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金属氧化物半导体气敏机理探析 总被引:21,自引:0,他引:21
讨论了金属氧化物半导体表面的气-气,气-固反应及其相应的电子过程,建立了分析气敏作用机理的理论模型,并提出了改进传感器性能的指导性意见。 相似文献
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随着市场对有机挥发性气体检测技术要求的日益提高,金属半导体气敏传感器由于其工作温度较低、循环稳定性好、响应和恢复时间短等特点而受到广泛关注.三氧化钨(WO3)作为一种典型的n型金属半导体气敏材料,由于其特殊的气敏特性而在探测各类有毒有害物质的领域中受到了人们普遍重视.传感材料的结构和形貌、暴露晶面、金属氧化物和贵金属离子的引入,对改善材料的气敏性能起着关键性的作用.文章介绍了WO3气敏传感器材料对各种气体的应用,提出基于WO3的气敏传感器研究过程中所面临的难题,并对其未来发展方向进行了展望. 相似文献
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由于社会需求紧迫,金属氧化物半导体纳米气敏材料成为当今研究的热点。本文综述了从材料元素的组成、形貌及尺寸的控制以及制备方法等方面来提高金属氧化物半导体纳米材料气敏性能的研究进展。 相似文献
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杜红云 《云南大学学报(自然科学版)》2002,(Z1)
随着安全环保的日益受到重视 ,气敏传感器元件将保持良好的应用前景 .金导体浆料用于可燃性气体传感器和有害气体报警器中 ,使用方便 ,性能稳定 ,成本低 ,是一种理想的电极和焊结材料 . 相似文献
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本文以气敏传感器为研究对象,介绍了国内外气敏传感器的产生及现状,详细分析了气敏传感器的工作原理,阐述了主要应用领域,并最终依据现状总结出气敏传感器的未来发展趋势。 相似文献
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报道一种新型固态电解质NO2气敏传感器,它以人工钠沸石材料为气敏固态电解质,新型银离子玻璃为气敏辅助性材料,溅射金膜为工作电极,埋藏于银离子玻璃中的银球为参比电极,构成电位型气敏传感器,可在线检测来自工业废气和汽车尾气等污染源的NO2。 相似文献
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碳纳米管(CNTs)具有独特的电学、力学、物理、化学性能。可对许多气体进行选择吸附和快速检测。近年来,碳纳米管在气敏传感领域的研究及应用取得了显著进展。碳纳米管气敏传感器具有体积小、常温下即可检测、灵敏度高、响应速度快等优点。综述了本征碳纳米管气敏传感器、碳纳米管气敏传感器的功能化修饰、碳纳米管气敏传感器在呼吸检测中的应用等研究进展。为提高碳纳米管气敏传感器的气敏性能(灵敏度、选择性、响应时间和可重复性)、增大检测气体种类。目前主要通过使用不同材料(有机聚合物、金属、金属氧化物)对碳纳米管进行合理的功能化修饰。在进一步研究中,应重视发展除加热和紫外光照射之外的新脱附技术、研究复杂气体环境中特定气体的选择性检测、将传感器阵列技术用于CNTs气敏传感器、实现商业化的电子器件等问题及挑战。 相似文献
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一种新的燃气型气敏传感器 总被引:2,自引:0,他引:2
报道了对目前家庭广泛使用的液化石油气、天然气和水煤气都敏感,而对其它气体如烟雾和乙醇等不敏感的气体传感器.该传感器具有灵敏度和分辨率高,稳定性好,响应、恢复时间短等特点,可适宜家用燃气(液化石油气、天然气和水煤气)的泄漏报警和控制,具有广泛的应用前景 相似文献
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石墨烯基气体传感器具有噪声低、能耗小和常温下即可检测等优点,在医疗诊断、气体检测和农业生产等方面有着广泛的应用。然而,传统石墨烯型传感器往往存在着恢复时间长和选择性低等问题。为了使传感器工作更加灵敏,开发基于石墨烯及其衍生物的复合新型气敏材料用以降低恢复时间和提高选择性,是当前的主要研究热点。简要介绍了近年来石墨烯复合气敏材料(如金属氧化物半导体、导电聚合物、金属有机骨架化合物、二维过渡金属碳氮化物等)用于氨气检测的研究现状,展望了其在微机电系统集成化等领域的应用前景。 相似文献
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《云南民族大学学报(自然科学版)》2017,(2):159-161
以纳米材料SnO_2、Zn O为原料的气敏传感器对大多数VOC气体具有敏感性.以SnO_2和ZnO为基料制作旁热式甲醛气敏元件,并比较二者的气敏特性.选用对甲醛敏感的SnO_2材料作为元件基料,为改善其对甲醛的气敏特性,选择0.3%La_2O_3、0.5%La2O3、0.7%La_2O_3的3种比例掺杂,运用控制变量法分别在不同烧结温度和不同工作温度下进行测试.结果表明:掺杂0.3%La_2O_3的SnO_2气敏元件在烧结温度为700℃,工作温度为300℃下对甲醛的气敏特性良好. 相似文献
