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相似文献
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1.
微波等离子体CVD方法制备金刚石薄膜   总被引:1,自引:0,他引:1  
采用微波等离子体化学气相沉积方法分别在CH4/H2,CO/H2和(CH4+CO)/H2气体体系下合成了金刚石薄膜。结果表明,所合成的金刚石薄膜具有明显的柱状生长特性和较高的品质。(CH4+CO)/H2体系合成的金刚石薄膜具有较高的生长速率和晶面定向生长的特性。  相似文献   

2.
采用微波PCVD方法在单晶硅片上制备出了金刚石膜.利用拉曼光谱和X射线射三行射(XRD)研究了不同甲烷浓度对在硅基底上沉积金刚石膜的内应力的影响,同时用XRD研究,抛光对于自支撑金刚石膜的宏观应变和微观应变的影响.  相似文献   

3.
本文较详细地研究了采用HFCVD方法在Si、Mo等衬底上生长出的不同表面晶形的多晶金刚石薄膜,讨论了生长条件(衬底温度、碳源浓度、反应压强)对金刚石薄膜晶粒形貌的影响.结果表明在HFCVD方法中,金刚石薄膜表面晶形对生长条件十分敏感,生长条件的微小变化就会导致不同表面晶形的生长.  相似文献   

4.
采用光刻工艺和纳米引晶技术,在抛光的单晶Si衬底上形成带有超细金刚石纳米粉的引晶图案,并利用引晶处与抛光Si处金刚石成核密度的巨大差异,在光滑的Si3N4和Mo衬底上实现金刚石薄膜的高选择性生长。  相似文献   

5.
N离子注入金刚石膜方法合成的CNx膜的成键结构   总被引:2,自引:0,他引:2  
使用N离子(能量分别为10keV,60keV)注入金刚石膜方法合成CNx膜,用Raman光谱和XPS光谱研究注入前后金刚石膜的成键结构。结果表明,金刚石膜经10keVN离子注入后,在Raman光谱中出现一个较强的金刚石峰(1332cm^-1)和一个弱的石墨峰(G带,-1550cm^-1)。而XPSN1s资料显示两个主峰分别位于~398.5eV和~400.0eV。金刚石膜经60keVN离子注入后,N1sXPS光谱中的主峰位于~400.0eV;相应地,Raman光谱中的石墨峰变得较强,通过比较,对注入样品的XPS谱中N1s的成键结构作如下归属:~400.0eV属于sp^2C-N键;~398.5eV则属于sp^3C-N键。  相似文献   

6.
以金刚石膜作为绝缘埋层,利用金刚石膜上的薄层硅(SOD)技术,制作54HCT03CMOS/SOD结构的集成电路,对该电路在辐照后的恢复特性进行研究,结果表明,SOD电路在大剂量辐照后的恢复能力明显强于体硅电路;常规非辐照环境下的高温退火工艺更有利于辐照后的SOD电路的快速恢复。  相似文献   

7.
金刚石薄膜热敏器件特性   总被引:1,自引:0,他引:1  
本文采用热丝CVD方法和在以石英为衬底的金属钛梳状微电极上制备出的均匀致癌,结晶完整的金刚石薄膜,制成了金刚石薄膜热敏器件,对其热敏特性的测试结果表明,该热敏元件具有检测温度范围宽、响应快,灵敏度高,性能稳定等优点。  相似文献   

8.
运用半经验分子轨道AM1方法计算了金刚石(111)面上乙炔吸附分子的几何构型,通过与相似结构的丙烯分子实验参数的比较,分析论证了半经验分子轨道方法用于碳氢化合物吸附分子几何构型计算的可靠性。  相似文献   

9.
随着电子行业的迅速发展,由于陶瓷、半导体材料、水晶、玻璃等材料的切割和开槽等高精度微加工技术日益增多,因此,要求用于这种加工的切割工具必须具有高硬度,磨削效率高,形状误差小且容易保持,高化学惰性,高热导率,低热膨胀系数等优异性能,而金刚石--镍复合镀层正是具有上述的综合优点,于是成为这种切割工具的最佳材料.本文通过研究金刚石--镍复合镀沉积速率,分析了金刚石--镍复合镀的内在机理,得出了电镀金刚石--镍复合膜的沉积速率分布,有利于电镀出各种厚度的金刚石--镍复合膜,为进一步提高金刚石--镍复膜产品质量作了有力准备.  相似文献   

