微机械的快速成型微细加工技术

由于微机械制造具有加工尺寸大小、成型分辨率要求高等特点,微机械的快速成型微细加工工艺存在着不同通用快速成型工艺的特殊问题及关键技术。该文对微机械光成型微细加工工艺和系统构成等进行了研究,制作了国内第一台微机械光成型实验系统,并加工出微曲柄等微零件,探索了快速成型微细加工技术制造微机械的新路子。最后提出了微机械快速成型微细加工的几个研究方向。     

多孔硅微机械技术的薄膜量热传感器结构研究

多孔硅的形成和刻蚀技术是一项新型的表面微机械加工技术，我们以多孔硅为牺牲层，利用多孔硅的选择性生长机理，以及利用在高阻衬底上横向形成速率大于纵向形成速率的特点，得到了距衬底很深的微桥、微梁、微沟道等微结构，并设计研制了一种绝热式量热传感器。     

微机电系统(MEMS)技术及其应用

微机电系统是一个新兴的技术领域.阐述了微机电系统的特点、加工工艺、应用及其现状和发展趋势.     

微机械（MEMS）与微细加工技术

首先对微机械(MEMS)的分类及其特点作了简明的阐述，在此基础上，着重评介了近年来该领域各种微细加工方法及其能够达到的加工尺度与水平。指出当前微细加工技术仍然在以使用物理和化学能量的特种加工为主，并呈现加工材料扩大化、产品机构复杂和加工手段复合化的发展态势。     

采用薄片溶解工艺制造微机械惯性仪表的实验研究

介绍了一种用以制造微机械惯性仪表（包括微陀螺和微加速度计）的微机械体加工方法——体硅溶解薄片法。它包括硅片工艺、玻璃工艺和组合片工艺。整个工艺过程只需单面处理,三次掩膜。硅片工艺包括刻凹槽,深扩散和干法刻蚀三次工艺过程。玻璃上用剥离的方法形成引线和电极的金属层。然后将硅片和玻璃倒接,进行静电键合。最后腐蚀掉硅片背面未掺杂的体硅,从而分离出结构。本文结合微陀螺的具体结构,详细阐述了每一工艺过程的要点,并着重介绍了硅上刻高深宽比槽的技术。该方法形成的结构与衬底不易粘附,成品率高,制造成本低,可形成的结构图形多种多样。     

微机械技术及其在生物医学中的应用

微机械技术及其在生物医学中的应用ＴｅｃｈｎｏｌｏｇｙｏｆＭｉｃｒｏｍｅｃｈｓｉｎｉｓｍａｎｄＩｔｓＢｉｏｍｅｄｉｃａｌＡｐｐｌｉｃａｔｉｏｎ￥／／谢国章（河海大学机械学院，教授常州２１３００１）一、概述微机械是指尺寸在１毫米以下的微型机械，主要由硅材...     

微机械陀螺真空封装玻璃罩子加工工艺的研究

在硅微机械加工中,封装加工是非常重要的一个过程,对微机械器件实现真空封装后可以极大的提高它的灵敏度等各项技术指标,但目前国内对微机械传感器真空封装技术不成熟.本文主要讲述对陀螺采用玻璃封装时,用于封装的玻璃罩子的加工过程以及玻璃罩子在整个结构中所起的作用,同时叙述了玻璃罩子与微机械结构的键合过程.     

微机械加速度计的研究

讨论了一种扭摆式微机械加速度计。介绍了它的敏感元件的结构尺寸、振动模态以及数学模型。阐述了位移检测电路的原理和要求,以及满足这些要求所采用的技术措施。推导了这种加速度计的敏感元件和位移检测电路的灵敏度公式。叙述了敏感元件的体硅溶解薄片法制造工艺。从热噪声和电噪声两方面分析了这种加速度计的精度极限,相对于当地重力加速度应该能达到１０－５。但是,试验样机的初步实验结果表明,目前精度只有１０－２～１０－３,因此,还有巨大潜力。     

激光加工技术在机械加工业中的应用

本文介绍了激光加工技术的优点、及在机械加工中的切割、焊接等几个方面应用的特点、现状及发展前景。     

彩色图像处理中的调色板技术

如何给一幅彩色图像优选一个调色板,以此调色板再现该图像,从而方便地对彩色图像进行各种处理是图像处理技术中的重要问题。论述了针对不同应用场合基于不同颜色模型的不同的颜色优化策略;提出新的优化准则,逼真地再现该图像;合理地将颜色分组处理,以较少种类油墨实现了更多颜色的印染。     