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基于薄壁圆筒结构的光纤光栅瓦斯压力传感器 总被引:1,自引:0,他引:1
为提高瓦斯压力监测的精度和准确性,设计了一种带温度补偿、基于薄壁圆筒结构的高灵敏度新型光纤光栅瓦斯压力传感器。通过理论分析,确定了传感器的结构和尺寸。该传感器采用内径15 mm、壁厚0.13 mm、材料为30Cr Mn Si A的薄壁圆筒。通过测试,传感器灵敏度为220 pm/MPa,瓦斯压力为10 MPa时光纤光栅中心波长漂移量为2.93 nm,基本误差小于0.05 MPa,具有较好的可重复性。现场应用表明,新型传感器具有较高精度,克服了温度对监测结果的影响。 相似文献
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Biao Wang YuDong Zhao LiMing Hu JunSheng Cao FengLi Gao Yun Liu LiJun Wang 《科学通报(英文版)》2010,55(3):228-232
Cu-doped TiO2 nanofibers with an average diameter of about 80 nm are synthesized through an electrospinning method. Both anatase and rutile crystallographic structures are found in the fibers based on XRD results. Compared with pure TiO2 nanofibers, the Cu-doped TiO2 nanofibers exhibit improved CO sensing properties at 300°C. The sensitivity of Cu-doped TiO2 nanofibers is up to 3 when the sensor is exposed to 5 ppm CO, and the response and recovery times are about 4 and 8 s, respectively. Good selectivity i... 相似文献
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报道了采用PECVD方法制备多层薄膜材料,研究了不同结构薄膜材料的气敏特性,制得了具有优越性能的NOx、乙醇和TMA气体传感器 相似文献
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利用柠檬酸溶胶-凝胶法合成掺杂钼的Fe2O3复合氧化物对H2S等还原性气体有很高的灵敏度,并利用XRD对产品的物相进行了分析;用TEM或SEM对粉体晶粒的粒径和形貌进行了观察;将产物粉体制成气敏元件,采用静态配气法在气敏测试仪上进行了灵敏度和响应-恢复曲线的测试,研究证明钼铁复合氧化物对H2S气体有很好的气敏特性,其中... 相似文献
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以室温超声法合成了不同形貌的金属有机框架化合物Cu_3(BTC)_2(HKUST-1)的纳米颗粒,并将其制作成石英晶体微天平(Quartz Crystal Microbalance, QCM)构建甲苯传感器.利用扫描电子显微镜,透射电子显微镜,X射线衍射仪,全自动比表面积和孔隙度分析仪,傅里叶变换红外光谱仪等对HKUST-1的形貌和结构进行了表征,测试了不同形貌和比表面积的敏感材料对甲苯的传感性能.结果证明不同晶粒尺寸和暴露晶面的HKUST-1对甲苯的敏感性能有明显影响.当形貌从低能晶面的八面体逐渐转变为高能晶面的立方体时,晶体尺寸变小,孔径逐渐增大.在空间位阻效应和吸附热效应的协同作用下,HKUST-1对甲苯气体显示出特异性吸附和敏感性能,其中高能晶面暴露最多的立方体形貌的HKUST-1对体积分数为60×10~(-6)甲苯气体的响应值比八面体样品高出1倍. 相似文献
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MISiC肖特基二极管式气体传感器响应特性分析 总被引:1,自引:0,他引:1
分析了金属-绝缘体-SiC(MISiC)结构肖特基二极管(SBD)气体传感器敏感机理,通过将热电子发射理论与隧道理论结构,建立了器件物理模型。模拟结果表明,响应特性与金属电极类型,绝缘层厚度,气体吸收效率和温度有关。模型结果与实验符合较好。通过模拟,得到MISiC结构最佳绝缘层(SiO2)厚度应为1nm左右。 相似文献
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高灵敏度光纤气体传感器的研究 总被引:3,自引:0,他引:3
彭勇 《大连海事大学学报(自然科学版)》2005,31(3):87-89
研究了差分吸收式光谱吸收型光纤气体传感器.基于NO2的光谱吸收特性,设计了一种检测NO2浓度的光纤传感系统,以LED作为光源,采用双波长差分检测技术,有效消除了由光源、光纤和传感头的不稳定所引起的检测误差,提高了检测灵敏度,大大增加了该传感器的适用性. 相似文献