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1.
常温纳米压印软模具变形机理研究
兰红波
丁玉成
刘红忠
阙艳荣
陶巍巍
李寒松
卢秉恒
《中国科学(E辑)》
2009,39(1):74-83
通过对软模具变形的理论分析、数值模拟和实验验证的系统研究,以期揭示模具变形的机理、规律和关键影响因素,为探索减小模具变形策略和方法,提高纳米压印复型精度奠定理论基础,以实现高保真度纳米或亚纳米图型的转移.
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