一种基于MEMS反射镜的平视显示器

MEMS反射镜由1mm的反射镜板和四个静电斥力致动器构成。MEMS反射镜使用表面微加工工艺Poly MUMPs制造而成,包括四个致动器的MEMS反射镜的整体尺寸是3.5mm×3.5mm,体积非常小。每个执行器可以通过改变施加的电压单独控制。在操作中,改变一个或两个执行器的电压会使镜片朝所需的方向倾斜。