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本文从应用开发MEMS产品的实用角度出发,着力介绍一种新型的电容式微型压力传感器的结构组成和它的MEMS制造工艺。文中详细给出了这种电容式微型压力传感器的结构组成图、组成尺寸和它各部分部件的材料构成以及在硅材料加工过程中存在的主要技术难题。最后,详细给出了电容式微型压力传感器的加工工艺过程。 相似文献
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本课题旨在完成80℃~250℃的中温太阳能空调系统的技术研究和产业化工艺研究,并形成规模化示范。积极开展太阳能空调领域应用示范,加速产业化开发步伐,研究开发基于太阳能中温利用的太阳能空调供热技术,为太阳能中温热利用技术的实用化和产业化打下坚实的基础。课题实施,有望在利用中温集热器的太阳能空调技术取得突破,实现高效太阳能空调系统系列化、标准化、低成本化;太阳能高效空调系统形成批量生成能力;提高太阳能中温空调的技术创新能力和产业服务水平,形成一批太阳能中温空调的创新团队、领军人才和人才基地。 相似文献
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《中国基础科学》2019,(6)
本文对纳米科技重点专项《面向典型污染物检测的纳米敏感材料与高性能传感器基础研究》项目中期进展情况进行了总结。该项目针对高危有机化学品和持久性有机污染物的检测,重点开展四方面的工作,一是研究纳米结构材料与待测目标物的相互作用及敏感机制,为传感器的研究提供敏感材料;二是研究纳米材料表面功能化与富集分离工作机制,为传感器的研究提供特异性富集分离材料;三是研究敏感信号转换机制及超高灵敏检测方法,为传感器的研究提供设计和制造基础;四是综合上述三方面的研究成果,重点研制针对六六六、汞、TNT和沙林等的高性能现场快速检测传感器,并对传感器进行应用示范。经过两年的努力,项目提出了5种纳米敏感结构构筑新方法,实现了纳米敏感结构阵列的大面积构筑;通过纳米结构表面修饰与异质包覆,实现了选择性敏感效应;发展了系列阶层多孔纳米材料的功能化制备以及毒性甄别方法;硅纳米线实现了三维可控批量制造;提出了高能效下沉式三维微加热器结构;在硅纳米线上实现了多种基团分子的简单、可控修饰;初步形成了传感器制造平台方案,研制出原型传感器,确定了示范应用方案。 相似文献
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该课题由西安交通大学与英国伯明翰大学合作开展,以微型发动机、发动机用多参数集成传感器为主要内容,进行关键技术研究。微型发动机作为Power MEMS(型动力机电系统)的重要方案,在能量密度、可靠性、维护性等方面有突出优势,被认为可在部分领域替代现有常规化学电池系统。 相似文献
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本系统以低成本、方便易用为开发目标,将ASP+Access作为开发工具,以B/s工作方式运行,规模可以进行扩充和缩减,重要的是使用线性探测解决随机出题的冲突问题、断线重考试的时间控制问题、交卷时除机器自动阅卷、判分外,还反馈给学生全部的答案和试题标准答案的比较。 相似文献
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笔者针对现场移动焊接作业,研发出了多种移动式焊接机器人产品。具有磁轮自由行走和轨道式两种移动行走方式;开发出了直轨道、圆轨道和柔性轨道等多种不同规格的轨道;配备灵活的焊枪电动/手动调节机构和焊枪柔性摆动机构;实现了焊缝轨迹跟踪控制、坡口组对偏差自动适应、坡口焊道自动排道、焊接工艺参数程控管理等数字化、智能化功能,已形成批量生产能力,并在石油化工、核电、冶金、建筑、造船、海洋工程等行业应用。 相似文献
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光伏产业包括多晶硅原材料制造、硅锭/硅片生产、太阳电池制造、组件封装和光伏系统应用等,还有一些与整个产业链相关联的产业,如各环节的专用材料制造、专用设备制造,专用检测设备制造以及光伏系统平衡部件制造等。 相似文献
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固体氧化物燃料电池(SOFC)是举世公认的高效、便捷和对环境友好的绿色能源装置。从上世纪70年代开始,已进行了数十年的研究与开发,国际范围内经历了几个起落和周期,国际知名的从事SOFC研制的公司,都已推出了自己的应用演示装置,形成了兆瓦级的年生产能力。特别是小、中型(1~25kW)分散式SOFC电/热联供能源呈现出广泛而极具开发价值的市场前景。目前发展阶段的SOFC,以电极支撑的薄膜化致密电解质膜为特征,低成本的陶瓷膜制造的应用,以及陶瓷膜反应器的结构优化,从而具有前所未有的高性能,可以更为确切地称之为“陶瓷膜燃料电池”(CMFC)。这种科学化称呼所涵盖的概念,不仅导致本课题的一系列成功与成果,也将有利于该能源技术的未来发展。 相似文献
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重庆大学微系统研究中心 《中国科技成果》2005,(24):45
近三年来,重庆大学微系统研究中心在国家"863"计划MEMS重大专项的资助下,开展了微型生化分析仪、基于MEMS的人体腔道诊疗系统、MEMS微电源、微机械继电器的研究,取得了重大突破. 相似文献
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