10.
本文采用微波等离子体炬法制备了金刚石薄膜。并在一定的微波功率下,研究了Si基片到火炬喷嘴距离(L)对金刚石膜质量的影响,结果表明:距离L为6mm时沉积的金刚石薄膜的结晶性好、金刚石相纯度高。  相似文献   

11.
尽管模糊PID控制器具有良好的控制品质,但存在计算复杂和实时性差的问题,为了解决这个问题.利用1LBF神经网络逼近能力重构模糊PID控制器,由于重构的RBF神经网络的并行计算能力,这简化了计算复杂性并提高实时性.通过选择不同的给定信号,比较模糊PID控制器和重构的RBF神经网络的控制性能.得到两者的控制效果是相当的.说明重构的RBF神经网络可以取代模糊PID控制器,从而减少了计算复杂性.避免维度灾难并改善控制实时性.  相似文献   

12.
RNAi机制的研究进展   总被引:4,自引:0,他引:4  
RNA干涉广泛存在于各种真核生物中,而且其基本的作用机制也具有高度的保守性.最近,研究发现RNAi在许多重要的生物学过程中发挥调节作用,具有重要的生物学功能.而且RNAi技术已经成为研究功能基因组学的一种有力工具.  相似文献   

13.
对诸种电影元素的极其严谨而和谐的运用并使其完美地服务于作品整体的精神内涵,这是塔尔柯夫斯基高度的电影艺术成就的一个重要方面。从作品的人物、表演、摄影、剪辑、色彩与声音诸要素来看,它们都能很好的实现作者的表意目的。  相似文献   

14.
当今的设计将重点探讨物品、过程、服务中的方式创新,亦即谋事,其研究具有广泛性和纵深性。设计承载的是人类的理想、道德的重任,设计是一种生产关系,是科学与艺术发展的动力,是人类生存智慧的源泉。  相似文献   

15.
16.
李新 《松辽学刊》2003,24(4):76-78
通过对网络通讯系统的分析,进而得出如何实现网络通讯系统的设计思想及表现方法。  相似文献   

17.
应用艾森个性问卷(Eysenck perscnlity Questionnaire)简称(EPQ),对中国冰上运动员273人个性特征调查结果:以外向稳定者为多,占35.17%,冰球队及速滑队多为外向,花样队多为内向,冰球队及花样队以稳定为主,速滑队台湾省稳定为主P<0.005,男女个性有差异,男以外向型为主P<0.005,各年龄组的个性有差异,16岁以上组为外向为主,随年龄增大而情绪逐渐稳定,文化程度,小学者以内向为主,初中以上者逐渐为外向化,在运动员间;P项方向,主要运动员与一般运动员看不出有差异,E及N项乃主要运动员较低,L项主要运动员较高,在各队间T分比较:P项乃花样高于其他,E项为花样低于其他,N及L项;在冰球,花样及速滑均无显著差异P>0.05,少年组与成年组比较:P项少年组高,E项少年组低,N项成年组低,L项各年龄段有差异,冰球队各位置PENL的T分比较P>0.05,均看不出有显著差异。  相似文献   

18.
从E=mc2看质量与能量之间的关系   总被引:1,自引:0,他引:1  
把E=mc^2解释成质量与之的“转化性”或“同一性”都是不科学的,正确的解释应该是,这一关系式表示了质量与能理之间的不可分割性。  相似文献   

19.
本文详细分析了计算机网络互联原理及各种互联设备。  相似文献   

20.
利用Gaussian 03程序包中的密度泛函理论在B3LYP/6-31G(d)水平下,对未掺杂、电荷掺杂和C l掺杂的聚吡咯、聚呋喃、聚噻吩进行几何全优化,并对它们的几何结构、自旋密度、自然键轨道(NBO)、前线轨道能进行了理论分析.结果表明,电荷掺杂能使聚合物键长趋于平均化,其极子分布几乎遍及了整个分子链而C l原子掺杂对聚合物的影响主要集中在与C l原子相邻的C原子上,极子分布局域在C l原子附近的大约7个碳原子上,掺杂能够明显增强π电子共轭性,降低能隙,从而增强导电性.  相似文献   

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