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离子注入和溅射率的蒙特卡罗模拟计算 总被引:2,自引:0,他引:2
蒙特卡罗方法是一种模拟随机性问题的好方法 ,文章依据离子注入和溅射原理并运用蒙特卡罗方法在计算机上模拟了氩离子注入铜靶中的注入离子轨迹、碰撞级联和铜靶在氩离子不同能量和氩离子不同入射方向时的溅射率 ,并对所取得的模拟结果进行了分析研究 ,为提高溅射镀膜生产效率提供了理论依据。 相似文献
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氩离子等离子体源离子注入的数值模拟 总被引:1,自引:0,他引:1
吴丹 《湖南文理学院学报(自然科学版)》2008,20(1):35-38
应用PIC-MCC方法模拟了氩离子等离子体源离子注入过程,考虑了离子与中性粒子的电荷交换碰撞和弹性散射,模拟了不同电压、不同气压及不同等离子体密度下氩离子到达靶表面的能量分布和入射角分布,讨论了碰撞对能量分布和入射角分布的影响. 相似文献
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进一步发展了文献[8-9]的各项异性溅射理论,并运用该理论研究了低能氩离子和氙离子分别轰击钛靶和铝靶的溅射原子能量分布(或溅射原子能谱),以及溅射原子谱与离子入射角以及溅射原子出射角的关系.尤其对于氩离子轰击钛靶,作者只设置了唯一参数,新理论就可以很好的解释文献[10]的大量实验结果.当然,分析中,新理论忽略了电子阻止的贡献.对于较大的溅射原子出射角,理论值明显小于实验值,这可能是由于直接反冲对溅射原子谱的影响,因为新理论只适合于溅射碰撞级联,所以忽略了直接反冲的贡献.新理论与文献[10]大部分实验相符这一事实进一步证明了动量淀积在低能重离子碰撞溅射的重要作用,从而并进一步指导离子碰撞溅射的各种应用. 相似文献
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本文介绍一种用可控硅稳流的氩离子激光器电源。它的稳流精度高(≤0.5%)、造价低、维修方便。经几年来的运行证明电源稳定可靠,适用于对氩离子激光器要求较高的一些科研工作。 相似文献
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利用流体模型,在氦-氩混合气体环境下模拟研究了氩气含量对空心阴极放电特性的影响.结果表明,随着氩气含量的增加(摩尔分数0~10%),放电电流、电子密度、氦离子密度、氩离子密度和阴极位降区径向电场强度均升高,负辉区径向电场强度和阴极位降区宽度降低.电子密度和氩离子密度的升高要快于氦离子密度的升高.当氩气摩尔分数高于5%时,氩气对于放电的贡献已经高于氦气. 相似文献
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利用多组态Dirac Fock方法研究了离化度及高 n旁观电子对氩离子 Kα 和 Kβ 线强度比值的影响. 从结果来看, 离化度对氩离子Kα 和 Kβ 线强度比值的影响要比高 n 旁观电子对其影响强得多. 而且, 1s2s3pnl—1s22snl 和1s2s2pnl—1s22snl(n=3,4,5;l=s,p,d,f)类型跃迁产生的伴线的形状和位置随nl的增加逐渐接近Kα和Kβ线. 相似文献
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远程氩等离子体表面灭菌研究 总被引:1,自引:0,他引:1
研究了射频放电远程氩等离子体对材料表面金黄色葡萄球菌的灭活效果及动力学,并结合等离子体场中活性粒子的分布状态,分析了灭菌机理.结果表明:远程氩等离子体的灭菌效果强烈依赖于等离子体处理条件,且随处理时间的延长,不同放电距离处的灭菌速率均分为3段逐渐减慢,并在放电功率100W、放电时间240s、氩气流量20cm3/min、真空度22Pa的条件下,在距放电中心0~30cm范围内可实现对金黄色葡萄球菌的有效灭活(灭菌率≥99.9%);在高放电功率下且氩气电离充分时,带电粒子(电子、离子)对菌体表面强烈的刻蚀作用是氩等离子体灭活金黄色葡萄球菌的主要原因,自由基对细菌的杀灭力小于带电粒子,而低放电功率下的灭菌则是由氩等离子体场中紫外光的作用所致. 相似文献
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用平均离子Debye模型处理平均离子的能级下移,并替代了屏蔽氢离子模型中处理平均离子能级下移的离子球模型,计算了冲击压缩条件下产生的弱非理想氩等离子体的电子密度。 相似文献
9.
程发银 《重庆工商大学学报(自然科学版)》2008,25(1):60-64
通过假定一定的等离子体温度、密度分布,数值求解了一维等离子体的连续性方程,获得了杂质氩电离态分布,其辐射功率随空间位置和时间而变化.结果显示:在杂质注入时间较短时,由于离子输运及各种损失机制,总杂质密度在空间分布尚未达到平衡,电离态离子主要分布在等离子体周边,完全电离离子所占份额很小;当时间达到0.25 s时,氩在等离子体中完全达到平衡状态,体积辐射功率趋于一个稳定的数值;辐射功率在空间的分布随时问变化较小,主要分布在等离子体周边及边界层一个狭小的辐射带内,说明氩引起的辐射主要由低电离态离子引起. 相似文献
10.
