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| 醋酸对电化学沉积氮化碳薄膜的影响 | |
| 引用本文： | 田瑀①②,王建中①②,于卫锋①②,曹荣根③,宋云③,宁西京①②.醋酸对电化学沉积氮化碳薄膜的影响[J].中国科学(E辑),2009,39(8):1414-1418. |
| 作者姓名： | 田瑀①② 王建中①② 于卫锋①② 曹荣根③ 宋云③ 宁西京①② |
| 作者单位： | 复旦大学现代物理研究所;复旦大学教育部应用离子束物理重点实验室;复旦大学材料科学系电子材料实验室; |
| 基金项目： | 国家自然科学基金资助项目(批准号:10574030) |
| 摘 要： | 采取电化学沉积方法,在尿素的甲醇溶液中制备CNx薄膜,发现在反应原液中加入适量醋酸（CH3COOH）对成膜过程有重要影响.优化实验条件,于单晶硅表面获得了3-7μm的氮化碳多晶颗粒.X射线衍射谱分析表明,晶粒主要为立方相及少量β相和α相. |
| 关 键 词： | 氮化碳 电化学沉积 CNx薄膜 反应机理 |
| 收稿时间： | 2008-06-02 |
| 修稿时间： | 2009-01-10 |
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