硅的微机械加工技术

论述硅的各向同性腐蚀与各向异性腐蚀的工作原理，提出硅膜厚度的控制方法．实验中得出异向腐蚀时的最佳温度为９５℃，腐蚀速率ｖ＝１μｍ／ｍｉｎ。     

Si基片各向异性腐蚀特性研究

为了制备高性能铁电薄膜红外探测器 ,对Si微桥的湿化学腐蚀工艺进行了研究 .利用Si基片各向异性腐蚀特性 ,在四甲基氢氧化铵 (简称TMAH )水溶液中加入氢氧化钾 (KOH)作为各向异性腐蚀液 (简称KTMAH) ,研究了TMAH与KOH摩尔比、腐蚀浓度、腐蚀温度对Si基片腐蚀特性的影响 .结果表明 :Si(1 0 0 )面的腐蚀速度随着腐蚀液浓度和温度的升高而增大 ,随着TMAH与KOH摩尔比的降低 ,KTMAH腐蚀液对掩膜层的腐蚀程度加剧 .选用 5 g/L的过硫酸盐 (PDS)与TMAH质量分数为 2 5 %、TMAH与KOH摩尔比为2的KTMAH混合液作为腐蚀液 ,并在 80℃× 2 .5h的腐蚀条件下能得到平整的腐蚀面 ,可以制备质量较好的微桥结构     

旋转体自身驱动的硅微机械陀螺

报道了一种利用旋转体自身角速度作为驱动力，通过各向异性刻蚀硅片制作的硅微机械陀螺。介绍了该陀螺敏感结构（硅摆）的设计、制作与封装工艺，用仿真器测试了旋转体的角速率。模拟试验和性能测试表明，该陀螺结构原理正确，可用于敏感旋转体的偏航或俯仰角速度，以及旋转体自身的角速度。     

电化学脉冲腐蚀制备多孔硅微腔技术

基于电化学脉冲腐蚀方法,用正交实验法给出了制备多孔硅微腔较为理想的制备参数:脉冲周期为5 ms,占空比为5/10和上下各6个周期的Bragg镜面层,得到了半峰宽为6 nm的窄峰发射的多孔硅微腔.并用了以HF酸扩散为基础的多孔硅动态腐蚀机理对实验结果进行了解释,认为在用电化学脉冲腐蚀法制备多孔硅微腔的过程中,不但要考虑到HF酸对硅的纵向腐蚀(电流腐蚀),也要考虑到HF酸对多孔硅硅柱的横向腐蚀(浸泡腐蚀).     

电化学脉冲腐蚀制备均匀发光多孔硅

采用脉冲腐蚀和直流电化学腐蚀两种方法制备多孔硅,对这两种方法制备的多孔硅样品进行了扫描电镜和荧光光谱测量,发现脉冲腐蚀制备的多孔硅样品比直流腐蚀制备的多孔硅样品表面均匀、硅丝或者硅柱的尺寸较小、发光强度大,而且发光峰位有明显.的蓝移现象.同时我们还发现多孔硅样品的尺寸越小其能带越宽,由此得出多孔硅样品的发光现象符合量子限域解释的多孔硅的发光机制.     

脉冲电阳极腐蚀纳米多孔硅的蓝光发射

用直流叠加方波脉冲电流阳极腐蚀法制得了多孔硅（ＰＳ），样品经ＸｅＣｌ准分子激光器的３０８ｎｍ激光的激发，获得了中心波长为４６２ｎｍ，半高宽为１２６ｎｍ的蓝色光致发光（ＰＬ）谱、ＰＳ断透射电（ＴＥＭ）分析发现有ｎｍ量级的Ｓｉ原子团组成的一维量子线（柱）阵列的三维量子海棉结构，由此带来的量子约束和表面效应恰好说明了ＰＬ谱的实验结果。     

KOH溶液制作类圆形硅膜阵列研究

由于单晶硅在碱性腐蚀液中的腐蚀速率呈各向异性,在圆形掩膜下很难实现圆形单晶硅膜的制作.利用添加剂异丙醇(IPA)来改善KOH的腐蚀特性,在KOH与IPA混合腐蚀液体系中制备出类圆形硅膜阵列.通过扫描电镜观察腐蚀图形形貌,结果表明带有图案的N型衬底在质量分数为40%的KOH和IPA构成的混合溶液中,腐蚀出底面平整侧壁光滑的圆形硅膜阵列,并且初步探讨导电类型对腐蚀形貌影响机制.     

