高精高稳高温压力传感器研制项目通过陕西省科技厅鉴定

我校物理学系万云副教授主持的陕西省科技研究发展（攻关）计划（2001K06-G18）资助项目——高精高稳高温压力传感器研制项目，于2005年5月13日顺利通过陕西省科学技术鉴定。鉴定委员会的7位专家认真听取了该项目的工作报告和技术报告，审查了产品测试报告等相关技术资料，一致认为该成果利用高稳定、耐高温、耐腐蚀氧化铝精细陶瓷等做弹性元件，采用薄膜技术、集成电路平面光刻工艺及超声压技术，     

倒杯式耐高温高频响压阻式压力传感器

采用微型机械电子系统(MEMS)技术制作出了高精度、高灵敏度的硅隔离(SOI)倒杯式耐高温压阻力敏芯片,利用静电键合工艺将力敏芯片封装到玻璃环上,再通过玻璃浆料烧结工艺或高温胶黏剂将玻璃环装配到齐平式机械结构上,从而避免了管腔效应的影响,实现了耐高温高频响压阻式压力传感器的基本制作.通过有限元仿真和实验,分析了安装预紧力对传感器性能的影响,由传感器静态和动态实验得到传感器的精确度为±0.114%FS,动态响应频率为694.4 kHz,均满足火工品爆破测试等高温高频动态压力测试的要求.     

一种耐高温、耐恶劣环境大压力传感器的设计

为了解决高温恶劣环境下压力测量问题,设计了一种大压力、高过载、耐高温、耐恶劣环境的小体积压差传感器。通过有限元分析对传感器绝缘体上硅(silicon on insulator,SOI)压力敏感膜片结构进行优化设计,使其能够满足恶劣环境的使用要求。通过试验证明这种压差传感器具有良好的耐高温、耐恶劣环境的特性。     

我国发动机实验测试技术取得新进展

正由中国航空工业集团公司北京长城计量测试技术研究所牵头承担的国家重点研发计划重大科学仪器设备开发重点专项"高温温度、压力、振动传感器开发与应用"项目经过两年的努力,攻克了高温振动等复杂条件下多参数耦合的测量问题,研制出了高温温度、压力、振动传感器样品。近日,项目顺利通过了科技部高技     

纺织数字化、智能化仪器仪表系列产品的研制

纺织数字化、智能化仪器仪表系列产品的研制，系纺织系统实现自动化的重大课题，涉及传感器技术、计算机技术和电子技术。该项目１９８５年为安徽省经委重点新产品研制项目，并列入国家经委重点新产品研制。１９９６年又通过了省级鉴定。据最近的查新报告表明，该项目一直...     

薄膜压力传感器的研究进展

物联网产业的发展使传感器的研究得到越来越多的重视。薄膜压力传感器作为传感器的一个重要分支,因其优异的性能得到广泛的使用。简要地介绍了薄膜压力传感器的组成及原理,详细介绍了不同种类材料制成薄膜压力传感器的特点,重点突出了不同合金材料、半导体材料制成的传感器之间性能的差异,并为电阻层材料的选取提供参考意见。通过总结薄膜的制备方法,来阐述在薄膜压力传感器中薄膜的制备技术,总结近年在薄膜制备技术上进行的研究,最后基于近年纳米材料、微电子机械系统（micro-electro-mechanical systems,MEMS）技术、微波技术等技术的发展,结合薄膜压力传感器的研究现状,对其未来的发展进行展望。     

核电厂事故温度环境对压力变送器的影响分析

压力变送器广泛应用于核电厂压力、液位、流速等工艺参数的测量。大部分安装在安全壳内的压力变送器均经过了设计基准事故的鉴定,但超设计基准事故高温环境对其的影响仍未知。本文采用鉴定曲线包络法及仿真技术对其在设计基准事故和超设计基准事故下的工作情况进行了分析,给出了上述工况高温环境对其的影响,并通过分析结论,对该仪表耐高温性能的改进方向提出了建议。     

