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| 常温纳米压印软模具变形机理研究 | |
| 引用本文： | 兰红波,丁玉成,刘红忠,阙艳荣,陶巍巍,李寒松,卢秉恒.常温纳米压印软模具变形机理研究[J].中国科学(E辑),2009,39(1):74-83. |
| 作者姓名： | 兰红波 丁玉成 刘红忠 阙艳荣 陶巍巍 李寒松 卢秉恒 |
| 作者单位： | 西安交通大学机械制造系统工程国家重点实验室;山东大学机械工程学院; |
| 基金项目： | 国家重点基础研究发展计划(“973计划”)(批准号:2003CB716203);;国家自然科学基金(批准号:50775176);;山东省自然科学基金(批准号:Y2007F49)资助项目 |
| 摘 要： | 通过对软模具变形的理论分析、数值模拟和实验验证的系统研究，以期揭示模具变形的机理、规律和关键影响因素，为探索减小模具变形策略和方法，提高纳米压印复型精度奠定理论基础，以实现高保真度纳米或亚纳米图型的转移． |
| 关 键 词： | 纳米压印 软模具 变形 抗蚀剂减薄 复型精度 数值模拟 |
| 收稿时间： | 2007-09-26 |
| 修稿时间： | 2008-01-16 |
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