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相似文献
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1.
介绍近年来国内外稀土氟化物固体电解质电化学气敏元件的研究制备方法,进一步讨论了气敏元件的敏感机理,评价了此类气敏元件的氧敏特性、氢敏特性及电化学稳定性。  相似文献   

2.
半导体气敏陶瓷的研究方法   总被引:3,自引:2,他引:3  
以SnO2为基体材料的气敏元件为例,总结了半导体气敏陶瓷元件的制备过程和研究方法,分析了掺杂、热处理和表面修饰工艺对气敏元件性能的影响,介绍了气敏元件性能的实验和检测方法。  相似文献   

3.
提高半导体气敏元件检测能力的研究   总被引:4,自引:0,他引:4  
通过对半导体气敏元件基体材料和制作工艺的分析研究,指出了提高气敏元件检测能力的途径。采用添加技术,超微细化技术,表面修饰技术和控制工作温度,可提高气敏元件的灵敏度和选择性。恒流加热法是提高气敏元件热稳定性的主要手段,新材料,新技术的引入将进一步改进半 气敏元件的性能。  相似文献   

4.
本文报道了Fe_3O_4胶体的制备工艺、结构及形成机理,讨论了Fe_2O_3型气敏元件的制备及敏感特性。研究表明,依此工艺制备的Fe_3O_4胶体可以作为敏感材料使用。  相似文献   

5.
通过反应溅射 ,以硅基片 (表面上有白金加热电极 )为基底制作H2 S薄膜气敏元件 .实验表明 ,纳米SnO2 对H2 S具有较高的敏感度 ,对干扰气体的选择性较好 .性能测试表明 ,元件的特性与敏感材料的厚度、溅射气压等工艺参数有关系 ,但敏感材料的厚度对元件的特性起着决定性的作用 ,气敏薄膜有一个最佳厚度范围 .通过X射线衍射仪进行材料的微观分析 ,表明SnO2 的平均粒径大小为 8.5nm .  相似文献   

6.
基于纳米材料SnO_2的气敏元件对大多数的挥发性气体具有敏感性,以SnO_2为基料制备了旁热式异丙醇气敏元件.对比了纯SnO_2气体元件和掺杂ZnO气体元件对异丙醇的气敏特性,通过控制变量法,选择在相同的烧结温度或工作温度下进行测试.结果表明:在烧结温度为400℃,工作温度为300℃的条件下,掺杂为1%ZnO的SnO_2气敏元件对异丙醇气体的气敏特性较好.讨论了SnO_2材料对异丙醇的敏感机理.  相似文献   

7.
用电镀法在多孔硅表面沉积ZnO薄膜,制备了氧化锌/多孔硅复合薄膜气敏元件,对元件进行了乙醇、丙酮等五种有机挥发性气体敏感特性的测定。实验结果显示:元件对不同的有机气体的敏感度有差异,这与有机气体的官能团有关系。元件对乙醇、丙酮的敏感性很高,是氧化锌/多孔硅复合薄膜气敏元件对气体分子的物理和化学双重吸附增大了吸附分子的量,还给元件提供了很大的比表面积和气体传输通道。  相似文献   

8.
本文合成了一种新型的钴卟啉LB膜气敏材料(CoTDMAPP),并制成电阻式LB膜气敏元件.对其气敏性的测试表明,该元件只对NH_3敏感,灵敏度高、响应恢复较快、稳定性较好,实现了常温下工作,且功耗低,一致性好.  相似文献   

9.
采用射频反应磁控溅射锡(Sn)靶和钨(W)靶的方法制备了SnO2/WO3/MWCNT复合薄膜材料和气敏元件,通过XRD和XPS实验分析了复合薄膜材料的物相结构及表面化学状态,测试了该气敏传感器的气体敏感性能,包括灵敏度、选择性等特性,实验结果表明,该复合薄膜气敏传感器表现出较好的气敏性能,对NO2有较好的灵敏度,对其他干扰气体不敏感。对实验结果与气敏响应机理进行了初步的分析与讨论。  相似文献   

10.
简述了常温气敏陶瓷材料及高分子材料的制备方法、常温电阻型及振荡型元件的制造工艺及其气敏特性,最后探讨了元件的工作机理及今后的改进方法。  相似文献   

11.
对ZnSnO3气敏元件特性的测试结果表明,元件灵敏度随加热电压的变化而变化.当加热电压小于某一特定值VH0时,灵敏度不变;当加热电压大于3倍VH0时,灵敏度降低,元件失效。通过X射线衍射和SEM二次电子能谱等检测实验,找出了气敏元件灵敏度降低的原因.  相似文献   