氧化镍一氧化锌复合薄膜光波导气体传感器的制备及气敏性能研究

本文通过溶胶-凝胶法,研制了氧化镍一氧化锌复合薄膜／Sn掺杂玻璃光波导（OpticalWaveguide,owe）气体传感器,并调节敏感层（yio—ZnO薄膜1中NiO的最佳含量对挥发性有机物气体进行检测。所研制的（5％）NiO—ZnO复合薄膜／sn掺杂玻璃光波导气体传感器对体积比浓度为1×10—7（v／vo）的二甲苯气体具有一定的选择性响应。该传感器具有灵敏度高、容易制备和重复使用等特点。     

基于UHF RFID的钻井传感器信息管理系统设计

现有的钻井传感器信息管理采用纸质报告、条形码、磁条识别等传统方式,可靠性低,效率不高,针对这些问题,研制基于UHF(Ultra High Frequency,UHF)RFID(Radio Frequency Identification,RFID)的钻井传感器信息管理系统,该系统将RFID技术、数据管理、信息网络化等技术综合应用到钻井传感器信息管理系统中,通过网络通报传感器的各项信息,为钻井传感器的管理、维护、检修等提供数据依据和技术支持,提高了钻井传感器信息现代化管理水平。     

高温烟气用滤料耐氧化和水解性能的测试装置及方法初探

研制了一种测试高温烟气用滤料耐氧化和水解性能的试验装置,介绍了该试验装置的设计原理和测试方法,并对聚苯硫醚(PPS)的耐高温氧化性能和聚酰亚胺(PI)的高温水解性能进行测试.结果表明,通过对试验温度、试验时间和压强的合理控制,该装置可有效模拟高温烟气用滤料的工作环境,加速滤料的氧化和水解反应.通过强力分析,可利用该装置初步检测滤料的耐氧化和水解性能.     

基于DSP的微型飞行器高度计的研制

介绍了一种新型微型飞行器高度计的研制技术.利用微型数字压力传感器和数字信号处理(DSP)串口通迅,读取数字压力传感器中压力、温度值及补偿参数,用软件进行温度补偿和高度计算.介绍了在2种温度、2种压力下校正传感器的灵敏度、零漂等参数的方法及温度补偿原理.实验室测试表明:该高度计的误差小于±5 m,分辨率为1 m.经飞行试验,证实所研制的高度计具有体积小,重量轻,功耗低,精度高,工作可靠等特点.     

新型线材自动车床

陕西省西安航空发动机(集团)有限公司与长城特种钢(集团)有限公司联合研制的新型冶金加工设备——线材自动车床日前通过科技成果鉴定,该设备填补了国内空白,其技术性能达到国外同类设备的先进水平。产品于去年投放市场后以性能好、质量优而受到用户的青睐和好评。     

机动车尾气净化器金属载体--FeCrAlRE丝材

鉴定证书编号苏科鉴字[2000]第344号 组织鉴定单位江苏省科委 权属单位江苏省江河集团电力工程公司 上海材料研究所 地址江苏靖江新桥镇江河路28号 (214537) 上海市邯郸路99号(200437) 体FeCrAlRE丝材 鉴定日期 2000.7.17 课题确立开发研制的FeCrAlRE丝材,主要用于机动车尾气净化器,具有耐高温、抗氧化,在高温时有足够的强度及高温抗腐蚀疲劳能力,以保证尾气处理的正常运行及效果.FeCrAlRE丝材的成分控制范围较窄,Cr和Al含量的增高有利于提高丝材耐高温性能,Al的加入可以提高抗高温电阻,但其加入量受Cr含量的限制.通过长期研究,找到Cr、Al最佳匹配值.同时在合金中加入有效的稀土元素,降低C、S、P等有害元素的含量,提高载体的纯净度,加强载体和催化剂涂层的结合力.     

耐高温压阻力敏硅芯片及静电键合工艺

采用微型机械电子系统(MEMS)技术制作出了平膜型硅隔离(SOI)耐高温压阻力敏硅芯片,采用静电键合工艺将该力敏硅芯片封装在硼硅玻璃环上,制作出倒杯式弹性敏感单元.分析了静电键合时力敏硅芯片与玻璃环的对准偏差对力敏硅芯片非线性的影响;实验验证了静电键合工艺对硅芯片温度性能的影响以及制作的耐高温压力传感器的性能.结果表明,对准偏差对硅芯片的非线性有较大影响;静电键合工艺对硅芯片的零位时漂和热零点漂移影响较小;制作的耐高温压力传感器具有优良的性能指标,能满足实际的工程应用需求.     

