等离子体显示器屏板复合定位技术

针对荫罩式等离子体显示器屏板定位的特点,研究了基于计算机视觉的图像定位和基于衍射光栅的莫尔定位2种方法.利用这2种定位方法建立了精密定位的复合控制系统,其中图像定位作为粗定位,光栅定位作为精定位.通过粗定位与精定位相结合的两段式复合定位,可保证在较大的信号捕捉范围内,实现显示器屏板的高速高精度定位,有效地解决了定位精度、定位速度与信号捕捉范围三者之间的矛盾.实验结果表明,采用复合式精密定位可在50 mm的工作行程内获得±1 μm的屏板定位精度,这对荫罩式等离子体显示器的产业化具有重要的实用价值.     

利用激光莫尔信号精密定位的复合控制研究

在分析利用激光干涉莫尔信号的精密定位方法的基础上，提出了精密定位的粗控、微控两段复合式控制方法，实现了装置宽范围控制的精密定位高业度及精密定位时间的缩短，对加快集成电路制造技术的进步有重要的参考价值。     

压印光刻中高精度莫尔对准方法的研究

针对分步压印光刻工艺中多层套刻的高精度对准问题,提出一种应用斜纹结构光栅副实现x、y、θ三自由度自动对准的方法.光栅副分为4个区域,应用光电转换器阵列检测光栅副相对移动所引起的莫尔信号变化,通过电路系统处理可同时得到在平面x、y、θ三自由度的对准信号.驱动环节采用直线电机和压电驱动器作为宏微两级驱动,其分辨率分别为0.2μm和0.1nm,在激光干涉仪全程监测下,与控制系统一起构成闭环系统实现自动对准定位.实验结果表明,在多层压印光刻工艺中,实现了压印工作台步进精度小于10nm的高精度定位要求,使整个对准系统的套刻精度小于30nm.因此,应用这种莫尔对准方法可以获得较高的对准精度,同时能够满足压印100nm特征尺寸套刻精度的要求.     

圆光栅误差分析与补偿方法实验验证

圆光栅编码器是近代角度测控系统的重要传感元件,它是以圆光栅为核心,采用莫尔条纹技术,将角位移转换成电脉冲信号的一种传感器,广泛应用于各种高精度角位移检测和控制系统中.随着我国机电一体化精密量仪、加工中心、数显数控机床和各种精密测试定位技术的发展,对光栅测量系统的精度和性能提出了更高的要求.该文总结了编码器装调过程中出现的问题,分析了圆光栅误差产生的原因,实验验证了补偿方法的合理性,从单读数头的pv值20",rms值7",提高到了pv值2.1",rms值0.49".     

大范围小区域精密定位技术

对大范围小区域精密定位技术进行定义,根据大范围小区域精密定位技术的应用领域、采集信号的元器件、定位尺度等,对大范围小区域精密定位技术进行分类,对当前各类大范围小区域精密定位技术的典型定位技术进行介绍,包括定位原理、定位算法和数据处理、定位精度;阐述各类大范围小区域精密定位技术的特点,包括其当前的定位精度、技术的优缺点等.根据当前大范围小区域精密定位技术的限制因素,提出大范围小区域精密定位技术的一些可能的发展方向.     

光栅刻划机超精密定位系统定位控制研究

对光栅刻划机超精密定位系统的定位控制以及实验进行探索研究.鉴于控制模型和实验分析验证出光栅刻划机超精密定位系统具有较强的非线性和时变性,提出将基于BP神经网络的PID控制方法用于光栅刻划机定位系统控制,利用神经网络的自学习实时调节PID控制参数,实现精密定位的自适应控制.通过控制实验,稳定地获得了5nm以内的定位精度.     

乘法倍频对锁相式莫尔条纹信号细分方法的改进

以研究实用性强、细分精度高的莫尔条纹信号细分方法为目的,提出乘法倍频技术与锁相式莫尔条纹信号细分方法相结合的新方案,并通过理论分析与实验仿真,验证了该方案的可行性与实用性.结果表明,所提出的新方案可改善原始信号的质量,降低对光栅传感器输出信号正交性、等幅性等方面的要求,并能提高细分精度,具有重要的实际应用价值.     

多层冷压印光刻中超高精度对正的研究

为满足多层冷压印光刻中套刻的超高精度要求,提出了基于斜纹结构光栅的对正技术.利用光电接收器件阵列组合接收光栅产生莫尔条纹的零级光,得到条纹平面内X、Y方向的对正误差信号.通过调整光栅副的间隙来提高误差信号的对比度.利用高对比度和灵敏度的误差信号作为控制系统的驱动信号,对承片台进行宏微两级驱动控制,并由激光干涉仪作为控制系统的反馈环节在驱动过程中进行全程监测,实现自动对正.最终使在X、Y方向上的重复对正精度达到了±20nm,满足了100nm特征尺寸压印光刻的对正精度要求.     

高精度长光栅动态检测的新方法

根据双频激光干涉测量原理，针对进口设备HP5528激光干涉仪不能进行动态检测的缺点，提出了一种改进HP5528激光干涉仪并实现高精度长光栅动态检测的新方法，论述了长光栅长度误差的检测和长光栅莫尔纹信号质量的检测，其中包括激光信息处理、信号采集、计算机接口和算法。该方法不仅可以检测光栅尺的精度，还可以通过信号分析了解光栅尺制造过程中的误差源对光栅尺制造精度的影响，也可以实现对磁栅、线纹尺等长度计量元件进行高精度动态测量。     

多路径误差对GPS精密定位的影响

多路径误差是GPS精密定位的主要误差源之一,也是目前较难处理的误差之一.削弱或消除多路径误差可有效提高GPS精密定位精度.首先推导了多路径误差公式,然后研究了衰减因子、反射距离、仪器高和反射系数等因素对GPS信号多路径误差的影响,得出了由不同因素引起的多路径误差对精密定位的影响规律,并给出了相应的削弱误差的方法.