首页 | 本学科首页   官方微博 | 高级检索  
相似文献
 共查询到20条相似文献,搜索用时 46 毫秒
1.
绝缘衬底上高质量亚微米厚硅单晶膜的获得对于制成高速度、高集成度、低功能和抗辐射的集成电路十分重要.蓝宝石上外延硅膜的生长和其CMOS/SOS集成电路的研究已为国内外学者所重视.  相似文献   

2.
3.
使用MOCVD生长技术,在n型及半绝缘衬底上生长了InP外延层,通过对迁移率和低温光致发光,光反射谱的分析,得出了样品纯度与有关生长条件的关系。  相似文献   

4.
La0 7Ca0 .3MnO3巨磁阻薄膜是具有广泛应用前景的磁学材料 ,薄膜样品在外磁场下观察到较大的负巨磁阻效应 .运用高分辨电子显微镜研究了巨磁阻薄膜的生长机制 ,确定了薄膜良好的外延生长关系 ,并对薄膜界面的结构与缺陷进行了探讨 .  相似文献   

5.
La0.7Ca0.3MnO3巨磁阻薄膜具有广泛应用前景的磁学材料,薄膜样品在外磁场下观察到较大的负巨磁阻效应。运用高分辨电子显微镜研究了巨磁阻薄膜的生长机制,确定了薄膜好的外延生长关系,并对薄膜界面的结构与缺陷进行了探讨。  相似文献   

6.
研究了热壁外延法(HWE)在经两种不同处理方法的GaAs衬底上生长的ZnSe薄膜质量,俄歇电子能谱图(AES)分析表明,经S纯化的GaAs表面大约由一层单原子层所覆盖,从而减少了ZnAs/GaAs界面态密度,用喇曼光谱的空间相干模型,对不同处理方法的GaAs上生长的ZnSe处延膜的一级LO声子喇谱形变化进行分析,定量判断出ZnSe外延膜质量的优劣,分析认为,经S纯化ZnSe/GaAs具有较好的质量  相似文献   

7.
用普通的液相外延(LPE)方法,在Si衬底上生长了厚约10um的GaP外延层,并对以Ga,In或Sn为生长熔体进行生长得到的结果做了比较,结果表明,Si在Ga中溶解度很大,Ga不适合做熔体;In为熔体时生长出InGaP合金,Si含量较高,而且出现化学计量比偏离现象,Sn为熔体生长的GaP层中Si含量小于In溶体,而且GaP符合化学计量,测得GaP外延层带隙波长为540nm。  相似文献   

8.
利用脉冲激光沉积在YSZ[100]基底上同质外延生长不同组分的YSZ薄膜.研究发现,当生长温度为300℃时,薄膜为非晶态,而在温度为650℃时,掺杂10%氧化钇(摩尔分数)的YSZ具有立方结构,而掺杂6%和8%氧化钇的YSZ薄膜同时具有立方和四方结构.通过调控生长工艺条件,以及利用具有不同组分的薄膜与基底来构造不同的应变状态,可以制备具有不同结构的YSZ外延薄膜.  相似文献   

9.
研究了重掺硼分子束外延硅的载流子浓度对喇曼光谱线型的影响。以单声子态和准连续电子激发态之间的Fano相互作用理论为基础,对实验结果进行了讨论和拟合。由拟合得到的喇曼光谱的半峰宽、峰移、峰高和不对称因子等各参数之间的关系式,结合霍耳效应测量,得到了喇曼光谱的半峰宽Г同自由载流子浓度p之间的关系曲线为Г=2.54p^0.408,其中Г,p分别是以cm^-1和10^19cm^-3为单位。提供了用喇曼光谱  相似文献   

10.
首先叙述了双层(BiAl)YIG薄膜的生长及层间晶格失配情况,测量了与膜面法向成任意角度磁化的铁磁共振谱,铁磁共振场和线宽随磁化方向的变化与单层膜明显不同,用薄膜层间磁耦合解释了这种薄膜的铁磁共振线宽的非均匀增宽和共振波谱出现的异常现象,计算出的层间磁耦合系数与磁化方向有关。  相似文献   