程发银 《渝州大学学报(自然科学版)》2008,25(1):60-64
通过假定一定的等离子体温度、密度分布,数值求解了一维等离子体的连续性方程,获得了杂质氩电离态分布,其辐射功率随空间位置和时间而变化。结果显示:在杂质注入时间较短时,由于离子输运及各种损失机制,总杂质密度在空间分布尚未达到平衡,电离态离子主要分布在等离子体周边,完全电离离子所占份额很小;当时间达到0.25s时,氩在等离子体中完全达到平衡状态,体积辐射功率趋于一个稳定的数值;辐射功率在空间的分布随时间变化较小,主要分布在等离子体周边及边界层一个狭小的辐射带内,说明氩引起的辐射主要由低电离态离子引起。 相似文献
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在一台改装的直列双缸火花点火发动机上,将进气由空气改为具有更高比热比的氩气和氧气的混合气,进气道喷射天然气,研究了氩-氧氛围下天然气缸内燃烧的离子电流特性.结果表明,相比于空气氛围,氩-氧氛围下缸内离子电流信号强度显著增强;在氩气体积分数为79%及以下时,离子电流信号特征值与基于缸压计算的燃烧特征值具有很强的一致性;离子电流信号能够检测缸内的爆震燃烧,具有很好的可靠性,但对爆震强度的敏感程度较弱. 相似文献
12.
郭玉彬 《吉林大学学报(信息科学版)》2001,19(3):20-23
给出了用3.1 eV(波长400 nm)荧光监测法在载氢商用通信光纤上制作光纤Bragg光栅的实验.采用244 nm SHG(二次谐波振荡):氩离子激光器和振动掩模,在其Bragg中心波长(λ=1 550.65 nm),得到反射率96%和3 dB带宽0.2 nm的光纤光栅.这种光纤光栅在光纤传感系统具有广泛的应用价值. 相似文献
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远程氩等离子体表面改性对聚氯乙烯润湿性的影响 总被引:1,自引:0,他引:1
在理想管式反应器中,利用等离子体中各种活性粒子(电子、离子、自由基)具有不同存活寿命的特点,在距等离子体放电区一定距离处形成高浓度自由基氛围,即远程等离子体.运用远程氩等离子体对医用聚氯乙烯(PVC)进行了表面改性,采用扫描电子显微镜观察、接触角测量和X射线光电子能谱分析等手段,研究了改性前后PVC表面结构、性能的变化,并分析了远程氩等离子体和常规等离子体处理效果不同的原因.结果表明:PVC表面经远程氩等离子体处理后,表面微观形态和表面化学成分均发生了变化,且处理效果优于常规氩等离子体.远程氩等离子体可以在一定程度上抑制电子、离子的刻蚀作用,强化自由基反应,使材料表面获得更好的改性效果.经远程氩等离子体短时间(3 min)处理后,PVC表面的[w(O) w(N)]/w(C)从0.07增大到0.22,表面的水接触角从107°减小到20°. 相似文献
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刘春国 《长春科技大学学报》2000,30(3):257-261
借助于砂槽承压含水层模型,以氩溶解气为研究对象,模拟气体聚集或稀释的异常源产生后,其在含水层中的运移过程。实验包括三组,分别模拟在不同的气源气体流量、水头压力和承压荷式、运移速率和溶解气贩运移过程。在实验的基础上,分析研究氩溶解气的运移特征(主要包括运移模式、运移速率和溶解气峰值含量)与气源气体流量、水位和承压载压力的关系。结果表明氩溶解气在低流量的范围内呈现出与离子类似的弥散特征,与离子不同的是 相似文献
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针对全精馏无氢制氩系统的特性和操作相对复杂性,指出了氩系统和主塔间的关系平衡、操控的主要方面和启动时间的缩短等对氩系统的优化操作,以达到保持系统稳定,提高生产效益的目的。 相似文献
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为了获得用于制取全息高频光栅的光源,研制了Ar离子激光器的腔外二倍频系统。采用ADP晶体的温度位相匹配法,以半导体致冷器作为冷源,石英晶振用作测温传感器,并将PID实时控制算法用于智能型精密测控温系统中,研制出了控温精度达 0. 05 ℃的恒温装置。成功地实现了氩离子激光器的腔外倍频系统,将波长为514.5 nm的可见光信频得到波长为257. 3 nm的远紫外相干光,用这种光源可制得超高频全息光栅。 相似文献
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郭玉彬 《吉林大学学报(信息科学版)》2001,(Z1)
给出了用 3.1 e V(波长 40 0 nm)荧光监测法在载氢商用通信光纤上制作光纤 Bragg光栅的实验。采用 2 4 4 nm SHG(二次谐波振荡 ) :氩离子激光器和振动掩模 ,在其 Bragg中心波长 (λ=1 5 5 0 .65 nm) ,得到反射率 96%和 3d B带宽 0 .2 nm的光纤光栅。这种光纤光栅在光纤传感系统具有广泛的应用价值。 相似文献
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反渗透技术去除地下水中氟的方法 总被引:10,自引:0,他引:10
对反渗透技术用于去除水中氟离子的条件及机理进行了实验探讨。结果表明采用反渗透技术处理水有降低氟离子的作用。影响反渗透去除氟离子的主要因素包括:系统压力、流量、原水的pH值、水中氟离子浓度以及水体本身的离子强度。反渗透方法之所以能够去除氟离子是由于反渗透膜孔径小于氟离子直径所致。 相似文献