| 基于半桥型电感测头的微位移检测技术研究 |
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| 引用本文： | 王晓飞,苏智琨,裘祖荣,李杏华,江尚良.基于半桥型电感测头的微位移检测技术研究[J].世界科技研究与发展,2015(2):115-117. |
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| 作者姓名： | 王晓飞 苏智琨 裘祖荣 李杏华 江尚良 |
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| 作者单位： | 江苏省计量科学研究院;天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金(51375338);2012年度国家质检总局科技计划(2012QK177)资助 |
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| 摘 要： | 针对半桥型电感测头,设计了幅值稳定的正弦波激励信号产生单元和相应的输出信号处理电路;分析了影响测量精度的主要原因,设计了基于反馈原理的激励信号稳幅模块;通过标定实验,采用分段线性插值法进行数据处理,该电感测头在±1 mm的测量范围内,最大误差为1.2μm,线性度为0.06%,满足测量系统的要求。
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| 关 键 词： | 电感测头 微位移测量 正弦波产生 正弦波稳幅 非线性校正 分段线性插值 |
Researches on Tiny Displacement Measurement Based on Inductance Probe with Half Bridge |
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| WANG Xiaofei;SU Zhikun;QIU Zurong;LI Xinghua;JIANG Shangliang.Researches on Tiny Displacement Measurement Based on Inductance Probe with Half Bridge[J].World Sci-tech R & D,2015(2):115-117. |
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| Authors: | WANG Xiaofei;SU Zhikun;QIU Zurong;LI Xinghua;JIANG Shangliang |
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| Institution: | WANG Xiaofei;SU Zhikun;QIU Zurong;LI Xinghua;JIANG Shangliang;Jiangsu Institute of Metrology;State Key Laboratory of Precision Measuring Technology and Instruments,Tianjin University; |
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