微波等离子体增强化学气相沉积方法制备碳氮纳米管及其结构 … |
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引用本文: | 马旭村,徐贵昌.微波等离子体增强化学气相沉积方法制备碳氮纳米管及其结构 …[J].中国科学(E辑),2000,30(2):117-121. |
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作者姓名: | 马旭村 徐贵昌 |
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摘 要: | 利用微波等离子体增强化学气相沉积方法,在多孔二氧化碳基底上制备了大面积取向一致的碳氮纳米管薄膜。采用扫描电子显微镜、透射电子显微镜和能量散射X射线能谱仪分别进行了纳米管的形貌、结构和成分的研究。结果表明这种纳米管的直径一般为100nm,长度可达20μm,为纳米钟的线性聚合物。
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关 键 词: | 碳氮纳米管 微波等离子体 结构 MWPCVD |
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