12.
以醋酸锌为前驱物,采用水热方法在160℃水热条件下生成了具有规则几何外形的ZnSnO,多面体。利用XRD物相分析可知,该ZnSn03的物相属于AB03型钙钛矿结构。利用FESEM和TEM形貌观察可知,ZnSn03多面体具有截角八面体的几何特征,其径向尺寸为I-1.2μm,其平均直径约为500nm。以ZnSn03截角八面体为敏感材料,采用传统旁热式结构制成气敏元件,研究其对HCHO的敏感性能。结果表明,这种方法制备的纯ZnSnO,截角八面体微晶对甲醛具有良好的敏感特性。  相似文献   

13.
目前,作为信息科学的三大基础之一的传感器技术得到了迅速的发展,其中,光波导(Optical Waveguide,OWG)化学传感技术是国内外发展起来的新型传感技术之一。尤其是在国内新兴的研究题目,具有结构简单、易于微型化、便于携带,能够在线操作等特点。本文介绍了光波导气体传感器技术的特点、光波导的基本原理,并对光波导的气体传感器的研究进展及利用此技术所得到的的研究结果作一综述。  相似文献   

14.
本文采用制备超微粒的方法制得α—Fe_2O_3,并用该材料制作成α-Fe_2O_3系气敏元件。由该材料及添加微量元素后所制作的元件对乙醇有良好的选择性和灵敏度。文中同时也讨论了不同加热功率、不同的电极材料对元件气敏性能的影响。并对α-Fe_2O_3的气敏机理作了扼要的讨论。  相似文献   

15.
文章通过实验研究了纳米CoTiO3材料的气敏特性,结果发现纳米CoTiO3对C2H5OH非常敏感,而且选择性,响应和恢复时间也很好。利用表面吸附理论,文章分析认为纳米CoTiO3材料的气敏机理源于其极高的表面活性;气敏选择性则源于气体的稳定性和被吸附的量。  相似文献   

16.
本文用四(1,4-二硫杂环己烯)四氨卟啉铜(Ⅱ)试制成厚膜电阻气敏元件,研究了元件的气敏特性.结果表明元件对一定浓度的氨气具有良好的敏感性和选择性.其灵敏度受工作温度、工作电压及元件制作工艺的影响.  相似文献   

17.
N-P型半导体气敏元件的理论分析   总被引:7,自引:2,他引:7  
本文提出了一种新型结构气敏元件,即N-P型半导体组合气敏元件。理论分析表明,该种元件可实现灵敏度的倍增,从而有效地提高气敏元件的灵敏度,实现ppb级的检测。此外,在一定条件下,该种元件还可提高选择性和热稳定性,缩短初期弛豫时间。  相似文献   

18.
为提高长周期光纤光栅(LPFG)化学传感器检测折射率小于1.4介质时的灵敏度,实现对一氧化氮(NO)气体的高灵敏度检测,采用在常规长周期光纤光栅包层外镀上折射率大于包层折射率的SiO2-WO3薄膜的方法,运用四层阶跃折射率耦合模理论,分析长周期光纤光栅谐振波长的光谱特性.当膜厚为最佳值时,谐振波长变化率最大,灵敏度最高.在室温下,用镀有不同膜厚的传感器检测体积分数为2%的NO气体.结果表明,只有镀3层膜的传感器谐振波长红移4.77 nm,灵敏度达3%,元件响应时间10 s,恢复时间20 s,其他膜厚的传感器谐振波长没有变化.  相似文献   

19.
利用气/液界面自组装法和溶液浸渍转移法制备了单层和双层氧化铟多孔有序气敏薄膜,并对其进行了气敏特性测试,同时利用多物理场耦合进行气敏特性仿真研究.结果表明,制备的气敏薄膜具有规则的孔道结构,孔壁呈现为具有大比表面积的片状结构.基于该气敏材料的气体传感器对丁酮表现出优良的气敏特性,单层In2O3多孔有序气体传感器在最佳工作温度350℃的条件下对质量分数为100×10-6的丁酮的灵敏度为15.37,响应时间仅为4.3s;双层In2O3多孔有序气体传感器在最佳工作温度375℃的条件下对质量分数为100×10-6的丁酮的灵敏度为20.45,响应时间为22.7s.仿真结果与气敏特性测试结果吻合较好.  相似文献   

20.
高浓度丙酮会刺激黏膜和引起中毒,在医疗健康领域丙酮也可作为呼出气体标记物。为实现对丙酮气体的有效检测,利用WO3纳米材料制备旁热式气敏传感器,系统测试该传感器的基本特性,并在此基础上与SnO2传感器组成双气敏传感器阵列,结合反向传播神经网络方法对丙酮混合气体进行识别。在体积浓度10-5丙酮气体测试中,WO3丙酮传感器的响应值达到9.3,响应与恢复时间均为4 s,重复性误差小于10-8;双气敏传感器阵列对混合气体中丙酮和乙醇的识别误差小于10-8。结果表明,制备的WO3传感器响应灵敏度、稳定性、选择性、瞬态响应等特性良好,采用多传感器融合技术可以实现混合气体的有效识别。  相似文献   

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