微纳机电系统(MEMS/NEMS)前沿

微纳机电系统(MEMS/NEMS)将处理热、光、磁、化学、生物等结构和器件通过微电子工艺及其他一些微加工工艺制作到芯片上,并通过与电路以及相互之间的集成来构筑复杂的微型系统.由于微纳机电系统具有高度的交叉性与渗透性,而使其研究和发展呈现出多样性.本文立足于微纳机电系统与集成电路的交叉,侧重讨论微纳机电系统与CMOS集成电路的集成、微纳机电系统技术与纳米技术的融合,以及与现代生物技术的交叉,就一些典型的器件与工艺,介绍一些前沿发展和趋势.     

微机电系统传感器的制造和应用

本文叙述微机电系统传感器的设计制造技术和主要应用。     

电液动力微泵的制作及实验研究

提出一种基于MEMS加工技术的新型电液动力微泵,介绍了电液动力微泵的工作机理和分类;从材料的选取,微电极的优化设计及电液动力微泵的封装工艺几方面介绍了电液动力微泵的制作过程;进行了针对不同工作流体和微通道尺寸的电液动力微泵的静压力实验和流动试验.实验结果表明:当施加90V驱动电压时,微泵最高能得到268Pa的静压头,微泵驱动流体的最大流速可以达到106μL/min;本文分析了微泵与热管相结合解决大功率电子芯片的散热问题前景,微泵所驱动的液体在热管的蒸发段完全气化,可实现的最大散热能力可达到87W/cm2.     

微动力系统的若干研究动态和进展

本文介绍了微动力系统的研究意义，简要地描述了当前微动力系统的若干研究动态和进展。开发并展示了我们研究小组的一种全新的无运动部件、不需高制造、装配精度的微TPV系统，介绍了我们实验和分析的最新研究结果。     

微加工技术与微光机电系统的研究与应用

本文简要介绍了微光机电系统（MOEMS）中的微加工技术,主要是硅微机械加工技术和LIGA技术,并介绍了微光机电系统在信息与通讯、汽车工业、生物医学、航空航天、国防军事等领域的应用。     

微反应器的发展现状

微反应器在传质、传热、恒温等性能方面的表现都明显优于传统反应器，小尺寸、较大的面积体积比、规整的微通道使它便于运输又安全快捷.本文就微反应器的设计、制造、原理和放大等一系列问题的研究现状进行了总结和概括，并对它的应用前景进行了展望。     

壳聚糖磁性光敏剂血卟啉衍生物微球的制备及其体外表征研究

目的制备壳聚糖包覆的磁性光敏剂血卟啉衍生物微球并考察其体外表征。方法以五羰基铁为原料制备羰基铁粉纳米颗粒,非溶剂法将羰基铁粉纳米颗粒与光敏剂血卟啉衍生物HPD复合,并用壳聚糖包覆制备成壳聚糖包覆磁性血卟啉衍生物微球(CS-M-HPD)。使用电子显微镜、激光粒度仪、X-射线衍射仪和磁力测定仪考察微球的表征。结果检测结果表明该微球为球形,分散性良好,粒径大多集中在290～300 nm。微球羰基铁粉纯度高,呈现优良磁性。结论本研究实现了壳聚糖对磁性HPD的包覆,得到了单分散性磁性HPD微球,为进一步研究该微球靶向光动力治疗肿瘤的生物活性奠定了实验基础。     

微纳流体样品片上分离技术

基于微流控技术的细胞或颗粒分离是样品前处理中的一个重要步骤,近些年在生物和化学分析中引起了极大关注,随着微纳米加工技术的发展,分离技术在片上实验室系统的微环境应用中得到快速发展.基于微流体细胞或颗粒的分选技术具有很多优点,包括减少了样品量、加速了样品处理速度、高灵敏度、高空间分辨率、成本低以及便携性等.本文介绍了当前最先进的基于连续微流体细胞或颗粒分选技术,从被动式与主动式分离两方面的典型实例详细阐述了各种分选原理及其在细胞或微颗粒分选中的应用,讨论了这些技术的主要指标,如分选标记、分辨率、效率以及处理量,同时讨论了各类在微流体下的微分离方法存在的缺点.微尺度下高效的微分离技术在实现片上实验室、现场微分析设备和家庭诊断中将会起着越来越重要的作用,引起了众多学者们的研究兴趣,能够促进微分离与检测和信号读取等集成于一体,形成一个便携式的诊疗设备.     

气动膜片式多材料微液滴按需喷射技术研究

微滴喷射是通过产生微米级的液滴实现微量流体精确分配的技术之一,是一种不同于传统减法制造的非接触式、数据驱动的加法式制造技术,代表了现代制造工艺新的发展方向.本文提出了可用于多种材料的气动膜片式按需喷射技术并构建了用于在线观测并分析液滴形成过程的基于延时触发的图像在线采集系统.利用该装置,进行了微液滴喷射的一致性分析,研究了设备结构参数及控制参数与液滴大小及喷射速度的关系,并分析了粘度及表面张力对流体喷射过程的影响.此外,制作了直径约为160.5μm的Sn63Pb37焊球和与基底接触面直径约为346.94μm的光固化胶胶滴阵列图型.实验表明,该气动膜片式按需喷射系统结构简单、可靠性好、耐受高温,可用于包括聚合物、低熔点胶材、高熔点金属的多材料微液滴喷射,在微电子和微系统封装、三维打印、有机半导体器件制作以及生命科学与化学分析等制造领域具有较大的发展潜力.     

土壤微形态及其应用研究进展

土壤微形态学是土壤学的一个重要分支学科。它在上一世纪30年代建立以来，解决了土壤学中许多问题。我国在土壤微形态研究上起步较晚。但也取得了一些好的研究结果。本文从国内外土壤微形态学研究的进展，包括基本概念、研究方法及应用等进行评述。