11.
作者用热壁外延方法在(100)GaAs衬底上生长Zn_(1-x)Mn_xSe拉半磁半导体薄膜,并用X射线衍射(XRD)、喇曼散射、俄歇电子能谱(AES)等技术对薄膜性能作了研究.实验结果表明已成功地生长出(100)Zn_(1-x)Mn_xSe单晶薄膜,其中x最大达到0.17.  相似文献   

12.
13.
利用液相外延技术,考察了与InAs衬底晶格匹配的InAsPSb四元系化合物生长条件对外延层晶体质量的影响。  相似文献   

14.
《应用科学学报》2001,19(3):261-264
用X射线双晶衍射(XDCD)法测得分子束外延(MBE)法生长的CdTe/Cd0.959Zn0.041Te(112)B异质结的倾斜角为0.2185°,而且朝[1-1-1]晶体学方向倾斜.为了获得较精确的倾斜角值,绘制了外延层和衬底衍射角的差值Δθ与绕样品表面法线旋转的角度φ之间的准正弦函数.为高分辨率透射电子显微镜(HRTEM)分析制备了MBE法生长的Hg0.535Cd0.465Te/CdTe/GaAs(1-12)B多层异质结的横截面薄膜.CdTe/GaAs异质结的HRTEM明场象表明CdTe(1-12)缓冲层相对于GaAs(1-12)衬底朝[1-11-]方向倾斜约3°,并且在Hg0.535Cd0.465Te/CdTe异质结,Hg0.535Cd0.465Te(1-12)外延膜相对于CdTe(1-12)缓冲层在[11-1]方向,即[1-11-]的反方向倾斜约1°.也分析了Hg0.535Cd0.465Te/CdTe/GaAs多层膜之间的倾斜角关系.  相似文献   

15.
16.
从信息及信息过程中寻找依据,可将信息区分为两类,同时可见信息的哲学物质性.笔者认为,目前一些提法忽视了信息和信息过程的差异,本文试图从此着手讨论信息以抛砖引玉.  相似文献   

17.
利用连续介质模型,计算有非应变盖层的应变外延层结构中单位面积的能量。引入上下界面失配位错数目的比例因子η,利用能量最低原理,求得η的表达式,研究表明,失配位错在上下界面的分布与应变的弛豫程度和盖层的厚度有关。随应变弛豫程度和非应变盖层厚度的增加,失配位错在上界面的数目增多,应变弛豫机制以单结点为主过渡到以双结点为主。  相似文献   

18.
《河南科技》2012,(19):7
<正>挪威科学家近日成功开发出一种新型半导体工业复合材料"砷化镓纳米",具有透明、韧性佳且价格低廉等优点,在未来半导体产品市场极具竞争性。挪威科技大学电子与电讯系的研究人员介绍说,他们采用自动分子束外延生长法,在原子级薄石墨烯上生成了这种半导体纳米线。虽然它不是一种全新产品,但却是半导体装置生产方法的一个新模板,可以应用于未来太阳能电池和发光二极管的生产,有望改变半导体工业现有的设备  相似文献   

19.
对于外延膜多尺度应变模型的求解,设计了一类代数多重网格方法,进而以该代数多重网格为预条件子,结合其轭梯度法,得到一种预处理技术。数值实验结果表明,我们构造的代数多重网格算法是健壮的,具有很好的计算效率。  相似文献   

20.
Co/Ti/Si三元薄膜固相反应外延CoSi2过程实验研究   总被引:2,自引:0,他引:2  
CoSi2是近年亚被活跃研究的一种微电子导电薄膜材料,采用Co/Ti双层及TiN/Co/Ti多层结构,通过不同热处理工艺,可以形成CoSi2/Si异质外延结构。通过XRD,AES,RBS,四探针等测试,研究了CoSi2外延生长时,Co,Ti,Si,O原子的互扩散过程,阐述了Ti在些过程中的重要作用。  相似文献   

设为首页 | 免责声明 | 关于勤云 | 加入收藏

Copyright©北京勤云科技发展有限公司  京ICP备09084417号