微机电系统的发展

始于20世纪60年代的微机电系统(MEMS)是在微电子技术基础上产生和发展起来的多学科交叉的前沿科学研究领域,是21世纪的核心技术之一．介绍了MEMS的形成、发展、基本研究内容、流行设计分析软件和主要制造工艺应用及微器件、微系统的种类和应用现状．     

丝蛋白膜的加工工艺和应用概述

探讨了丝素蛋白膜加工工艺及影响因素，并概述了其主要应用。     

超光滑表面抛光技术

超光滑表面抛光技术是超精密加工体系的一个重要组成部分,超光滑表面在国防和民用等领域都有着广泛的应用．文中介绍了超光滑表面的物理特征和应用,并根据抛光过程中工件与抛光盘之间的接触状态,将各种抛光方法分为直接接触、准接触和非接触3类,对每一种抛光方法作了总体的描述,详细地介绍了近年来发展的激光抛光技术和化学机械抛光技术及其超光滑表面抛光的加工机理,介绍了超光滑表面的测量和评价方法．     

实际尺寸计算法与现代制造技术

阐述了机械加工中尺寸链又一计算方法的出发点和依据,并在现代制造技术中的计算机辅助生产和加工条件下能体现该方法的长处。     

表面肌电在评价运动技术方面的研究进展

简要总结了表面肌电技术评价运动技术的主要研究方法及进展,并对这项技术在评价运动技术方面的前景进行展望.结果表明,表面肌电技术因其评价手段的先进性、评价结果的准确性以及安全无创的操作性等诸多优势,必将成为监控运动技术训练的重要手段,在运动训练的实践中有着广泛的应用前景.     

我国录铊共生矿床中富铊矿体首次发现及其成因初步研究

通过对贵州兴仁滥本厂汞矿区的实地考查和一系列室内研究工作,发现了自然界极为罕见的红铊矿,并进而肯定了该矿区汞铊共生矿床中有富铊矿体的存在。红铊矿和富铊矿体在我国均属首次发现。根据元素地球化学、矿物包裹体和硫同位素资料,结合矿床的地质特征,从矿源层的形成环境、红铊矿和富铊矿体产出条件、汞铊等成矿元素的活化迁移及其沉淀机制等方面,对矿床的地球化学特征和矿床成因进行了初步讨论,取得了可喜的成果。     

加工工艺对医用心血管支架生物相容性的影响

设计了一种新结构的316L不锈钢心血管支架，采用激光切割和电化学抛光去除尖角的加工方法，通过3D细胞和小鼠骨髓基质细胞培养以及人体外周血的溶血实验，研究了加工工艺对该心血管支架生物相容性的影响．采用激光切割和电化学抛光工艺，获得了设计的支架形状并消除了支架边缘的尖角；实验组和对照组对比表明，细胞的形状、数量相同，其活性和生长未受支架影响，支架没有引起溶血反应，加工工艺是合理的，没有产生细胞毒性。     

空间分辨电化学研究新方法

简述当前国内外主要的原位（In Situ)空间分辨技术及其在电化学研究中的应用,包括扫描微电极技术、扫描电化学显微镜、扫描探针显微镜、扫描Kelvin探针技术、扫描光电流谱技术、显微激光拉曼光谱技术等,其中扫描微电极技术、扫描电化学显微镜、扫描Kelvin探针技术可直接测定腐蚀电极表面或界面化学不均一性的分布图像,而其它方法则是通过测量表面分子振动光谱、表面隧道电流及光电响应等,进而从分子水平研究腐蚀电极过程。并侧重介绍作用已建立的具有微米空间分辨度的电化学方法,主要有多种形式的扫描微电极技术及阵列电极技术等,并用于研究金属/溶液界面电化学不均一性及局部腐蚀过程。结果表明,空间分辨电化学方法的发展及应用,使得人们对金属表面和金属/溶液界面电化学不均一性,特别是金属局部腐蚀发生、发展过程机理的认训得以深化。     

压电式微驱动器的应用研究

在分析常用微驱动器的基础上,设计了一种压电式微驱动器,采用柔性铰链机构实现无机械摩擦、无间隙的高灵敏度微驱动,利用柔性铰链杠杆放大原理增加了叠层式压电陶瓷位移输出．满足了在激光测量系统中作为移相器的工作要求．文章对柔性铰链机构进行了理论分析,建立了数学模型,采用有限元分析方法优化了机构的结构参数．