| B-N共掺p型ZnO薄膜的制备及性质研究 |
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| 引用本文： | 隋瑛锐,姚斌,杨景海.B-N共掺p型ZnO薄膜的制备及性质研究[J].松辽学刊,2010,31(1):20-22. |
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| 作者姓名： | 隋瑛锐 姚斌 杨景海 |
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| 作者单位： | [1]吉林师范大学物理学院,吉林四平136000 [2]吉林大学物理学院,吉林长春130021 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金项目 |
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| 摘 要： | 利用射频磁控溅射技术用N2和02作为溅射气体在石英沉底上制备了B-N共掺的P型ZnO薄膜．Hall测量结果表明，室温电阻率、载流子浓度、迁移率分别为2．3D．cm，1．2×10^17cm^-3，11cm^2／Vs．制备了ZnO基同质p-n结，研究了它们的I—V特性．探讨了B—N共掺的P型ZnO薄膜低温光致发光的微观机制．同时阐明了B—N共掺的P型ZnO薄膜的导电机制．
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| 关 键 词： | 射频磁控溅射 ZnO薄膜 B-N共掺 |
Fabrication and Properties of B-N Codoped p-type ZnO Thin Films |
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| SUI Ying-rui,YAO Bin,YANG Jing-hai.Fabrication and Properties of B-N Codoped p-type ZnO Thin Films[J].Songliao Journal (Natural Science Edition),2010,31(1):20-22. |
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| Authors: | SUI Ying-rui YAO Bin YANG Jing-hai |
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| Institution: | SUI Ying-rui1,YAO Bin2,YANG Jing-hai1(1.College of Physics,Jinlin Normal University,Siping 136000,China,2.College of Physics,Jilin University,Changchun 130021,China) |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | magnetron sputtering ZnO film B-N codoped |
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