得到了520cm-1和300 cm-1附近的拉曼光谱图.发现在520 cm-1附近,激光功率较低时,多孔硅的拉曼光谱主要表现为略低于520cm-1的尖锐单峰,随激光功率的增大,拉曼峰出现红移和不对称展宽... 相似文献
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双层辉光离子渗金属技术等离子体诊断初探 总被引:4,自引:0,他引:4
利用朗谬尔静电探针技术对双层辉光离子渗金属的等离子体参数进行了初步诊断,结果表明,等离子体电位和电子温度随气压的升高平缓下降,而等离子体密度则随气压的增加而提高,等离子体电位和电子温度均随源极电压和工件阴极电压的增加而降低,在适当的工艺条件下,源极和阴极之间产生了不等电位空心阴极效应,等离子体密度从10^10数量级增加到10^12cm^-3。 相似文献
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对低功率He微波诱导等离子体的产生及Surfatron的调节特性进行了较详细的研究,在此基础上,用超声雾化法引入样品,测定了非金属元素Cl和Br,得到一些有意义的结果。 相似文献
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本文给出了用依赖于强度的表面等离子体色散关系研究三阶光学非线性极化率x(3)的新方法.可得x(3)的大小和符号.实验中所用激光波长为1.05μm,样品为GaAs,x(3)(ω)~1.2×10-9esu. 相似文献
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《黑龙江大学自然科学学报》2016,(1)
研究了一种二极管激光器泵浦的高光束质量的Tm,Ho:YAP激光器。选用中心输出波长为793.6 nm的二极管激光器作为泵浦源;c轴切割的Tm,Ho∶YAP晶体作为激光晶体,激光晶体中Tm3+掺杂浓度为5 at.%、Ho3+掺杂浓度为0.5 at.%,且采用液氮对激光增益介质进行制冷。在实验中,改变激光器的谐振腔参数及泵浦参数,Tm,Ho:YAP激光器获得了13.1 W的输出功率,相应的斜率效率和光光转换效率分别为40.9%和38.4%,输出波长为2 044 nm;选用刀口法对Tm,Ho:YAP激光器的光束质量进行了测量,获得激光光束质量的M2≈1.1。 相似文献
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朗谬尔探针用于VAC等离子体诊断的初步研究 总被引:2,自引:0,他引:2
简要分析了朗谬尔探针用于真空电弧镀膜等离子体诊断的可行性及理论适用性问题。介绍了一种可用于VAC等离子体在线监测的探针诊断系统,并利用此系统分析了不同工艺参数一等离子体参数的变化。 相似文献
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强脉冲电子束引发气相沉积过程的研究 总被引:1,自引:0,他引:1
近年来,随着等离子体技术的迅速发展,等离子体化学气相沉积在微电子、超导、光纤通讯等新技术领域里被广泛用于材料表面改性,制备各种具有特殊性能的薄膜等.作者在这方面作了一些有意义的工作.本文将介绍一种类似于激光产生化学气相沉积的新手段,即在低压气体环境中,利用强脉冲电子束轰击靶物质,在衬底表面生成固体薄膜的实验结果,以及用AES,ESCA.电子显微镜等分析手段观察,探讨样品表面的化学组成和结构变化. 相似文献
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表面波等离子体柱导电性及其激发系统方案 总被引:1,自引:0,他引:1
表面波等离子体柱可用于具有隐身性能的等离子体天线,而提高低频激励表面波等离子体柱的导电性能是一个难题. 该文通过分析等离子体密度与功率的平衡关系,导出了单极表面波激励弱电离等离子体柱电导率与激励功率和频率的关系,利用数字频率合成技术和功率增益自动控制技术稳定激励功率和频率,以达到提高等离子体柱导电性能的目的. 通过实验研究了等离子体柱电导率与等离子体密度和柱体长度的关系. 该方案可有效提高等离子体柱导电性及系统整体性能,对等离子体天线研究具有参考价值. 相似文献
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微波ECR等离子体参数测量及分析 总被引:1,自引:0,他引:1
李海婴 《哈尔滨师范大学自然科学学报》2001,17(1):27-29
利用双探针测试了微波ECR等离子体参数,发现获得大面积均匀等离子体源强烈依赖于轴向磁场梯度,等郭子体参数受气压影响很大,测量结果与理论分析一致。 相似文献
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我们假设在含有电荷和磁荷的低温等离子体中来研究电磁波的传播,此波有一重要的特性-特征频率极低。在这样的等离子体中的电偶极子辐射阻尼是个有趣的问题。 相似文献
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等离子喷涂陶瓷涂层代替镀铬的可行性研究 总被引:1,自引:0,他引:1
通过对镀铬和等离子喷涂的工艺特点,以及对镀铬层和等离子喷涂陶瓷涂层的硬度、耐磨性和耐腐蚀性的分析,指出镀铬虽可提高金属零件的耐磨性和耐腐蚀性,但镀铬工艺会对环境造成严重污染;而等离子喷涂陶瓷涂层不但比镀铬层具有更高的硬度、更好的耐磨性能和耐腐蚀性能,而且是一种无污染或低污染的生产工艺.根据陶瓷涂层目前的应用状况,认为用等离子喷涂技术代替镀铬技术具有良好的发展前景. 相似文献