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相似文献
 共查询到16条相似文献,搜索用时 218 毫秒
1.
在宽电子束聚焦理论基础上,利用非正交旋转曲轴坐标,研究了电磁聚焦成象系统的曲轴象差理论。采用象差积分函数形式,导出了二级几何象差,主轨迹色球差和曲近轴色球差的象差系数,使结果适宜计算机处理,本结果已用于实际电磁聚焦成象系统的设计计算。  相似文献   

2.
假定空间静电电位φ的磁感应强度矢量(?)在实验室坐标系中的分布是已知的,利用变分方法研究了正交和非正交两种曲线局部坐标基下宽电子束聚焦的普遍理论.将变分原理下的细电子束聚焦推广到宽电子束聚焦,证明了其结果与用电动力学方法研究宽电子束聚焦的一致性。  相似文献   

3.
根据曲轴宽电子束聚焦理论,研究了一种用曲轴轨迹确定轴外点扩散分布的方法,这种新方法可在保持与传统方法相同的精度条件下,减少电子光学传递函数的计算量,提高计算速度,对大物面成象系统的计算具有实际意义。  相似文献   

4.
本文提出并讨论了复合聚焦——偏转系统的渐进象差概念,并推导了复合静电聚焦——偏转系统的一级渐进色差和三级渐近几何象差的公式.这些渐进象差系数均可表为物距X_0或放大率的倒数m 的多项式的形式,便于研究计算任意物象位置时的象差和设计计算带有多个聚焦——偏转器的静电电子和离子束探针系统.  相似文献   

5.
本文侧重分析电子束纳米光刻中的若干限制因素,包括电子光学系统中的象差、电子束与抗蚀剂的相互作用(散射与二次电子效应)、衬底条件等,并对已用于进行纳米分辨率电子束光刻中的一些方法进行了归纳,讨论了其应用前景.  相似文献   

6.
本文对维恩滤质分析器(Wien filter analyzer)即交叉场分析器的电场和磁场分布特点,粒子轨迹、聚焦成象性质和象差进行了系统的理论研究;推导了分析器的二级几何象差与一级色差的一般公式,并特别研究了具有类似圆透镜聚焦性能的双向聚焦维恩滤质分析器的情形;给出了横向场具有矩形分布时一级色差系数和二级孔阑象差系数的解析公式.  相似文献   

7.
检验曲轴轨迹计算方法的合理性与可靠性。方法利用同心球系统,结果曲线坐标系下宽电子束曲轴的主轨迹方程以及考虑到二级近似下的曲轴轨迹方程进行具体的计算。结论由此验证曲轴轨迹计算方法是合理可靠的。  相似文献   

8.
GRIN透镜的象差计算与分析   总被引:1,自引:0,他引:1  
利用三阶光学追迹公式计算了GRIN透镜的初级象差,分析讨论了计算结果,为GRIN透镜的应用和设计提供了理论依据。  相似文献   

9.
根据国内外空间焊接技术的研究状况,提出了我国空间电子束焊枪用等径三圆筒单透镜作为主透镜的电聚焦系统设计方案和计算机辅助设计方法,利用计算机编程完成了聚焦系统的参数概算并取得了满意的结果.研究结果表明电子束电流散焦小,在偏转磁场中束截面较小,工件上的束斑半径最小可达0.656 15 mm,可满足空间焊接和切割的需要,并证实了空间电聚焦系统的计算和设计方法是正确的.  相似文献   

10.
大偏转角偏转象差的分析与校正   总被引:9,自引:0,他引:9  
应用多极场理论,研究了大偏转角情况下的偏转象差,给出了应用十极场微五级象差校正时的场表达式,计算了在多种情况下十极场对五级象差校正的影响,分析了多极场象差校正的方法。  相似文献   

11.
倾斜型电磁聚焦系统的电子光学(英文)   总被引:1,自引:0,他引:1  
本文给出了倾斜型电磁聚焦系统在随动坐标系下的电子运动方程,导出了系统的象差表达式,探讨了表征该系统的鉴别率特性的均方根半径,编制了设计倾斜型电磁聚焦系统的通用程序,计算了电子光学外形尺寸,电子光学传递函数与均方根半径检验并比较了所采用的横向象差表达式的精度。结果表明,利用象差方程计算倾斜型象管的传递函数较通常由运动方程计算落点的传统法节省3/4~5/6的时间并具有足够的精度。  相似文献   

12.
研究了离子通道的产生背景及物理机制,利用电磁场理论导出了离子通道的聚束条件和通道半径所满足的方程,并对各区域的相对介电常数作了分析.同时,针对离子通道的动态特性,对所导出的电子振荡运动方程作了定性的讨论.  相似文献   

13.
光波导短程透镜基点与主面研究   总被引:3,自引:1,他引:2  
提出对光波导短程透镜传输理论进行系统研究的思想,推导出短程透镜基点(包括焦点和主点)、主面与焦距的表达式。研究了其焦点、主面的特殊性质,并与传统光学透镜的有关参量进行对比,得出消球差短程透镜下不仅对近轴光线,而且对离轴光线均可实现理想聚焦,以及主平面为一段圆弧的特性,这一工作为短程透镜系统传输理论的建立打下了基础,适用于含短程透镜的系统设计与计算。  相似文献   

14.
简述了光学显微镜与电子显微镜的分辨本领 .给出了在考虑相对论效应的情况下高速电子束的波长与加速电压的关系 ,着重论述了由于电子热运动引起的电子波的色散 ,并研究了该色散对电镜分辨本领的影响 .得出了电子热运动引起的色差比加速电压不稳造成的色差还大的主要结论 .  相似文献   

15.
根据8mm三次谐波回旋管对电子枪的要求,采用综合法和分析法设计了该双阳极磁控注入电子枪。编制了一套大型的计算程序,利用计算机模拟,设计出了电极形状、电子轨迹与电子注参量。计算表明,这种电子枪具有速度零散小、层流性较好、体积小等特点。该枪已经用于制管实验中。  相似文献   

16.
利用永磁铁结构的偏转聚焦系统产生的非均匀磁场,改进了目前e型电子枪电子束偏转聚焦特性,同时缩小了枪体体积,减小了功耗.采用边界元法与等效磁荷法,模拟了偏转聚焦系统的非均匀磁场,再利用龙格一库塔法模拟出电子在该系统中的运动轨迹.为获得良好的聚焦特性,电子发射速度和发射位置应进行优化选择,同时电子束保持水平出射.研究结果表明:电子枪阳极板端点与阴极灯丝中心点保持水平可满足电子水平出射;非均匀分布的磁场对e型电子枪中电子束具有良好的聚焦作用;所设计的偏转聚焦系统在电子束流为50~100 mA时,束斑小于3 mm.  相似文献   

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