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镜面抛光硅衬底上金刚石薄膜的生长 总被引:1,自引:0,他引:1
在镜面抛光硅衬底上加负偏压,利用微波等离子体化学气相沉积方法生长金刚石薄膜。通过改变偏压成核阶段的不同条件制备出一系列样品,与直接在镜面抛光硅衬底上不加偏压直接生长的金刚石膜相比,成核密度明显提高,可达4×10^9cm^-2。 相似文献
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掺氮类金刚石薄膜的微观结构和红外光学性能研究 总被引:3,自引:0,他引:3
采用俄歇电子能谱、原子力显微镜、拉曼散射分析、傅里叶红外光谱和红外椭圆偏振光谱等设备,对射频等离子增强化学气相沉积法制备的掺氮类金刚石薄膜的微观结构和红外光学性能进行了研究.结果表明,薄膜中氮含量随工艺中氮气/甲烷流量比的增加而增加并趋于饱和.光谱中CH键吸收峰(2859~3100cm-1)逐渐消失,而且CNH键(1600cm-1)、C≡N键(2200cm-1)和NH键(3250cm-1)对应的红外吸收峰强度随氮含量的增加而增加.拉曼散射中G峰向小波数方向位移和峰值展宽的现象说明薄膜中形成了非晶的氮化碳结构,与原子力显微镜显示的薄膜中富氮的非晶纳米颗粒相对应.偏振光谱分析认为,富氮纳米颗粒的存在导致了薄膜在红外波段折射率由1.8降低到1.6. 相似文献
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金刚石薄膜热敏器件特性 总被引:1,自引:0,他引:1
本文采用热丝CVD方法和在以石英为衬底的金属钛梳状微电极上制备出的均匀致癌,结晶完整的金刚石薄膜,制成了金刚石薄膜热敏器件,对其热敏特性的测试结果表明,该热敏元件具有检测温度范围宽、响应快,灵敏度高,性能稳定等优点。 相似文献
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空调使夏天电能需要量特别大。一天当中白昼的负荷呈尖峰状态,其负荷变化规律与太阳辐射、阳光发电输出量的变化规律十分一致。研究一种新型的太阳能半导体空调系统,大批量投入使用,可使夏季产生电力平峰的效果,减少污染,保持生态平衡,将有广泛的社会效益和很好的经济效益。 相似文献
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本文较详细地研究了采用HFCVD方法在Si、Mo等衬底上生长出的不同表面晶形的多晶金刚石薄膜,讨论了生长条件(衬底温度、碳源浓度、反应压强)对金刚石薄膜晶粒形貌的影响.结果表明在HFCVD方法中,金刚石薄膜表面晶形对生长条件十分敏感,生长条件的微小变化就会导致不同表面晶形的生长. 相似文献
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以酒精为碳源,用热丝CVD法,对不同表面状况的Si衬底作金刚石沉积比较.讨论了薄膜的成核、生长机制,认为CH_2是成核的主要气相种类,H原子直接参与了成核和生长,它们在薄膜沉积中起了极为重要的作用.解释了毛糙表面的Si衬底上金刚石易成核的现象. 相似文献
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本文介绍了第五届国际光伏科学与工程会议概况及薄膜太阳电池的最新数据,其中包括单结和多结非晶硅电池、多晶CuInSe_2、CdTe电池、薄膜多晶硅和单晶GaAs电池性能。 相似文献
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本文利用兰州市实测水平面太阳辐射值,计算出了南立面、东、西、北立面可利用的太阳辐射投射量,可供太阳能工程设计者参考。并对兰州市区冬季大气污染对太阳辐射影响进行了定量的对比计算。 相似文献
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测量了Te溶液生长半磁半导体(SMSC) Cd1-xMnxTe的导电类型、电阻率、霍尔迁移率和光致发光(PL).测定结果表明,Te溶液生长Cd1-xMnxTe晶体质量和稳定性均优于布里奇曼长晶,根据正四面体配位晶场中Mn2+3d (4T1)能级出现在Cd1-xMnxTe禁带中的观点,分析了在0.85~1.5μm范围内红外透射光谱上存在吸收边的原因。 相似文献
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从等离子体发射光谱变化这一角度研究在不同沉积条件下等离子体中电子平均能量的特点,分析碳源气体分析与电子的碰撞以及碳氢基团的能态变化,从而对等离子体法沉积金刚石薄膜微观机理进行初步探索。 相似文献
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甘肃临夏太子山植被研究初探 总被引:1,自引:0,他引:1
本文对太子山林区的植被及其分布进行了调查研究,认为该林区植被属于森林草原植被和亚高山针叶林带。分布于太子山的中国种子植物,具有明显的温带高山草原性特点,并兼有青藏高原和中部干旱地区的分布类型。 相似文献