用Marker技术和沟道方向的RBS研究等离子体阳极化膜

等离子阳极化是一种低温半导体材料氧化技术。本文用Marker技术证实了这种膜的氧化机制,并用RBS测量研究了过渡层厚度和膜的成分。并介绍了实验方法与结果。     

齿轮齿面电蚀机理

描述了齿轮齿面电蚀失效的微观形貌特征：条形花样和云形花样。建立了非接触放电电蚀模型和接触放电电蚀模型来阐述齿面电蚀产生的机理。在齿面间的极间电压较高、润滑油模形成较好的情况下产生非接触放电电蚀;在齿面间的极间电压较低、润滑油模形成比较差的情况下产生接触放电电蚀。电蚀和磨擦磨损的共同作用加速了齿轮的失效。     

语音信号的预处理技术探讨

在现代信息技术中语音信号处理技术发挥着越来越重要的作用,而语音信号预处理是语音信号处理中不可或缺的环节.本文详细阐述了语音信号预处理技术中的放大和增益控制、反混叠滤波、语音信号数字化、特征提取等几项关键技术.     

《唐诗三百首》若干问题解析

据孙琴安先生统计,迄今为止的唐诗选本大约600种。其中,清代蘅塘退士(孙洙)的《唐诗三百首》的出现,历经数百年久盛不衰,使得唐诗这颗耀眼的明珠因此书的出现而更加璀璨夺目。探究《唐诗三百首》成功的秘诀,对今天的唐诗传播和研究具有一定的借鉴意义。     

浅议油松的育苗技术

油松属松科,松属,是我国的特有树种,也是我国北方地区最主要的造林树种。油松根系发达,枝叶茂盛,保持水土能力强,涵养水源作用大,又具有耐旱,耐寒和对土壤肥力要求不高的特征。它自然分布范围宽,适应造林的立地广,经济价值高。油松的繁育主要采用播种育苗方法,介绍了油松育苗的种子处理,圃地选择和培育的具体技术。     

盆池涡旋转方向和龙卷风的形成

采用流体运动与地球自转相结合,从整体系统研究流体必须遵循的动力学规律.结果表明,盆池涡旋转的方向是确定的:地球北半球出现的盆池涡旋转的方向为逆时针(俯视);而南半球出现的盆池涡旋转的方向为顺时针;在地球的赤道线上的盆池涡是不旋转的.并用流体旋转动力学模型对龙卷风形成强烈旋涡的机理进行了探讨,得到了明确的龙卷风旋转方向.     

各种绒面织物的缝制要点及技巧

通过对不同绒面织物特性的分析．阐述了不同绒面织物的缝制要点及技巧。     

137Cs应用于我国土壤侵蚀研究评述

^137Cs示踪法技术目前已被广泛应用于长期的土壤侵蚀估算中，但主要局限于水蚀研究领域，在风蚀方面进行的研究则较少。土壤风蚀是导致干旱半干旱地区土地退化和区域环境恶化的最重要原因之一。探讨、研究格进一步完善^137Cs技术在土壤侵蚀方面的研究，尤其是在我国西部风蚀地区土壤侵蚀中的应用，可以提供独立的土壤侵蚀和堆积的数据以及空间分布，对初步测算区域风蚀速率、风蚀时间序列和反映环境变化，为我国西部地区土地资源合理利用、环境整治以及生态建设提供定量的科学依据具有十分重要的意义。初步论述了^137Cs技术在我国土壤侵蚀研究中的进展，探讨了其在西部风蚀地区土壤风蚀研究现状、应用前景和需要注意的问题，并提出了一些建议。     

不同植被配置对坡面土壤侵蚀的影响

根据人工模拟降雨试验,在不同植被配置的坡面上,研究了黄土丘陵区坡面不同植被配置对入渗、产流产沙的影响。结果表明,在小雨强下,不同植被配置的稳渗率大小差别较大;随着雨强的增大,不同植被配置的稳渗率大小差别变小。不同雨强下,5种不同植被配置的坡面基本上都在5min内达到稳渗。不同植被配置坡面流含沙量均呈缓慢下降趋势。并且在小雨强下,不同植被配置坡面径流含沙量的下降趋势较为平缓;在大雨强下,累积产沙量曲线的斜率也越大。     

公路建设区水土流失的量化探讨——以国道112线丰宁段为例

公路建设中造成的水土流失越来越严重，流失范围呈线状，常常跨越多个流域和地貌类型，影响范围广泛，且在公路不同部位水土流失的程度不同，影响期限也不同，在实际调查的基础上，以国道112线丰宁段为例，分析公路建设中水土流失的原因，并提出计算方法及一般性防护措施。