基于压印的POLYIMIDE衬底金属图形化及原位电沉积铜锡氢气传感器

介绍了一种基于压印和聚酰亚胺(PI)表面离子交换技术,实现市售的柔性PI胶带上微米级线条的金属图形化方法,并通过原位电沉积、热氧化制备氢气传感器。通过压力辅助,并利用PDMS软模印章,在PI薄膜上图形化形成聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)阻挡层,结合PI改性的金属图形化工艺,实现了柔性PI衬底上的耐弯曲、耐腐蚀的金属镍叉指图形。利用电沉积技术,在叉指电极的微米级间隙内形成Cu Sn枝状结构连接,通过在空气中高温热氧化制备形成金属氧化物气体传感器,实验测试其对氢气有良好响应。     

压电悬臂梁式微型电场传感器的设计与制备

提出并研制一种新型压电悬臂梁式微型电场传感器,该传感器是基于压电(PZT)薄膜驱动的悬臂梁式微型电场传感器;同时介绍了传感器的工作原理、结构设计、制作工艺以及初步测试结果。该微型电场传感器由多根压电悬臂梁构成,每根悬臂梁能同时具有屏蔽电场和感应电荷功能。对传感器感应电荷的能力进行了计算;并根据计算结果和工艺要求设计了传感器的参数。该微型电场传感器采用微加工技术制作,每根悬臂梁为多层复合结构(Al/Si3N4/Pt/PZT/Pt/Ti/Si O2/Si),其中PZT薄膜采用溶胶-凝胶法制备。测试结果证明,传感器具有良好的响应特性。     

旋转导向推靠控制系统研发及实验

为了研制推靠式旋转导向工具,研发了一套推靠控制系统。该系统由单总线电路、非接触单元、测量单元、液压单元和主控电路五部分组成,能通过单总线接收电能并与井下中控双向通信,基于电磁感应原理实现旋转部分与非旋转部分之间的非接触电能传输与信号传输,按照地面系统下传的指令利用力矢量分解原理计算三个翼肋油缸液压力大小,使用压力传感器测量翼肋油缸中的实际液压力并对液压力进行闭环控制。对研制的推靠控制系统进行了初步实验,验证了该系统的电能信号传输功能、推靠控制功能、耐高温及抗振性能等。研制的推靠控制系统达到设计目的,满足进一步实验的需求。     

球硅复合防腐保温材料

该项目利用粉煤灰漂珠作为骨料，与化工粘结剂及其他助剂相复合聚合，采用高分子技术制成球硅复合防腐保温材料及其制品。该产品具有导热系数低、耐高温、抗压强度高、不吸水等优点。采用新的简捷的整浇注保温结构，施工容易，节资省工，提高效率，确保了工程质量，延长了使用寿命，解决了高温管道地下直埋技术难题。     

绝缘体上硅高温压力传感器研究

采用有限元分析工具ANSYS完成了一种矩形弹性膜绝缘体上硅(SOI)高温压力传感器的优化设计，制作出样品，并与相同结构、工艺的多晶硅压力传感器进行了对比测试。结果表明：1：2的膜片宽长比可以使SOI压力传感器的灵敏度达到220mV／MPa，远大于多晶硅压力传感器的灵敏度(约50mV／MPa)。此外，该传感器能够工作在200℃的高温环境中，有良好的长期稳定性，30d内的零点时间漂移为0．12％。     

东莞工研院参与完成项目获国家技术发明奖二等奖 产学研加速我国第一台RFID标签封装装备产业化

正由华中科技大学、东莞华中科技大学制造工程研究院(以下简称东莞工研院)、武汉华威科智能技术有限公司(以下简称华威科)、中山达华智能科技股份有限公司(以下简称中山达华)共同完成的"高性能无线射频识别(RFID)标签制造核心装备"获得2013年度国家技术发明奖二等奖。该项目自主研制了我国第一台高性能RFID标签封装装备并实现系列化、产业化,实现了抗金属长寿命的高性能RFID标签高效高精制造。获发明专利20项、软件著作权6项,发表